| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 -6E K#!+
E'dX)J9e$/
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 d!{7r7ob\
RR25Q. c
性能参数 NCt~9xS.
i+(GNcg2
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） K} x/ BhE+
H7IW"UkBR
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； juno.$
6
`bP ?o
400~2000000（实际显示倍率） C|e+0aW
INNAYQ
应用范围 VuWib+fT
>BiRk%x
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； wly>H]i'
q.oLmX
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； y lL8+7W
h`?k.{})M
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； T_ ^C#>
uW[3G
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
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