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*Nur>11D 行程范围	UD ;UdehC 50 mm	m[s$)-T 俯仰，典型值	DY1"t7 9E ±17 μrad
xpBQ(6Y 最大速度	[R<>3}50Y 40 mm/s	3\|bbJ6*.< 俯仰，保证值	@x_0AkZU ±37 μrad
L)"CE]. 最小位移增量	iKG," 0.30 μm	mEyIbMci 俯仰顺应性	_=HNcpDA;0 15 μrad/Nm
{TaYkuWS 中心负载	C0CJ; 200 N	SZ~lCdWad 偏摆，典型值	eQ<Vky^SJ ±12 μrad
nxe9^h7m 轴向负载 (+Cx)	':]Hj8t_ 50 N	t\f[->f 偏摆，保证值	"%#CMCE\|f ±25 μrad
wxy@XN"/i+ 逆轴向负载 (-Cx)	0U?(EJ -10 N	vK$wc~ 偏摆顺应性	L9d\|7.b 15 μrad/Nm
I!T=$Um 精度，典型值	F12$BKDH ±1.1 μm	T9uOOI 滚转顺应性	P2)/!+`a 10 μrad/Nm
WG +] 精度，保证值	9*VL\| ±2.25 μm	>v)V2,P - 原点重复精度	vb3hDy ±0.5 μm
Ezr q2/~Q 单向重复精度，典型值	\cK#/;a# ±0.20 μm	~Gl5O`w( 电缆长度	u-*z#e_L0 3 m
ahFK^ #s 单向重复精度，保证值	iqKs:v@+x ±0.50 μm	JH*fxG 重量	]d.e(yCuE 2.8 kg
BDLJDyf B 双向重复精度，典型值	l[[^]__ ±0.6 μm	i!iG7X)qT MTBF	j{6O:d6([$ 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
M5 ^qc 双向重复精度，保证值	G+<id1 ±1.75 μm	+'_ peT.8 RoHS	*E+VcU Compliant
TSVlZy~Xo 兼容的探头	N_d{E/ SMC100CC	ay]l\d2!3 最大功率密度	rp\|A88Q/! 40 W