| 探针台 |
2019-07-25 13:26 |
双束聚焦离子束带电镜EDX功能
FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工。通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属，氧化硅层或沉积金属层。 r'q9N
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服务内容：1.芯片电路修改和布局验证 5.材料鉴定 AcYL 3
2.Cross-Section截面分析 6.定点切割 daZY;_{"o
3.Probing Pad 7.制程上异常观察分析 >p 7e6%
4.FIB透射电镜样品制备 8.晶相特性观察分析 5sq#bvfJ o
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