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2019-06-04 10:01 |
薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)
《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 +q=/}| YL{LdM-xM
[attachment=93701] Q}m)Q('Rk 目录 SYC_=X 第一篇 薄膜元学基本理抢 #=zh&` 第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 -Ol/r=/& 1.1 麦克斯韦方程 1 gGZ$}vX 1.2 平面电磁波 6 NDI|; 1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 2pB@qi-] 1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ,Z52dggD 1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 jt;,7Ek 1.3 平均电磁能流密度光强 9 9cj:'KG)! 1.4 电磁波谱、光谱 10 ?p}m[9@ 习题 12 S(rA96n 参考文献 12 tt`b+NOH> 第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 FfP Ce5) 2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 .ipYZg'V 2.1.1 S波反射与透射 14 km8[azB o 2.1.2 P波反射与透射 16 &|',o ?'F 2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 0h#' 3z< 2.2.1 S 波反射与透射 18 }b~ZpUL! 2.2.2 P 波反射与透射 20 P+oZS 2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 3g} ]nj:N 2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 CRS/qso[Q' 2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 s K s
D 2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 /tV)8pEj 2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 <G#JPt6 2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 IF@)L>-% 2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 ku?i[Th 2.5.1 全反射与倏逝波 36 {HQ? 2.5.2 全透射 37 CxwZ$0 2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 X_"TG;*$ 2.6 反射率和透射率 39 +Pn+&o;D 2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 1'Kn:I 2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 h*&-[nSo 2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 friNo^v& 习题 44 LUJKR6oT{> 参考文献 44 #uFP
eu: 第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 _kgw+NA&-H 3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 XG*Luc-v 3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 RXLD5$s^ 3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 41,Mt 3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 P b2exS( 3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 >*dqFZF 3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 A=E1S{C 3.4.1 一阶近似 62 ^qYJx 3.4.2 二阶近似 63 ,%yjEO 3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 F}.<x5I-;h 3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 hcwKi
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 Ll%[}C?~]? 3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 E_7N^htv 3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 oJ>]=^?k 3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 quVTqhg" 3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 WHMt$W}% 习题 79 KR%DpQ&{' 参考文献 79 (wnkdI{ 第4章 膜系设计图示法 81 M-"%4^8_ 4.1 矢量法 81 "{j4?3f) 4.2 导纳图解法 87 9UZKL@KC 4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 3<CCC+47 4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 %fo +Y+t 4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 U"af3c^2 4.3 金属膜导纳圆图 97 [C9 ->`(` 4.4 膜系层间电场分布 99 h /@G[5E 习题 100 &}Cm9V 参考文献 101 YrL:!\p. 第二篇 光学等膜分类反应用 STL&ZO 第5章 增透膜 102 -]\UFR 5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 z* "zXLC 5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 #jv~FR`4v^ 5.3 透射滤光片组合透射率 106 ehV`@ss 5.4 均匀介质增透膜 107 ^#9
&Rk!t 5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 ?ep93:j 5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 4(f[Z9 iZ] 5.5 非均匀介质增透膜 113 y}FTLX $ 5.6 入射角变化对透射率的影响 115 Ao69Qn 5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 {'NdN+_C 习题 118 JJPU! 参考文献 118 s(o{SC'tt 第6章 高反射膜 120 'C)`j{CS 6.1 反射镜组合的反射率 120 cLEBcTx 6.2 周期多层膜系的反射率 121 L
Me{5H 6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 uK2MC?LP 6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 "k o?AUt 6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 =c"`>Vi@d 6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 D .oX>L#: 6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 yIC8Rl 6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 3pl/kT.\ 6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ^OnU;8IC 6.8 金属反射镜 134 w$MFCJ:p& 6.8.1 常用金属反射镜 134 */;[ -9 6.8.2 金属一介质反射镜 136 m-dyvW+ 6.9 影响反射特性的因素 137 /'ccFm2 6.10 高反射镜应用实例 143 @`^+XP K\ 6.10.1 激光高反射镜 143 u%3D{Dj 6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 Y?a*-" 6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 ,]+P#eXgE 习题 146 nlOM4fJ( 参考文献 146 PGF=q|j9K 第7章 带通滤光片 149 ]3uErnI 7.1 带通滤光片的特性描述 149 w7@fiH{ 7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ms@*JCL!t 7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 B"rnSui 7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151
