| 探针台 |
2019-07-31 16:19 |
切点分析线路修改FIB
主要用途 u\UI6/
P99s
芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。 11yS2D
Aj=c,]2
UgLJV2M6
性能参数 faI4`.i
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a)着陆电压范围 - 电子束：350V~30kV sk`RaDq@;
VnMiZAHR
- 离子束：500V~30kV K +c>Cj}H
k+cHx799
b)最小分辨率 - 电子束：0.8nm/30kV , On u%
V{kgD pB
- 离子束：2.5nm/30kV knZ<V%/e
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c)全新的差分抽取及TOF校正功能，可实现更高分辨率的离子束成像、磨削和沉积 G{oM2`c'#8
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应用范围 MT@Uu
NW ;wy;;
1.定点切割 Aaix?
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2.穿透式电子显微镜试片 &rxR"^x\
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3.IC线路修补和布局验证 rhvsd2 zi
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4.制程上异常观察分析 uM~j
]qc2jut"
5.晶相特性观察分析 bDPT1A`F
ktKT=(F&
6.故障位置定位用被动电压反差分析
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