| 探针台 |
2019-08-07 08:58 |
芯片失效分析常用方法
芯片失效分析常用方法： Fo;.
1.OM 显微镜观测，外观分析 E]g y5y
2.IV曲线量测仪，电压电流分析 I AFj_VWC0
3. X－Ray 检测IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性，PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接，开路、短路或不正常连接的缺陷，封装中的锡球完整性。（这几种是芯片发生失效后首先使用的非破坏性分析手段） C'&t@@:
4.SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪（材料结构分析/缺陷观察，元素组成常规微区分析，精确测量元器件尺寸） Yw6d-5=:
5.取die，开封 使用激光开封机和自动酸开封机将被检样品(不适用于陶瓷和金属封装)的封装外壳部分去除，使被检样品内部结构暴露。 s $?u'}G3
6. EMMI微光显微镜 用漏电流路径分析手段 0ZJN<AzbA
7.切割制样:使用切割制样模块将小样品进行固定，以方便后续实验进行 *USzzLq
8.去层:使用等离子刻蚀机(RIE)去除芯片内部的钝化层，使被检样品下层金属暴露，如需去除金属层观察下层结构，可利用研磨机进行研磨去层。 +9N I=s6
9. FIB做一些电路修改，切点观察 q+1SU 6x'm
10. Probe Station 探针台/Probing Test 探针测试。
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