| 探针台 |
2019-07-25 14:34 |
干蚀刻RIE
RIE是干蚀刻的一种，这种蚀刻的原理是，当在平板电极之间施加10～100MHZ的高频电压（RF，radio frequency）时会产生数百微米厚的离子层（ion sheath），在其中放入试样，离子高速撞击试样而完成化学反应蚀刻，此即为RIE（Reactive Ion Etching）。 3 }H{4]*%_
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服务范围：半导体，材料化学等 ;W?#l$R
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服务内容：1.用于对使用氟基化学的材料进行各向同性和各向异性蚀刻， f7_( C0d
其中包括碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、光阻剂、聚酰亚胺、 hU$o^ICH
石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨钛以及钨 uBRlvNJ
2.器件表面图形的刻蚀 s>J5.Z7"'j
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