| 探针台 |
2019-07-31 16:19 |
切点分析线路修改FIB
主要用途 ES7s1O$#
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芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。 g3y ~bf
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性能参数 va@Lz&sAE%
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a)着陆电压范围 - 电子束：350V~30kV oG\Vxg*
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- 离子束：500V~30kV
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b)最小分辨率 - 电子束：0.8nm/30kV ,f>k%_U}
g) jYFfGfH
- 离子束：2.5nm/30kV >kVz49j
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c)全新的差分抽取及TOF校正功能，可实现更高分辨率的离子束成像、磨削和沉积 )Aqtew+A&
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应用范围 ON(kt3.h
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1.定点切割 #_p\Ie*rd
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2.穿透式电子显微镜试片 =7eV/3
~]2K ^bh8&
3.IC线路修补和布局验证 iYy1!\
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4.制程上异常观察分析 rx|pOz,:
%'pgGC"|
5.晶相特性观察分析 rey!{3U
iH@UTE ;
6.故障位置定位用被动电压反差分析
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