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misery_ 2019-09-16 11:33

MgF2预融速率过大会不会产生膜料点子的情况？产生膜料点子和脏点子情况有哪些呢？

MgF2预融速率过大会不会产生膜料点子的情况？产生膜料点子和脏点子情况有哪些呢？玻璃膜料点子多，这种情况如何解决的？
1111111111 2019-09-17 21:41
降低挡板的高度，MGF2不预融，用电子枪蒸镀，点子也还可以啊。
ouyuu 2019-09-18 21:07
点子原因非常多，可以说真空室内任何一个机构都有可能形成点子。
士官长 2019-09-28 17:30
预熔时候如果不开挡板应该不会导致点子，开挡板时的速率是最好和设定速率差不多。
ouyuu 2019-09-30 22:48
刚才回复他人帖子时候想到一个可能性。 )g(2xUk-y  
予熔设定的电流过低或者过高，导致开挡板瞬间电子枪调整剧烈的话，也会有喷溅产生。
wflney 2019-12-29 22:58
赞同四楼的说法
xiezhizhi 2020-02-01 10:49
设备用了多久了 yE. ZvvQA  
morningtech 2020-02-01 17:22
版主说的有道理。束流急剧变化，确实易产生点子。 tE/j3  
预熔；大光斑，低束流，功率慢变（调小P值），调小最大功率。 {ckA  
膜林晶控仪的最大功率延迟，出发点就是防止开挡板后的束流剧变，对防喷溅有点点帮助。
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