| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 ~{t<g;F
=V:Al
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 _ F2ofB'
4^Z bT
性能参数 -s 7a\H{~
Crezo ?
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） 12}!oS~_
OK
\9 `
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； (?[%u0%_
XM` &/)
400~2000000（实际显示倍率） .cr<.Ov
{3``B #}
应用范围 9dva]$^:*1
<jh=W9.N_
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； CxrsP.
$?DEO[p.
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； NOl/y@#
3.h0
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； Q3[nS(#Z/=
/#[mV(k
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
|
|