IBS镀制的TA2O5折射率过高的原因

我爱小灰宝:你是怎么测量的折射率，用的是椭偏仪拟合还是光谱反算？ d_T<5Hin  
 (2019-07-27 16:48)  MPvWCPB  

yzhuang:膜料的折射率都是一个参数一个结果，只要你测量或者计算得准确就行，哪来什么理论值？ (2019-07-31 11:03)  yjd(UWE  

tcyt333:用透射光谱拟合反算的。 (2019-08-09 17:03)  S2bexbp0o  

knight627:如果测透过来计算光学常数,无论TFC还是MAC用透过或者反射计算参数的前提是  透过仪和反射仪相当的精准,如果不精准不如用膜料库自身,特别是目前用透过率计算,国产透过议也就能测测产品,计算参数还是算了,透过仪如果精度差(这个精度相对误差非常小才行),折射率有可能高有 .. (2019-08-13 09:42)  d;<.;Od$`  

morningtech:如果测量和反演没大的问题，可考虑致密度大于100%。 N`J:^,H  
离子溅射，伴随反应过程，氧钻入膜层反应，化合物来不及迁移，可能会带来致密度比体材料还大。 i-|/2I9%  
这点可以通过高温退火（烘烤）来观察。退火后，会测量到折射率下降，可伴随厚度增加。 ?a*fy}A|  
膜林科技，专业的光学真空镀膜膜厚控制系统 .. (2019-08-13 10:55)  zuK/(qZ  

morningtech:如果测量和反演没大的问题，可考虑致密度大于100%。 ]# tGT0   
离子溅射，伴随反应过程，氧钻入膜层反应，化合物来不及迁移，可能会带来致密度比体材料还大。 ]be0I)  
这点可以通过高温退火（烘烤）来观察。退火后，会测量到折射率下降，可伴随厚度增加。 BN<#x@m$]  
膜林科技，专业的光学真空镀膜膜厚控制系统 .. (2019-08-13 10:55)  MEdIw#P.}{