| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 #Lka+l;L7 i_U}{|j 观察样品表面微观形貌,进行尺寸及深度进行测量,能谱元素分析。 77Q}=80GU; 2)\vj5<~$ 性能参数 @@}`hii Y<LNQ]8\G a)二次电子分辨率:1.0nm(加速电压15kV,WD=4mm) .JAcPyK^ .3wY\W8Dr- b)放大倍数 100~800000(照片倍率); LprM ;Q_ )=H{5&e#u 400~2000000(实际显示倍率) X?dfcS*!n OE"<!oIs 应用范围 v>-YuS p&3>
`C 1.提供表面及横截面微细结构观察及分析; ybvI?# r
nBOj#N 2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示; ;$!I&<) JTUNb'#RZ 3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位,提供异常分析之判断; JO1
,TtA \Ph7(ik 4.样品借由层次去除技术(Delayers),提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件,可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结,提供电路还原逆向工程之参考
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