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xiezhizhi	2019-07-17 22:46
如何提高蒸发速率？南光镀膜机。直接水冷无氧铜坩埚，涉谷电子枪。镀锗蒸发速率只有1A/s 电子枪束流230毫安真空度1.0*10-3pa。请问如何提高蒸发速率。

ouyuu	2019-07-17 23:06
速率是晶控控制的。调晶控参数

lilisrlhj	2019-07-19 11:18
锗料经常会遇到这种状况，多数增加蒸发功率也无法达到需要的蒸发速率，建议从电子枪和坩埚入手检查，建议换小口径的坩埚材料用石墨的比较合适。

囊中蓄乾坤	2019-07-20 18:39
没有镀过，来学习的。

淡小疼	2019-07-21 22:59
换个材料的坩埚

opticsrain	2019-07-28 11:17
晶控参数和电子枪功率的改变不管用的话，可以调整电子束扫描范围试试。

xiezhizhi	2019-08-06 23:44
@<P2di 石墨坩埚解决问题

wqc1987	2020-05-11 22:36
请问楼主，用石墨坩埚溅料吗，我使用石墨6A速率跟放花一样，不知道石墨和锗料谁的问题，望楼主点拨一二，不胜感激

renlgj	2024-08-22 22:38
跟着学习吧

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