求助光驰机离子源结构原理资料-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 求助光驰机离子源结构原理资料 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

qqcheng	2019-06-24 13:17
求助光驰机离子源结构原理资料 RT求助一份光驰离子源学习资料，更全面的了解和学习其工作原理以及设计的结构

ouyuu	2019-06-24 13:50
离子源机械结构很简单，难点在于控制（气体，电压，电流，RF匹配）和栅网的加工精度。

qqcheng	2019-06-24 14:56
ouyuu:离子源机械结构很简单，难点在于控制（气体，电压，电流，RF匹配）和栅网的加工精度。 (2019-06-24 13:50) /~"-q /uw@o9`~2- 您好，首先谢谢你的回复。您说的这些点难控制其根本参照标准是否在于薄膜吸收大小问题。

ouyuu	2019-06-24 21:31
这些难点会影响离子源稳定性。 x?Sx cQP 一个不稳定的离子源是无法做出稳定的膜系的

我爱小灰宝	2019-07-27 16:56
[attachment=94745] fG2)r 这是资料，你可以看看

jiangxinwu	2019-08-19 15:08
同求助哈哈谢谢了

会飞的蜘蛛	2023-09-06 18:34
谢谢楼中好心人

李某	2023-12-17 06:54
感谢大佬 x.1=QF{!

谭健	2023-12-17 12:16
感谢大佬

查看本帖完整版本: [-- 求助光驰机离子源结构原理资料 --] [-- top --]