| 探针台 |
2019-08-05 09:21 |
微光显微镜EMMI原理
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微光显微镜EMMI原理对于失效分析而言，微光显微镜是一种相当有用，且效率极高的分析 工具，主要侦测IC内部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination会放出光子，例如：在PN Junction加偏压，此时N的电子很容易扩散到P，而P的空穴也容易扩散至N，然后与P端的空穴做EHP Recombination。 gY)NPi}!`
侦测到亮点之情况 #Y)Gos
会产生亮点的缺陷：1.漏电结；2.解除毛刺；3.热电子效应；4闩锁效应； 5氧化层漏电；6多晶硅须；7衬底损失；8.物理损伤等。 gEWKM(5B}
侦测不到亮点之情况 v
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不会出现亮点之故障：1.亮点位置被挡到或遮蔽的情形（埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置）；2.欧姆接触；3.金属互联短路；4.表面反型层；5.硅导电通路等。 {|Ew]Wq
点被遮蔽之情况：埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置，这种情况可采用Backside模式，但是只能探测近红外波段的发光，且需要减薄及抛光处理。
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