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^Y^5 @x= 行程范围	QezDm^< 50 mm	;W!hl<``d* 俯仰，典型值	_aOsFFB1KF ±17 μrad
=e]Wt/AQ 最大速度	"HbrYYRb' 40 mm/s	:yAvo4) 俯仰，保证值	mGUl/.;yp- ±37 μrad
pl.=u0 * 最小位移增量	G/8G`teAZ 0.30 μm	:w4I+*] 俯仰顺应性	}u~r.= 15 μrad/Nm
wq3V&@. 中心负载	@_Ly^' " 200 N	]TKM.[[ 偏摆，典型值	h93 ±12 μrad
s}":lXkrw 轴向负载 (+Cx)	/J'dG% 50 N	@0rwvyE=+3 偏摆，保证值	Ps{}SZn ±25 μrad
<txzKpM 逆轴向负载 (-Cx)	bq`0$c%hN -10 N	f%Bmx{Ttq 偏摆顺应性	z/7"! 15 μrad/Nm
h2edA#bub 精度，典型值	E- rXYNfy ±1.1 μm	&MF%zJ6 滚转顺应性	g/m%A2M&aH 10 μrad/Nm
tL@m5M%:N2 精度，保证值	x^]1m% ±2.25 μm	XWFuAE 原点重复精度	W>]=0u4 ±0.5 μm
!Pb39[f 单向重复精度，典型值	#-u?+Nk/ ±0.20 μm	D`uOBEX 电缆长度	;/-#oW@gQ 3 m
~0@+8%^>; 单向重复精度，保证值	w`OHNwXh#I ±0.50 μm	Xa32p_\|5~ 重量	v:$Y \|mh 2.8 kg
18U CZ;)> 双向重复精度，典型值	!U!}*clYL ±0.6 μm	c{t(),nAA MTBF	%z:;t 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
=2[U4<d!R 双向重复精度，保证值	ZX!u\O\|w ±1.75 μm	Sud5F4S RoHS	l~Sn`%PgA Compliant
k"2xyzt* 兼容的探头	I\|?Z.!I\| SMC100CC	,*@6NK,. 最大功率密度	A">A@`} 40 W