| 探针台 |
2019-07-31 16:19 |
切点分析线路修改FIB
主要用途 I@cw=_EQL
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芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。 MYS`@%ZV#k
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性能参数 > 3uNh:|>/
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a)着陆电压范围 - 电子束：350V~30kV BIWe Hx
Ou_H& R
- 离子束：500V~30kV ^1S{::
kW/G=_6
b)最小分辨率 - 电子束：0.8nm/30kV 'Lrn<
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- 离子束：2.5nm/30kV {rKC4 :
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c)全新的差分抽取及TOF校正功能，可实现更高分辨率的离子束成像、磨削和沉积 >@2<^&K`
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应用范围 :V'99Esv`
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1.定点切割 Ul}RT xJ
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2.穿透式电子显微镜试片 Q@W/~~N
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3.IC线路修补和布局验证 ` 2W^Ui,4
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4.制程上异常观察分析 W8d-4')|
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5.晶相特性观察分析 (7Z+ De?
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6.故障位置定位用被动电压反差分析
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