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2019-06-04 10:01 |
薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)
《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 Gt'/D>FE0 Oo/8Y
E@
[attachment=93701] ]-EN/V 目录 &E]"c]i+ 第一篇 薄膜元学基本理抢 'RQiLUF 第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 [)iN)$Mv 1.1 麦克斯韦方程 1 @SQceQfB 1.2 平面电磁波 6 . =R=cA7 1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 s[Gswd 1.2.2 理想介质中的平面波解 7 .pKN4 1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 9/Wn!Ld 1.3 平均电磁能流密度光强 9 h.D^1 1.4 电磁波谱、光谱 10 xZg7Jg 习题 12 @|'Z@>!/pV 参考文献 12 pLJeajv)z 第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 (ic@3:xR 2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 5E.vje{U; 2.1.1 S波反射与透射 14 _0*=u$~R 2.1.2 P波反射与透射 16 X_!$Pk7ma 2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 K]MzP|T, 2.2.1 S 波反射与透射 18 oo'iwq-\ 2.2.2 P 波反射与透射 20 a^x
0 l 2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 e~*S4dKR 2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 uAQg"j 2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 0O^U{#*$I 2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 wV?[3bEhM 2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 2t.fD@ 2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 6XZN># 2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 eNivlJ,K|@ 2.5.1 全反射与倏逝波 36 8@Q"YA3d+ 2.5.2 全透射 37 |B,dEx/uU 2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 m9uUDq#GJ 2.6 反射率和透射率 39 %"{?[!C ? 2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 VgUvD1v?} 2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 Km%8Yw0+ 2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 ayN*fiV] 习题 44 l; */M.B 参考文献 44 -IGMl_s 第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 x[Hhj' 3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 xvHOY: 3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 W0+u)gDDz 3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 <'VA=orD 3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 "hz>{oe 3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 *pY/5? g 3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 ;A`IYRzt 3.4.1 一阶近似 62 &C\=!r0j^ 3.4.2 二阶近似 63 ;Kt'Sit 3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 uTxX`vH@! 3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 x!Y( Y=i> 3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 `AB~YX%( 3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 5X#i65_- 3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 pFG]IM7o/u 3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 6Uch0xha! 3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 -i2D#i' 习题 79 oM-b96 参考文献 79 e?|d9;BO 第4章 膜系设计图示法 81 o$*bm6o 4.1 矢量法 81 USH@:c#t 4.2 导纳图解法 87 !>?4[|?n< 4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 ccIDMJ=2 4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 `4se7{'UK` 4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 jo]m12ps 4.3 金属膜导纳圆图 97 <aD'$(N5 4.4 膜系层间电场分布 99 PEK.Kt\M 习题 100 ':5Trx 参考文献 101 gF$1wV]e 第二篇 光学等膜分类反应用 '
}y]mFpF 第5章 增透膜 102 ,ZsYXW 5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 Pm;x]Aj 5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 Vf@S8H 5.3 透射滤光片组合透射率 106 B:B0p+$I
5.4 均匀介质增透膜 107 kq-mr 5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 #i'C 5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 7[(Lrx.pM 5.5 非均匀介质增透膜 113 L{4),65 5.6 入射角变化对透射率的影响 115 (jD'+ "? 5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ^\xCqVk_R 习题 118 !3O,DhH>MC 参考文献 118 ZJiuj! 第6章 高反射膜 120 WV5r$ 6.1 反射镜组合的反射率 120 ez{P-qB 6.2 周期多层膜系的反射率 121 ,<R>Hiwg/s 6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 R
(+h)#![ 6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 tg4LE?nv 6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 u&hDjE 6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 U}mL,kj" 6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 9;;]q?* 6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 }[XB]Xf 6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 G~b`O20N 6.8 金属反射镜 134 :mCw.Jz<h 6.8.1 常用金属反射镜 134 ::^qy^n 6.8.2 金属一介质反射镜 136 7C,<iY 6.9 影响反射特性的因素 137 s8`}x _k= 6.10 高反射镜应用实例 143 0R2S@4%Y 6.10.1 激光高反射镜 143 )&b}^1 6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 (:</R$I 6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 [qO5~E`; 习题 146 OX#eLco 参考文献 146 ^=4I|+P,6. 第7章 带通滤光片 149 yoq\9* ?u^ 7.1 带通滤光片的特性描述 149 Cy`<^_i 7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 WcV\kemf 7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 (6b?ir ~ 7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 -52@%uB 7.3.2 膜系透射定理 153 KNO*)\
