| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 >F5E^ DY
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观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 #z#`EBXV$6
X1XmaO% A
性能参数 E#n=aY~u-
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a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） w 6
aZ'(ar :
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； _ SJ Fuv/
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400~2000000（实际显示倍率） @(CJT-Ak
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应用范围 8}Cp(z 2
Z8I 0v$LjR
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； O`f[9^fN
3S"kw
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； U>hpYqf_
R*O<(
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； q0*d*j F0u
5H2Ugk3
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
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