EMMI（微光显微镜）

EMMI（微光显微镜）
微光显微镜通过测量样品加偏压时所释放出来的光子来定位故障点。该仪器可以非常灵敏的测出微量光子，并且通过和背景图片重叠的方法来确定被测样品漏电的具体位置。微光显微镜已经成为失效分析定位里最为常见的分析手段。

优势	局限
M('d-Q{B7L - 使用相对简单 g2R@`./S - 可以检测pn结的漏电 (5<^p&	L!'k !k - 光子可能会被金属层挡住而无法显示 Vi]c%k - 无法测量金属层短路 @+Y8Rj\3 - 微光漏电光斑较大

查看本帖完整版本: [-- EMMI（微光显微镜） --] [-- top --]