) jv]Oz 7.3.2 膜系透射定理 153 ~za=yZo7( 7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 tpOMKh.` 7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 rJ|Q%utYz 7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 CZe0kH^:{ 7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 ?-1r$z
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 r~&"D#)sy 7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 :vZ8n6J[ 7.4.3 诱导带通滤光片 174 kv{uf$X*ve 7.5 超窄带带通滤光片 183 ^x-vOGlR 7.6 宽带带通滤光片 185 GVhO}m 7.7 带通滤光片的角特性 186 %{WZ 7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 =
_X#JP79 7.9 多通道窄带带通滤光片 192 KJ M:-z@ 习题 193 v10p]=HmO 参考文献 193 4=!SG4~o 第8章 截止滤光片 196 =@q 9,H 8.1 截止滤光片的特性描述 196 (hWr!(>C4] 8.2 吸收型截止滤光片 197 "uf*?m3 8.3 干涉型截止滤光片 198 Ysbd4rN 8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 HI)MBrj;r 8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 *5?a%p 8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 INtt0Cm9" 8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 Yt*2/jw^ 8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 mO<sw 8.3.6 截止带的展宽 210 ]wFKXZeK 8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 Z^5j.d{e$ 8.4 金属介质膜截止滤光片 218 z ea=vx>` 8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 C%_^0#8-0 习题 221 RP 'VEJ 参考文献 221 3
r4QB 第9章 带阻滤光片 223 *W
aL}i(P1 9.1 带阻滤光片的特性描述 223 e&%m[:W:< 9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 {uH
4j4)2 9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 E`s9SE 9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 b Lag&c) 9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 x}o]R 9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 OjO$.ecT 9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 o (fZZ`6Y 9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 o8B_;4uB 9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 2r;^OWwr? 9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 C$Pe<C# 习题 241 2c:H0O
0o 参考文献 241 F[m"eEX 第10章 分光镜 243 %. ^8&4$+ 10.1 中性分光镜 243 eLE9-K+ 10.1.1 金属膜中性分光 244 tKg\qbY& 10.1.2 介质膜中性分光 245 DwM4/m 10.1.3 金属介质膜中性分光 247 SxV(.i' 10.2 双色分光镜 249 NCbl|v= 10.3 偏振分光 254 GtI]6t 10.3.1 偏振特性的描述 254 zWvG];fsN 10.3.2 平板偏振分光镜 255 ]yu,YZ@7 10.3.3 棱镜偏振分光 258 +W|MAJtg 10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 Bfhw0v]Z 10.4 消偏振分光 262 jCdKau&9 10.4.1 偏振分离的描述 263 ;4.D% 10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 "a;z 10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 {6MLbL{ 10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 04-phEA2Q 10.5 分光中的消色差问题 280 q)JG_Y.p 习题 281 2}`Q9? 参考文献 282 Vlb L
p; 第二篇 薄膜扶术基础 o%#Z
第11章 薄膜制备技术 283 tMGkm8y-A 11.1 真空技术简介 283 |rJ_ 11.1.1 真空的基本知识 283 * ;A I0 11.1.2 真空的获得 284 G"!YV#"~ 11.1.3 真空的测量 286 - bL
7M5 11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ?m-kpW8 11.2.1 蒸镀法 289 L8- 11.2.2 溅射法 300 MU5@(s3B? 11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 pKK&+umg 11.3.1 化学气相沉积的原理 307 o?A/ 11.3.2 常压化学气相沉积 308 xTQV?g
J 11.3.3 低压化学气相沉积 308 ( 8+ _~_ 11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 W"9iFj X 11.3.5 光化学气相沉积 310 BcV;EEi 11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 n=v4m_e 11.3.7 原子层沉积 312 |u8hxa 11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 v8g3]MVj3 11.4.1 化学镀 313 qmUq9bV 11.4.2 阳极氧化法 314 6w{^S~rqo 11.4.3 溶胶一凝胶法 314 q|m8G 11.4.4 电镀 315 Yjz'lWg 11.4.5 LB 膜制备技术 315 $eQ_!7Gom$ 11.5 光刻蚀 316 ?QO)b9 11.5.1 光刻工艺 316 Y{y #us1 11.5.2 光刻胶 317 bu"Jb4_a> 11.5.3 掩模 318 2 cfzLW( 11.5.4 曝光 318 <x@\3{{U 11.5.5 刻蚀方法 318 CaNZScnZ 11.5.6 无掩模刻蚀 321 h`&@>uEiq 11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 |7WzTz 习题 323 J)(H-xvV 参考文献 324 EK.L>3 第12章 光学薄膜检测技术 326 M"F?'zTkJ 12.1 光谱分析技术基础 326 Y.rHl4 12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 6Nx T W 12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 %z!
w-u+ 12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 9Vk61x6 12.2.1 透射率测量 333 @Zd+XWFw 12.2.2 反射率测量 334 [ANit0-~ 12.3 薄膜吸收和散射测量 338 77/y{#Sk 12.3.1 吸收测量 338 yAEOn/.~ 12.3.2 散射测量 342 "d'xT/l
" 12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 RhyI\(Z2q 12.4 光学薄膜常数测量 347 Rf2/[ 12.4.1 光度法 348 'ntb.S) 12.4.2 全反射衰减法 354 z2t;!]"'l 12.4.3 椭圆偏振法 357 rBs7,h 12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 Tp~yn 12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 E=gD{1,? 12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 S6}_Z 12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 3hR7 ./ 12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 9<<$uf.B 12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 Ed#%F-1sX 12.6.1 薄膜微结构 368 M4M
4*o 12.6.2 薄膜微结构检测 371 7=om / 12.6.3 雕塑薄膜 372 =Z/'|;Vd_x 12.6.4 薄膜化学成分检测 373 @&+h3dV.V 12.7 薄膜非光学特性测量 375 .&7=ZY>E FVG|5'V^ 优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价 ¥89.00] ]Vjn7P`~N
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