cyqdesign |
2019-06-04 10:01 |
薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)
《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 \s%g'g; >;XtJJS
[attachment=93701] D_?Tj 目录 &',#j]I 第一篇 薄膜元学基本理抢 Zr1"'+- 第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 #q K.AZi 1.1 麦克斯韦方程 1 ZBR^$?nj 1.2 平面电磁波 6 k;jl3GV 1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 Dt<MEpbur 1.2.2 理想介质中的平面波解 7 c0Bqm 1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 |||m5(`S 1.3 平均电磁能流密度光强 9 L){V(*K ' 1.4 电磁波谱、光谱 10 SHs [te[ 习题 12 OwEV$Q 参考文献 12 <p
CD> 第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 n-2!<`UFX 2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 DLP@?]BBOA 2.1.1 S波反射与透射 14 akk*f+TD` 2.1.2 P波反射与透射 16 b1>]?. 2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 W4$aX5ow$ 2.2.1 S 波反射与透射 18 `k>C%6FG$# 2.2.2 P 波反射与透射 20 hxj\ 2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 6\u. [2lE^ 2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 0<:rp]<, 2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 Y[vP]7- 2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 x${C[gxq9F 2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 R<gAxO%8 2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 Y@:l!4DI 2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 jygUf| 2.5.1 全反射与倏逝波 36 2q]ZI 2.5.2 全透射 37 BKO^ux% 2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 WMnSkO 2.6 反射率和透射率 39 /k?l%AH 2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 r>! @Z2%s 2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 @67GVPcxl 2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 n|? sNM<J3 习题 44 s0]ZE\`H> 参考文献 44 |EdEV*.ej 第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 ZbVn"he 3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 S"@6, 3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 I$S*elveG 3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 43y@9P0 3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 WF*j^ %5 3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ;F*^c
) 3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 Gh.?6kuh 3.4.1 一阶近似 62 %QrO Es 3.4.2 二阶近似 63 $L( ,lB 3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 o/
51RH 3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 aCH;l~+U 3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 3QKBuo 3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 @aN~97
H\ 3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 cAGM|% 3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 S&-F(#CF^ 3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 #g@4c3um| 习题 79 o3\^9-jmp 参考文献 79 KztQT9kY 第4章 膜系设计图示法 81 _-H,S)kI` 4.1 矢量法 81 y${`W94 4.2 导纳图解法 87 [_`yy 4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 sr[[xzL 4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 %-fS:~$ 4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 h4itXJy52B 4.3 金属膜导纳圆图 97 (e~9T MY 4.4 膜系层间电场分布 99 Ac{Tq iIv 习题 100 g18zo~LZ 参考文献 101 6Ad UlPM 第二篇 光学等膜分类反应用 )Ghw!m 第5章 增透膜 102 ,SIGfd 5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 /=l!F' 5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ~`Vo0Z*S 5.3 透射滤光片组合透射率 106 _g9j_
x:= 5.4 均匀介质增透膜 107 jj;TS% 5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 Ake l .& 5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 OAFxf,b 5.5 非均匀介质增透膜 113 6 <`e]PT 5.6 入射角变化对透射率的影响 115 6Y6t.j0vN. 5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 gBWr)R 习题 118 a%a0/!U[ 参考文献 118 !mWm@}Ujg 第6章 高反射膜 120 9bRUN< 6.1 反射镜组合的反射率 120 v5e*R8/ 6.2 周期多层膜系的反射率 121 -R1;(n) 6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 8[t*VIXI 6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 {|OXiRm' 6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 uit.r^8l 6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 q9VBK(,X 6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 q^6#.} 6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 G(shZ=fq 6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 |{-?OOKj 6.8 金属反射镜 134 w'_|X&@H 6.8.1 常用金属反射镜 134 5]CaWFSmT 6.8.2 金属一介质反射镜 136 C8qSoO4Z 6.9 影响反射特性的因素 137 xT* 3QwK 6.10 高反射镜应用实例 143 &}C-W*
f,Z 6.10.1 激光高反射镜 143 {,6J*v"o 6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 0|K<$e6IH 6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 @p/"]zf 习题 146 (nBh6u* 参考文献 146 Uc,.. 第7章 带通滤光片 149 [AIqKyIr 7.1 带通滤光片的特性描述 149 P*}aeu&lnD 7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 2'OY,Ooe 7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 50A\Y)i_mZ 7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 }M"])B I
