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_I5+o\;1 行程范围	o-Arfc3Q 50 mm	bZfJG^3 俯仰，典型值	9DE)5/c`v ±17 μrad
)Q?[_<1Y+ 最大速度	kO"aE~ 40 mm/s	?,>y`Qf*\| 俯仰，保证值	7s3<} ±37 μrad
IvH+94[) 最小位移增量	V#KM~3e 0.30 μm	7J/3O[2 俯仰顺应性	/omVMu 15 μrad/Nm
AOUO',v 中心负载	P .(X]+ 200 N	0q!{&pt 偏摆，典型值	&\|*\| ±12 μrad
3W0:0I 轴向负载 (+Cx)	d<e.`dhc 50 N	vkmR cX:/ 偏摆，保证值	&t4(86Bmq ±25 μrad
KguFU 逆轴向负载 (-Cx)	"rJL ^ \r -10 N	=v9;HPiO 偏摆顺应性	!I&Sy]G 15 μrad/Nm
sBL^NDqa2 精度，典型值	HrxEC)V6# ±1.1 μm	VvKH]>* 滚转顺应性	;_*F [ }w 10 μrad/Nm
:wm^04<i 精度，保证值	uM#/ ±2.25 μm	k/O&,T77}J 原点重复精度	dx}!]_mlZ ±0.5 μm
d?.x./1[qi 单向重复精度，典型值	Gx)D~7lz ±0.20 μm	~qH@Kz\% 电缆长度	R)z\|("%ec 3 m
.EQFHStr 单向重复精度，保证值	>sq9c/}X ±0.50 μm	K.~U%v} 重量	hRu%> =7 2.8 kg
HDOaN 双向重复精度，典型值	u:$x,Q ±0.6 μm	I'wAgf6W MTBF	\Qn8"I83AV 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
0M p>X 双向重复精度，保证值	duCm+4,. ±1.75 μm	107SXYdhI RoHS	wDk[)9#A Compliant
3-D!ZS& 兼容的探头	arJ[.f9s SMC100CC	EC0auB7G 最大功率密度	P.0-( 40 W