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2019-06-04 10:01 |
薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)
《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 :@]%n~x (Y:?qy
[attachment=93701] L yNLz
m5 目录 @;`d\lQ 第一篇 薄膜元学基本理抢 ^j *H 第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 -APbN(Vi 1.1 麦克斯韦方程 1 -a`PW 1.2 平面电磁波 6 YLehY 1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 }[b3$WZ 1.2.2 理想介质中的平面波解 7 TaNcnAY>9 1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 1^AG/w 1.3 平均电磁能流密度光强 9 aK5O0` 1.4 电磁波谱、光谱 10 1;"DIsz@d 习题 12 x't@Mc 参考文献 12 $b`~K MO 第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 qLa6c2o, 2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 Bhg,P.7 2.1.1 S波反射与透射 14 '@G=xYR 2.1.2 P波反射与透射 16 u}eLf'^ZCe 2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 <Wa7$ h F 2.2.1 S 波反射与透射 18 -W.bOr 2.2.2 P 波反射与透射 20 S:{`eDk\A_ 2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 m,^UD{ 2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 ?5<x$YI 2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 0@/C5 v 2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 +~\ 1g^h 2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 fX{Xw0
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 vu|-}v?: 2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 xFp?+a 2.5.1 全反射与倏逝波 36 &h'NC%"v 2.5.2 全透射 37 V(P 1{g 2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 0P^&{ek+) 2.6 反射率和透射率 39 Y[.f`Ei2 2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 bmI6OIWl 2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 dLtmG:II 2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 *yqke<o9) 习题 44 ^Fg!.X_ 参考文献 44 O6$n VpD3 第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 .Zm de*b 3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 /amWf^z 3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 h)h%y)1 3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 +O!4~k^ 3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 Rv Uw,= 3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 6ac_AsFK 3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61
a
Ju v{ 3.4.1 一阶近似 62 ^a?g~G 3.4.2 二阶近似 63 wj 15Og? 3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 6wH:jd9, 3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 Q9{f'B 3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 )*nZ6Cg' 3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 &x)n K 3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 LX{mr{ 3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 Nn-EtM0w 3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 y1#*c$ O 习题 79 dfWtLY 参考文献 79 BY>]6SrP 第4章 膜系设计图示法 81 5`Y>!|
Ab 4.1 矢量法 81 L7nW_ 4.2 导纳图解法 87 (N?nOOQ 4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 z C7 b 4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 [7h/ 2La# 4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 iiv`ji 4.3 金属膜导纳圆图 97 9v?rNJs 4.4 膜系层间电场分布 99 B_S))3
习题 100 Q=t_m(:0 参考文献 101 Qt.|YB8 第二篇 光学等膜分类反应用 .$a|&P=S 第5章 增透膜 102 9gac7(2`) 5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 =4
NKXP~C 5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 zuI7Px 5.3 透射滤光片组合透射率 106 3u/ GrsF 5.4 均匀介质增透膜 107 fU|4^p) 5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 wo9`-o6 5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 h(p cGE 5.5 非均匀介质增透膜 113 t@!A1Vr@ 5.6 入射角变化对透射率的影响 115 }fL
] }& 5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ;E0x#JUrw 习题 118 C=(~[ Y 参考文献 118 J~)JsAXAI 第6章 高反射膜 120 j+[oZfH 6.1 反射镜组合的反射率 120 E&>;a!0b] 6.2 周期多层膜系的反射率 121 emI F{oP 6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 5?*Iaw 6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 >%A~ : 6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 W4"1H0s`l 6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 $ZlzS`XF7 6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 6W9lKD_i 6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 sNZOm $ 6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 5MK.>3fE 6.8 金属反射镜 134 lcXo> 6.8.1 常用金属反射镜 134 O)c3Lm-w 6.8.2 金属一介质反射镜 136 'j;i4ie>*x 6.9 影响反射特性的因素 137 `2`h4[^ [X 6.10 高反射镜应用实例 143 BO0Y#fs 6.10.1 激光高反射镜 143 \jr-^n] 6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 .F3~eas 6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 DI[ 习题 146 HG^~7oMf 参考文献 146 rges`&0 第7章 带通滤光片 149 BirnCfj/2 7.1 带通滤光片的特性描述 149 s8SCEpz 7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 Y4N)yMSl" 7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 e#@u&+K/f 7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 h<i.Z7F;tj 7.3.2 膜系透射定理 153 0%qM`KZC 7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 F41g Mg 7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 .}Hs'co 7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 cFHSMRB|P 7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 @B9#Hrc 7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 S+l>@wa)| 7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 xP &@|Ag 7.4.3 诱导带通滤光片 174 at(gem 7.5 超窄带带通滤光片 183 +/rh8? 7.6 宽带带通滤光片 185 kfq<M7y 7.7 带通滤光片的角特性 186 o<rbC <
