| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 e_V O3"
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观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 t`+'r}=d
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性能参数 3"G>>nC&
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a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） L5qwWvbT
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b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； C&6IU8l \
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400~2000000（实际显示倍率） ~_s{0g]B
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应用范围 ,}:G\u*Fu
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1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； $*kxTiG!7
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2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； {'AWZ(
cKn` /\.H
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； fm^@i;D
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4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
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