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cyqdesign 2019-06-04 10:01

薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 +q =/}|  
YL{LdM-xM  
[attachment=93701]
Q}m)Q('Rk  
目录 SYC_=X  
第一篇 薄膜元学基本理抢 #=zh&`  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 -Ol/r=/&  
1.1 麦克斯韦方程 1 gGZ$}vX  
1.2 平面电磁波 6 ND I|;   
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 2pB@qi-]  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ,Z52d ggD  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 jt;,7Ek  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 9cj:'KG)!  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ?p}m[9@  
习题 12 S(rA96n  
参考文献 12 tt`b+NOH>  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 FfP Ce5)  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 .ipYZg'V  
2.1.1 S波反射与透射 14 km8[azB o  
2.1.2 P波反射与透射 16 &| ',o ?'F  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 0h#' 3z<  
2.2.1 S 波反射与透射 18 }b~ZpUL!  
2.2.2 P 波反射与透射 20 P+o ZS  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 3g} ]nj:N  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 CRS/qso[Q'  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 s K s D  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 /tV)8pEj  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 <G#JPt6  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 IF@)L>-%  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 ku?i[Th  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 {HQ?  
2.5.2 全透射 37 CxwZ$0  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 X_"TG;*$  
2.6 反射率和透射率 39 +Pn+&o;D  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 1'Kn:I  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 h*&-[nSo  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 friNo^v&  
习题 44 LUJKR6oT{>  
参考文献 44 #uFP eu:  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 _kgw+NA&-H  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 XG*Luc-v  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 RXLD5$s^  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 41,Mt  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 P b2exS(  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 >* dqFZF  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 A=E1S{C  
3.4.1 一阶近似 62 ^qYJx  
3.4.2 二阶近似 63 ,%yjEO  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 F}.<x5I-;h  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 hcwKi  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 Ll%[}C?~]?  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 E_7N^htv  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 oJ>]=^?k  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 quVTqhg"  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 WHMt$W}%  
习题 79 KR%DpQ&{'  
参考文献 79 (wnkdI{  
第4章 膜系设计图示法 81 M-"%4^8_  
4.1 矢量法 81 "{j4?3f)  
4.2 导纳图解法 87 9UZKL@KC  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 3<CCC+47  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 %fo+Y+t  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 U"af3c^2  
4.3 金属膜导纳圆图 97 [C9->`(`  
4.4 膜系层间电场分布 99 h /@G[5E  
习题 100 &}Cm9V  
参考文献 101 YrL:!\p.  
第二篇 光学等膜分类反应用 STL&ZO  
第5章 增透膜 102 -]\UFR  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 z*"zXL C  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 #jv~FR`4v^  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 ehV`@ss  
5.4 均匀介质增透膜 107 ^#9 &Rk!t  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 ?ep93:j  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 4(f[Z9 iZ]  
5.5 非均匀介质增透膜 113 y}FTLX $  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 Ao69Qn  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 {'NdN+_C  
习题 118 JJPU!  
参考文献 118 s(o{SC'tt  
第6章 高反射膜 120 'C)`j{CS  
6.1 反射镜组合的反射率 120 cLEBcTx  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 L Me{5H  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 uK2MC?LP  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 "k o?AUt  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 =c"`>Vi@d  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 D .oX>L#:  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 yIC8Rl  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 3pl/k T.\  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ^OnU;8IC  
6.8 金属反射镜 134 w$MFCJ:p&  
6.8.1 常用金属反射镜 134 */;[ -9  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 m-dyvW+  
6.9 影响反射特性的因素 137 /'ccFm2  
6.10 高反射镜应用实例 143 @`^+XPK\  
6.10.1 激光高反射镜 143 u%3D{Dj  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 Y?a*-"  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 ,]+P#eXgE  
习题 146 nlOM4fJ(  
参考文献 146 PGF=q|j9K  
第7章 带通滤光片 149 ]3u ErnI  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 w7 @fiH{  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ms@*JCL!t  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 B"rnSui  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 ) jv]Oz  
7.3.2 膜系透射定理 153 ~za=yZo7(  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 tpOMKh.`  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 rJ|Q%utYz  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 CZe0kH^:{  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 ?-1r$z  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 r~&"D#)sy  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 :vZ8n6J[  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 kv{uf$X*ve  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ^x-vOG lR  