U 7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 lHO.pN`2 7.9 多通道窄带带通滤光片 192 caZEZk#r; 习题 193 ,irc=0M( 参考文献 193 0G3T.4I 第8章 截止滤光片 196 v1$}JX 8.1 截止滤光片的特性描述 196 02C; 8.2 吸收型截止滤光片 197 zKGr(9I 8.3 干涉型截止滤光片 198 t![972.& 8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 9`!#5i)VU8 8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 lr$,=P` 8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 vqo ~?9z[e 8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 h([qq<Lzs 8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 *oAnG:J+M 8.3.6 截止带的展宽 210 ._<gc;G 8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 h8P_/.+g|V 8.4 金属介质膜截止滤光片 218 *-gmWATC6 8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 yn04[PN2 习题 221 =6BI[_0 参考文献 221 <<6gsKP 第9章 带阻滤光片 223 EHm:&w 9.1 带阻滤光片的特性描述 223 >Vb V<ak 9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 <n0j'P>1 9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 f0g&=k{OD 9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 6e;8\1^ 9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 ]o`FF="at 9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 aq8mD^j -& 9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 CN7qqd 9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 &sGLm~m# 9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 >2tosxH M 9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 y|YhDO 习题 241 jxnb<!|?H@ 参考文献 241 %Z(lTvqG 第10章 分光镜 243 5S4`.' 10.1 中性分光镜 243 D$SO 6X~ 10.1.1 金属膜中性分光 244 2hTH 10.1.2 介质膜中性分光 245 L'a>D 10.1.3 金属介质膜中性分光 247 F=yE>[! LB 10.2 双色分光镜 249 1 w9Aoc 10.3 偏振分光 254 /(bn+l}W 10.3.1 偏振特性的描述 254 s=n_(}{ q 10.3.2 平板偏振分光镜 255 =[o/D0-Kn 10.3.3 棱镜偏振分光 258 Yq:TWeZD 10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 ;^P0+d^5C 10.4 消偏振分光 262 =4Wjb 10.4.1 偏振分离的描述 263 \>4x7mF! 10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 iD2>-yf 10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 zuvP\Y=V` 10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 q|e<b 10.5 分光中的消色差问题 280 }fz;La:b 习题 281 .,SWa;[iB 参考文献 282 `Dv&. 第二篇 薄膜扶术基础 5v#_2Ih 第11章 薄膜制备技术 283 KT8]/T`U 11.1 真空技术简介 283 6}PoBhgSg- 11.1.1 真空的基本知识 283 e6^iakSd.L 11.1.2 真空的获得 284 )X-TJ+d 11.1.3 真空的测量 286 /ee4 v! 11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 JC4Z^/\. 11.2.1 蒸镀法 289 E)F"!56lV 11.2.2 溅射法 300 ,T7(!)dR 11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 SL>0 _ 11.3.1 化学气相沉积的原理 307 $-f(.S 11.3.2 常压化学气相沉积 308 xsXf_gGu 11.3.3 低压化学气相沉积 308 }L|XZL_Jo# 11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 vm "dE4W= 11.3.5 光化学气相沉积 310 - Tr*G4 11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 0G/_"}@ 11.3.7 原子层沉积 312 lF!Iu.MM 9 11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 >"+bL6# 11.4.1 化学镀 313 u<
.N\/ 11.4.2 阳极氧化法 314 %ck/ Z 11.4.3 溶胶一凝胶法 314 l&v&a!EU 11.4.4 电镀 315 l%$co07cX 11.4.5 LB 膜制备技术 315 Mhze!! 11.5 光刻蚀 316 FcZ)_m6m 11.5.1 光刻工艺 316 MM4Eq>F/ 11.5.2 光刻胶 317 !Ql&Ls 11.5.3 掩模 318 STgYXA( 11.5.4 曝光 318 Tta+qjr 11.5.5 刻蚀方法 318 p*(]8pDC 11.5.6 无掩模刻蚀 321 f}F
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 &sJ%ur+G 习题 323 1]Gp\P} 参考文献 324 S`GM#( t@_ 第12章 光学薄膜检测技术 326 :0B'
b 12.1 光谱分析技术基础 326
XvspE}~y 12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 .\+%Q)?h: 12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 IEW[VU) 12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 >pn5nn1a 12.2.1 透射率测量 333 Se-n# 12.2.2 反射率测量 334 ;p 'Ej'E 12.3 薄膜吸收和散射测量 338 @^kt[$X; 12.3.1 吸收测量 338 $N)b6(}F10 12.3.2 散射测量 342 +cnBEv~y 12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 tB7g.)yZb 12.4 光学薄膜常数测量 347 knJoVo] 12.4.1 光度法 348 ygquQhf5 12.4.2 全反射衰减法 354 ~!{y3thZ 12.4.3 椭圆偏振法 357 Yn }Ivg 12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 EAM2t|MG. 12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 fbK`A?5K 12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 <v=T31aS 12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 "FT(U{^7d 12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 ;nB.f.e` 12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 l TRQ/B 12.6.1 薄膜微结构 368 Qcf5*]V 12.6.2 薄膜微结构检测 371 J 4OgV? 12.6.3 雕塑薄膜 372 B)4>:j:{?W 12.6.4 薄膜化学成分检测 373 COf>H0^%Q 12.7 薄膜非光学特性测量 375 c/G]r|k +Qe"O0 优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价 ¥89.00] e[a?5,s2
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