| 探针台 |
2019-07-31 16:19 |
切点分析线路修改FIB
主要用途 CpC6vA.R
KL8WT 6!RZ
芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。 kI/%|L%6 D
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性能参数 A9M/n ^61
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a)着陆电压范围 - 电子束：350V~30kV 09Y:(2Qri
<"x *ZT
- 离子束：500V~30kV r8[Y wn <u
]C $$Cx)Ex
b)最小分辨率 - 电子束：0.8nm/30kV 8YkCTJfBGu
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- 离子束：2.5nm/30kV %YI !{
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c)全新的差分抽取及TOF校正功能，可实现更高分辨率的离子束成像、磨削和沉积 zl["}I(*n
+g8 uV hC
L'}^Av_+
应用范围 t: qPW<wc
Z%I9:(
1.定点切割 a1A3uP
j% E9 @#
2.穿透式电子显微镜试片 v{TI SgZ
pqxBu
3.IC线路修补和布局验证 q'<K$4_,%
]\o E}7K%r
4.制程上异常观察分析 T!gq
Z
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V%3w7
5.晶相特性观察分析 PoRL35
@!s(Zkpev
6.故障位置定位用被动电压反差分析
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