镀膜元件低频面形参数的有限元模拟及分析方法

摘要：利用有限元法对基片镀膜引起的变形量进行了模拟，通过数据转换将模拟结果输入Metropro 8.3.5面形处理软件，得到了低频面形参数变化量。对比模拟结果与实测结果，发现两者非常接近。利用该方法实现了形状复杂、口径较大镀膜基片面形参数变化量指标的预估，使得镀膜元件面形主动量化控制成为可能。

关键词：薄膜，低频面形参数，有限元模拟，大口径基片

wangqinqinmm	2019-06-21 13:08
针对透镜还是窗口

蓦然知回路	2021-03-26 15:23
是平面吗？非球面这种的能算吗？

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