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探针台 2019-07-31 16:20

形貌观察SEM扫描电镜

主要用途 e_V O3"  
!OT-b>*w  
观察样品表面微观形貌,进行尺寸及深度进行测量,能谱元素分析。 t`+'r}=d  
+reor@h  
性能参数 3"G>>nC&  
de>v  
a)二次电子分辨率:1.0nm(加速电压15kV,WD=4mm) L5qwWvbT  
Oi:<~E[kz.  
b)放大倍数 100~800000(照片倍率); C&6IU8l\  
ed:@C?  
            400~2000000(实际显示倍率) ~_s{0g]B  
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应用范围 ,}:G\u*Fu  
T}4/0yR2  
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析; $*kxTiG!7  
bzvh%RsW  
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示; {'AWZ(  
cKn`/\.H  
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位,提供异常分析之判断; fm^@i;D  
mWyqG*-Hb  
4.样品借由层次去除技术(Delayers),提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件,可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结,提供电路还原逆向工程之参考
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