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 |IyM"UH 7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 8gu'dG = 7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 i{1)=_$Vt` 7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 .P|+oYT&g 7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 5p#o1I 7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 JO<gN=
[ 7.4.3 诱导带通滤光片 174 0{U ]STj 7.5 超窄带带通滤光片 183 df21t^0/ 7.6 宽带带通滤光片 185 X-*KQ+? 7.7 带通滤光片的角特性 186 :JTRRv 7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 pUCEYR 7.9 多通道窄带带通滤光片 192 (IO\+ 习题 193 9^b7jw 参考文献 193 'AAF/ 9 第8章 截止滤光片 196 )Ta]6 8.1 截止滤光片的特性描述 196 vJ# rW8y 8.2 吸收型截止滤光片 197 FEm1^X#] 8.3 干涉型截止滤光片 198 j:de}!wc 8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ~8Dd<4?F] 8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 ZPxOds1m 8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ~]6Oz;~<3 8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 k`iq<b 8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 )M|O;~q 8.3.6 截止带的展宽 210 gs`27Gih 8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 #Kb)>gzT 8.4 金属介质膜截止滤光片 218 W~+!"^<n 8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 )P(d66yq'u 习题 221 }{w_>!ee 参考文献 221 pO 7{3% 第9章 带阻滤光片 223 bCY^.S- 9.1 带阻滤光片的特性描述 223 >m;|I/2@ 9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 1VPN#Q! 9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 gl(6m`a> 9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 8YJqM,t5) 9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 )n3biQL_ 9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 _6QLnr&@j 9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 RL]lt0O{ 9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 =Y=^]ayO/ 9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 ]mJAKycE% 9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 CB{k;H 习题 241 B#Oc8`1Y 参考文献 241 +=29y@c 第10章 分光镜 243 MR l*rK 10.1 中性分光镜 243 At^DY!3vx 10.1.1 金属膜中性分光 244 d= T9mj.@ 10.1.2 介质膜中性分光 245 )lngef
/D_ 10.1.3 金属介质膜中性分光 247 >/OXC+=^4 10.2 双色分光镜 249 DT7-v4Zd 10.3 偏振分光 254 ?`[ uh% 10.3.1 偏振特性的描述 254 RGPU~L 10.3.2 平板偏振分光镜 255 (1r>50Ge 10.3.3 棱镜偏振分光 258 nF!_q;+Vp 10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 exrt|A]_[ 10.4 消偏振分光 262 o"+&^ 10.4.1 偏振分离的描述 263 ZC\.};. 10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 dO4U9{+ 10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 qeO6}A"^| 10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 1o"oa<*_ 10.5 分光中的消色差问题 280 77=y!SDP 习题 281 ZZ.0' 参考文献 282 s%TO(vT 第二篇 薄膜扶术基础 +/_B/[e<> 第11章 薄膜制备技术 283 nY5n%>8 11.1 真空技术简介 283 :Ro"
0/d 11.1.1 真空的基本知识 283 %>z8:oJ 11.1.2 真空的获得 284 m*Lv,yw %a 11.1.3 真空的测量 286 .]P;fCQmM 11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 %RD7=Z-z 11.2.1 蒸镀法 289 I>4Tbwy.- 11.2.2 溅射法 300 a518N*]j 11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 =x.v*W]F` 11.3.1 化学气相沉积的原理 307 Z?!:=x>7m 11.3.2 常压化学气相沉积 308 LXEu^F~{u# 11.3.3 低压化学气相沉积 308 $v}8lBCr3 11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 z?) RF[ 11.3.5 光化学气相沉积 310 $q@RHcj 11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 Bw/H'Y 11.3.7 原子层沉积 312 A
=Az[ 11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 >fzzrD}] 11.4.1 化学镀 313 GHsdLe=t0# 11.4.2 阳极氧化法 314 0-MasI&b 11.4.3 溶胶一凝胶法 314 'FA)LuAok 11.4.4 电镀 315 U@t?jTMBkO 11.4.5 LB 膜制备技术 315 "E[*rnsLN 11.5 光刻蚀 316 d~1"{WPSn 11.5.1 光刻工艺 316 &/#Tk>: 11.5.2 光刻胶 317 hw.demD 11.5.3 掩模 318 ;NVTn<Uj 11.5.4 曝光 318 9C'+~<l 11.5.5 刻蚀方法 318 A5H8+gATK 11.5.6 无掩模刻蚀 321 .1q~,}toX 11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 bFdg'_ 习题 323 Gqz)=' 参考文献 324 T7Qd
I[K%b 第12章 光学薄膜检测技术 326 8_,wOkk_B 12.1 光谱分析技术基础 326 3'@jRK 12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ghd[G} 12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 K.L+;
nQ 12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 !rmo*-=^= 12.2.1 透射率测量 333 (IQ L`3f% 12.2.2 反射率测量 334 ScmzbDu 12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ,?N_67 12.3.1 吸收测量 338 RuEnr7gi 12.3.2 散射测量 342 P##( V!YR 12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 EjCzou 12.4 光学薄膜常数测量 347 7}7C0mV3 12.4.1 光度法 348 <+JFal 12.4.2 全反射衰减法 354 ;? QAPTz 12.4.3 椭圆偏振法 357 <yaw9k+P 12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ~=gH7V 12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 #Lt+6sa]2@ 12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 "YU~QOGx@ 12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 EC\:uK 12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 @{GxQzo 12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 H4",r5qw: 12.6.1 薄膜微结构 368 3\~fe/z'I 12.6.2 薄膜微结构检测 371 eeR@p$4i 12.6.3 雕塑薄膜 372 t-m,~Io W 12.6.4 薄膜化学成分检测 373 F&j|Y>m 12.7 薄膜非光学特性测量 375 ba:^zO^ &IY_z0= 优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价 ¥89.00] EF{'J8AQ
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