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探针台 2019-08-07 10:45

双束聚焦离子束(Dual Beam FIB)

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Dual Beam FIB(双束聚焦离子束) wwcBsJ1{  
双束聚焦离子束是一种多用途的分析技术，可以用于样品定位切割并将隐藏在各种基底材料中的缺陷揭露出来。最常见的用途之一就是制备TEM样品。双束FIB可以通过切断/连接芯片线路来进行芯片线路修改。
优势局限
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- 横截面缺陷 7Fsay+a  
- TEM快速样品制备 dUdT7ixo  
- 线路修改 YKf0dh;O  
- 借助EDX配件进行元素定量分析    		 f6"Z'{j  
- 晶片尺寸需要小于150mm \z} Ic%Tp  
- 瀑布效应有时会给分析造成不便
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L型横截面分析 g< .qUBPKX  
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锡须生长机理分析
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