7.6 宽带带通滤光片 185 GVhO}m  
7.7 带通滤光片的角特性 186 %{ WZ  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 = _X#JP79  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 KJ M :-z@  
习题 193 v10p]=HmO  
参考文献 193 4=!SG4~o  
第8章 截止滤光片 196 =@q 9,H  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 (hWr!(>C4]  
8.2 吸收型截止滤光片 197 " uf*?m3  
8.3 干涉型截止滤光片 198 Ysbd4 rN  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 HI)MBrj;r  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 *5?a% p  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 INtt0Cm9"  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 Yt*2/jw^  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 mO<sw  
8.3.6 截止带的展宽 210 ]wFKXZeK  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 Z^5j.d{e$  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 zea=vx>`  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 C%_^0#8-0  
习题 221 RP 'VEJ   
参考文献 221 3 r4QB  
第9章 带阻滤光片 223 *W aL}i(P1  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 e&%m[:W:<  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 {uH 4j4)2  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 E`s9SE  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 b Lag&c)  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 x}o]R  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 OjO$.ecT  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 o (fZZ`6Y  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 o8B_;4uB  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 2r;^OWwr?  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 C$Pe<C#  
习题 241 2c:H0O 0o  
参考文献 241 F[m"eEX  
第10章 分光镜 243 %.^8&4$+  
10.1 中性分光镜 243 eLE9-K+  
10.1.1 金属膜中性分光 244 tKg\qbY&  
10.1.2 介质膜中性分光 245 DwM4/m  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 SxV(.i'  
10.2 双色分光镜 249 NCbl|v=  
10.3 偏振分光 254 G tI]6t  
10.3.1 偏振特性的描述 254 zWvG];fsN  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 ]yu,YZ@7  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 +W|MAJtg  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 Bfhw0v]Z  
10.4 消偏振分光 262 jCdKau&9  
10.4.1 偏振分离的描述 263 ;4. D%  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 " a;z  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 {6MLbL{  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 04-phEA2Q  
10.5 分光中的消色差问题 280 q)JG_Y.p  
习题 281 2}`Q9?  
参考文献 282 V lb L p;  
第二篇 薄膜扶术基础 o %#Z  
第11章 薄膜制备技术 283 tMGkm8y-A  
11.1 真空技术简介 283 | rJ_  
11.1.1 真空的基本知识 283 *;A I0  
11.1.2 真空的获得 284 G"!YV#"~  
11.1.3 真空的测量 286 - bL 7M5  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ?m-kpW8  
11.2.1 蒸镀法 289 L8-  
11.2.2 溅射法 300 MU5@(s3B?  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 pKK&+umg  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 o?A/  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 xTQV?g J  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ( 8+_~_  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 W"9iFj X  
11.3.5 光化学气相沉积 310 BcV;EEi  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 n =v4m_e  
11.3.7 原子层沉积 312  |u 8hxa  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 v8g3]MVj3  
11.4.1 化学镀 313 qmUq9bV  
11.4.2 阳极氧化法 314 6w{^S~rqo  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 q|m8G  
11.4.4 电镀 315 Yjz'lWg  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 $eQ_!7Gom$  
11.5 光刻蚀 316 ?QO)b9  
11.5.1 光刻工艺 316 Y{y #us1  
11.5.2 光刻胶 317 bu"Jb4_a>  
11.5.3 掩模 318 2c fzLW(  
11.5.4 曝光 318 <x@\3{{U  
11.5.5 刻蚀方法 318 CaNZScnZ  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 h`&@>uEiq  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 |7WzTz  
习题 323 J)(H-xvV  
参考文献 324 EK. L>3  
第12章 光学薄膜检测技术 326 M"F?'zTkJ  
12.1 光谱分析技术基础 326 Y.rHl4  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 6Nx TW  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 %z! w- u+  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 9Vk61x6  
12.2.1 透射率测量 333 @Zd+XWFw  
12.2.2 反射率测量 334 [ANit0-~  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 77/y{#Sk  
12.3.1 吸收测量 338 yAEOn/.~  
12.3.2 散射测量 342 "d'xT/l "  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 RhyI\(Z2q  
12.4 光学薄膜常数测量 347 Rf2/[  
12.4.1 光度法 348 'ntb.S)  
12.4.2 全反射衰减法 354 z2t;!]"'l  
12.4.3 椭圆偏振法 357 rBs7,h  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 Tp~yn  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 E=gD{1,?  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 S6}_Z  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 3hR7 . /  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 9<<$uf.B  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 Ed #%F-1sX  
12.6.1 薄膜微结构 368 M4M 4*o  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 7=om /  
12.6.3 雕塑薄膜 372 =Z/'|;Vd_x  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 @&+h3dV.V  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 .&7=ZY>E  
FVG|5'V^  
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