EMMI（微光显微镜）

EMMI（微光显微镜）
微光显微镜通过测量样品加偏压时所释放出来的光子来定位故障点。该仪器可以非常灵敏的测出微量光子，并且通过和背景图片重叠的方法来确定被测样品漏电的具体位置。微光显微镜已经成为失效分析定位里最为常见的分析手段。

优势	局限
1n ZE9;o - 使用相对简单 ffQ&1T< - 可以检测pn结的漏电 m+'X8}GC#O	9;c]_zt - 光子可能会被金属层挡住而无法显示 j%&^qD, - 无法测量金属层短路 T\|nN. - 微光漏电光斑较大

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