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S4L-/<s[* 行程范围	n4^~gT%b5] 50 mm	7sXy`+TZ-> 俯仰，典型值	X.s*>' ±17 μrad
]kRI}Om2 最大速度	MMMqG`Px 40 mm/s	{bT9VZ> 俯仰，保证值	GHv{ ±37 μrad
~ct2`M$TL( 最小位移增量	RG&I\DTyt 0.30 μm	T \|37#*c 俯仰顺应性	24//21m 15 μrad/Nm
ITVQLQ 中心负载	q<n[.u1@ 200 N	*~cqr 偏摆，典型值	G;/Q>V ±12 μrad
Y!Drb-U?; 轴向负载 (+Cx)	<O.Kqk* nq 50 N	cC' ~ 偏摆，保证值	O]t\B*%} ±25 μrad
M~als3 逆轴向负载 (-Cx)	88 {1mA,v -10 N	q%>7L<r 偏摆顺应性	qB:AkMd& 15 μrad/Nm
>W r$Y{ 精度，典型值	}<=3W5+ ±1.1 μm	(qUK7$ 滚转顺应性	!K[/L< Kv 10 μrad/Nm
Zb."*zL 精度，保证值	0E-pA3M6 ±2.25 μm	flP>@i:e6 原点重复精度	!x7o\|l\|cP ±0.5 μm
:/6()_>bO 单向重复精度，典型值	COSTV>s; ±0.20 μm	6a*83G,k 电缆长度	'99@=3AB:` 3 m
5X0QxnnV 单向重复精度，保证值	E tx`K5Tr] ±0.50 μm	bG(x:Py& 重量	c_#*mA"+ 2.8 kg
fz3lR2~G 双向重复精度，典型值	l xe`u}[ ±0.6 μm	Ad/($v5+ MTBF	DVh)w}v 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
'd/*BjNp) 双向重复精度，保证值	@.gPJMA ±1.75 μm	Wwhgo.Wx RoHS	o&z!6"S< Compliant
paWxanSt 兼容的探头	)Q]w6he3 SMC100CC	i6Qb[\; 最大功率密度	M\9F:.t= 40 W