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U;o[>{L 行程范围	b}4k-hZL 50 mm	[?VYxX@ 俯仰，典型值	"ut:\%39. ±17 μrad
FDM&rQ 最大速度	BFmYbK 40 mm/s	@sv==\|h 俯仰，保证值	2P`QS@v0a= ±37 μrad
-=,%9r 最小位移增量	eSf e s 0.30 μm	I9P<!#q> 俯仰顺应性	*F/uAI^) 15 μrad/Nm
j\|gv0SI_ w 中心负载	5&q@;vR 200 N	?n)r1m 偏摆，典型值	?F'gh4 ±12 μrad
N+)4]ir> 轴向负载 (+Cx)	flp<QT 50 N	T0n=nC}< 偏摆，保证值	;K38I} ±25 μrad
\|g]TWKc* 逆轴向负载 (-Cx)	Q/r0p> -10 N	}Zu2GU$6 偏摆顺应性	S@]7 15 μrad/Nm
qR0V\OtgY~ 精度，典型值	2xRb$QF ±1.1 μm	K_j$iHqLF 滚转顺应性	INSI$tA~ 10 μrad/Nm
<e"O`*ZJ 精度，保证值	% INRds ±2.25 μm	H6?ZE 原点重复精度	Cd)e_& ±0.5 μm
@>f]0,"( 单向重复精度，典型值	2f\;#- ±0.20 μm	e"(l 电缆长度	OD<0,r0f, 3 m
^c{}G<U^ 单向重复精度，保证值	-a(f- ±0.50 μm	'8>h4s4 重量	eIc~J!?<&V 2.8 kg
'Y3>+7bI 双向重复精度，典型值	r4caIV ±0.6 μm	P{mV MTBF	K;;Q*NN- 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
Ge$cV} 双向重复精度，保证值	UI\|L;5 ±1.75 μm	}CZ,WJz= RoHS	jfF,:(P%W Compliant
!J!zi 兼容的探头	p3O%\|)yV SMC100CC	t$=FcKUV}f 最大功率密度	B'6^E#9 40 W