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misery_ 2019-07-02 19:04

镀膜膜层越厚，玻璃就容易出现白浑现象？是不是吸收引起的，该如何解决？

膜层越厚白浑现象越严重，是不是吸收引起的，该如何解决呢？
dede 2019-07-14 17:32
同问，帮顶一下
opticsrain 2019-07-16 19:27
可能是离子源强度不够或者镀膜速率太快。
奔跑的小骏马 2019-07-22 16:18
镀膜温度多考虑一下，一般温度太高速率偏低都会出现这个现象，同时需要检测浊度这一指标，如果浊度也比较高，那么你的离子源能量与充的气体不匹配了。
我爱小灰宝 2019-07-27 16:33
首先，你说的膜层越厚指的是单层镀厚就有还是多层才有，其次镀膜用的是什么材料。
我爱小灰宝 2019-07-27 16:41
以氧化钛为例，当给定的参数（沉积速率太快，温度太高，离子源工艺不对）不够好时，薄膜生长结构会出现结晶状态，会产生薄膜散射，也就是强光下可以看到薄膜发雾的现象。充氧不足也会导致吸收，但是不会发雾，吸收和散射本身是不一样的。镀厚之后，因为应力等问题，发雾现象会更加明显。最后表现出来可能就会有白浑的现象。 S24wv2Uw i  
解决这种问题，首先要把单层时不发雾的工艺找好，其次多层时考虑应力的问题。
yzhuang 2019-07-31 11:00
个人经验觉得5楼说得有道理，散射是白雾现象的最大可能原因，还是以先做好材料的单层膜，稳定好膜料的工艺再做复杂膜系更加合适。
xitang007 2019-10-27 00:32
学习了，很实用。
chenenlin 2019-11-01 18:42
很详细的说明，涨知识了
jakzhou 2019-11-17 18:26
以氧化钛为例，当给定的参数（沉积速率太快，温度太高，离子源工艺不对）不够好时，薄膜生长结构会出现结晶状态，会产生薄膜散射，也就是强光下可以看到薄膜发雾的现象。充氧不足也会导致吸收，但是不会发雾，吸收和散射本身是不一样的。镀厚之后，因为应力等问题，发雾现象会更加明显。最后表现出来可能就会有白浑的现象。 1;4 ] HNI  
解决这种问题，首先要把单层时不发雾的工艺找好，其次多层时考虑应力的问题。
chenhui8080 2019-11-21 16:51
學習了，遇到過這踵情況
17873333033 2020-03-16 18:35
感谢5楼的讲解，诚邀同行共同交流：17873333033
17873333033 2020-04-01 17:26
5楼说的很对，希望能和同行业的一些师傅交流交流，178 7333 3033
sosjinyan 2020-05-14 09:08
用单层膜  确认好工艺后，镀AR膜  没有发雾的情况，但是镀膜40层以上 ，就会发雾。  这个就没法用单层膜 调工艺了。
wflney 2020-05-22 22:20
学习学习
flyinlove79 2020-05-22 23:31
主要原因还是膜层晶格缺陷累积造成的。
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