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3\|K=%jr[ 行程范围	O2q=gYX>\ 50 mm	vLBee>$ 俯仰，典型值	&Mhv XHI ±17 μrad
NMl ?Y uEv 最大速度	Txt%nzIu 40 mm/s	bB;~,W&E1 俯仰，保证值	!dyxE'T2 ±37 μrad
GJC!0{8; 最小位移增量	T2:oWjC3$ 0.30 μm	< QDr,Hj 俯仰顺应性	rL%]S&M9 15 μrad/Nm
YN%=Oq 中心负载	8! H8[J 200 N	GUu\dl9WA' 偏摆，典型值	?qg^WDs$ ±12 μrad
s-,=e 轴向负载 (+Cx)	3$?9uMl# 50 N	lh,ylh 偏摆，保证值	ka5#<J7<p ±25 μrad
c~gNH%1XN 逆轴向负载 (-Cx)	p^KlH=1n.6 -10 N	V3>f*Z)xn 偏摆顺应性	"UQr:/ 15 μrad/Nm
L_THU4^j 精度，典型值	{cR_?Y@ ±1.1 μm	KInUe(g<9M 滚转顺应性	a>o"^%x 10 μrad/Nm
qri}=du&F 精度，保证值	aBXYri ±2.25 μm	h8f!<:rTS 原点重复精度	zmrQf/y{R ±0.5 μm
^>N8*=y 单向重复精度，典型值	1MbY7!?PG ±0.20 μm	Ur'9bl{5 电缆长度	)-bD2YA{ 3 m
81GQijq 单向重复精度，保证值	/=8O&1=D ±0.50 μm	dT5J-70Fl 重量	AMbKN2h1f 2.8 kg
K0tV'Ml#" 双向重复精度，典型值	Jj2g5={ ±0.6 μm	T;i?w MTBF	o3Mf:;2cC 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
U7^7/s/. 双向重复精度，保证值	D:=t*2-Iv ±1.75 μm	@v>l[6]>^ RoHS	ppAmN0=G Compliant
v6wRME;JA 兼容的探头	fNmE,~ SMC100CC	R[x7QlA; 最大功率密度	F(#haJ$> 40 W