7.3.2 膜系透射定理 153 l O* 7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 %qE"A6j 7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 hMvJNI6O 7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 ,JbP~2M~% 7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 ~Al3Dv9x 7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 5 A5t 7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 8yDsl 7.4.3 诱导带通滤光片 174 cBOK@\x:Wi 7.5 超窄带带通滤光片 183 c=?6`m,"M 7.6 宽带带通滤光片 185 yt,Ky8y1 7.7 带通滤光片的角特性 186 Pk(%=P, 7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 3fX_XH1Q 7.9 多通道窄带带通滤光片 192 .V}bfd[k$ 习题 193 S9nn^vsK 参考文献 193 -bSM]86 第8章 截止滤光片 196 \Nf[8n#{ 8.1 截止滤光片的特性描述 196 5 b,|6 8.2 吸收型截止滤光片 197 z%JN| 5 8.3 干涉型截止滤光片 198 pXBh^ 8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 L*|P' 8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 zLg$|@E& 8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 _(~E8g 8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 TXV^f* 8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 <s|.2~ 8.3.6 截止带的展宽 210 R- ,L"Vv 8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 (]&B'1b 8.4 金属介质膜截止滤光片 218 3,*A VcQA 8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 :f_oN3F p 习题 221 :9x]5;ma 参考文献 221 |f1^&97=+ 第9章 带阻滤光片 223 hgDFhbHtd6 9.1 带阻滤光片的特性描述 223 cH|J 9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 dWi.V?K4z 9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 $nIE;idk 9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 &m9= q|;m 9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 \h0+`
;Q 9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 pzQc UG 9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 K)[\IJJM 9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 N:#$S$ 9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 aCIz(3^ 9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 eAjR(\f> 习题 241 `C-8zA 参考文献 241 i$hWX4L 第10章 分光镜 243 u WdKG({][ 10.1 中性分光镜 243 []yIz1P=j 10.1.1 金属膜中性分光 244 KIWHn_ : 10.1.2 介质膜中性分光 245 tux`-F 10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ER[$TH& 10.2 双色分光镜 249 @;{ZnRv14 10.3 偏振分光 254 1~2+w]-kU 10.3.1 偏振特性的描述 254 gQu!(7WLI 10.3.2 平板偏振分光镜 255 [ z/G 10.3.3 棱镜偏振分光 258 /M3;~sx 10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 [(TmAEON 10.4 消偏振分光 262 ^ u0y<kItX 10.4.1 偏振分离的描述 263 (6[/7e) 10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 h. 4#C}> ) 10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 pa?AKj] 10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 ;yjw(OAI* 10.5 分光中的消色差问题 280 86?~N 习题 281 \)aFYDq#\ 参考文献 282 *&h]PhY 第二篇 薄膜扶术基础 Qn-nO_JL 第11章 薄膜制备技术 283 |m*l/@1 11.1 真空技术简介 283 ZdPqU\G^q 11.1.1 真空的基本知识 283 =1)9>= } 11.1.2 真空的获得 284 H
]](xYy. 11.1.3 真空的测量 286 *g:Dg I 2 11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 pV 8U`T 11.2.1 蒸镀法 289
e~,+rM 11.2.2 溅射法 300 P+_1*lOG 11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 9j-;-`$S 11.3.1 化学气相沉积的原理 307 pRsIi_~& 11.3.2 常压化学气相沉积 308 zc,X5R1 11.3.3 低压化学气相沉积 308 gdyWuOxa| 11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 E\9HZ;}G 11.3.5 光化学气相沉积 310 LRS,bl3}/ 11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 el<[Ng[ 11.3.7 原子层沉积 312 5s4x%L (~} 11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 MA%g-} 11.4.1 化学镀 313 AxO.adQE% 11.4.2 阳极氧化法 314 2sEG#/Y= 11.4.3 溶胶一凝胶法 314 wsAb8U C_ 11.4.4 电镀 315 YETGq- 11.4.5 LB 膜制备技术 315 I-kK^_0mV< 11.5 光刻蚀 316 5RY-.c4} 11.5.1 光刻工艺 316 {`>pigo 11.5.2 光刻胶 317 W%9~'pXgB 11.5.3 掩模 318 20Jlf?
11.5.4 曝光 318 ]]_c3LJ2` 11.5.5 刻蚀方法 318 q"f7$ 11.5.6 无掩模刻蚀 321 *kj+6`:CPs 11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 *8u<?~9F 习题 323 6vU%Y_n=y] 参考文献 324 1NrNTBI@ 第12章 光学薄膜检测技术 326 u,`V%J?vW 12.1 光谱分析技术基础 326 4Y
G\<Zf 12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 6aWnj*dF 12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 0/%RrE 12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 9c0 12.2.1 透射率测量 333 DwTVoCC 12.2.2 反射率测量 334 Gsm.a 12.3 薄膜吸收和散射测量 338 -y$<fu9
e 12.3.1 吸收测量 338 l Yj$3 12.3.2 散射测量 342 XN3'k[ 12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 &*Kk>
4 12.4 光学薄膜常数测量 347 oXVx9dZ 12.4.1 光度法 348 Udjn.D 12.4.2 全反射衰减法 354 &=In 12.4.3 椭圆偏振法 357 D_`~$QB`, 12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 %hz5) 12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 1@~ 1vsJ 12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 I-Hg6WtB 12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 Y|KT3 12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Tx'anP 12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 $g,v]MW 12.6.1 薄膜微结构 368 6"r _Y7% 12.6.2 薄膜微结构检测 371 f&Juq8s_0 12.6.3 雕塑薄膜 372 25W #mh,' 12.6.4 薄膜化学成分检测 373 A9GSeW< 12.7 薄膜非光学特性测量 375 UzV78^:,iD ;j<#VS-] 优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价 ¥89.00] 3A! |M5
|
|