| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 #Lka+l;L7
i _U}{|j
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 77Q}=80GU;
2)\vj5<~$
性能参数 @@} `hii
Y<LNQ]8\G
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） .JAcPyK^
.3wY\W8Dr-
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； LprM ;Q _
)=H{5&e#u
400~2000000（实际显示倍率） X?df cS*!n
OE "<!oIs
应用范围 v>-Y uS
p& 3>
`C
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； ybvI ?#
r
nBOj#N
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； ;$!I&<)
JTUNb'#RZ
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； JO1
,TtA
\Ph7(ik
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
|
|