| 探针台 |
2019-08-08 16:43 |
fib离子源发展
美国Apme国家实验室的1.E.Kmhn于1974年,在研究带电微滴的过程中发现,当给充满液态Ga的毛细管墙口加上一定的电场后,管口处的Ga在电场作用下会发形变,形成一个锥体,并从锥体的顶墙发射出Ga离子束。次年nh便发表了他的第一个正式的毛细管型Ca·液态金属离子源,并声称液态金属离子源将在微区分析领域大有作为。 M:S-%aQ_<y
于此同时,英国 Eltham实验室的BC=m也发表了第一个针尖型的液态金属离子源。 > |$]=e,Z
此后,美国 Oregon grad的lwswansen、J0ha等人也纷纷投入液态金属离子源的研究,并很快将液态全属离子源应用于FB系统。经过30多年的发展,液态金属离子源技术已经趋于成熟。 Zh"m;l/]
目前,种类繁多的单质源和合金源的制备工艺已经日趋成熟,也积累了相当丰富的有关液态全属离子源特性的计算和实验数据。Ga源、Au源等一部分离子源在商品生产的聚焦离子束加工系统和二次离子质谱仪分析系统中也已经获得实际应用。但是,这种离子源的工作机理至今仍然不完全清楚,在一些基本问题上,如,离子潭在离子发射区域附近的形状和大小、离子形成的机理、影响高源工作特性的主要因素等,诸多研究者还存在着明显的分歧。
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