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2019-06-04 10:01 |
薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)
《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 W<OO:B.ty S+M:{<AR
[attachment=93701] Yvxp( 目录 3@^b's'S|} 第一篇 薄膜元学基本理抢 }<
m@82\ 第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 1Jn:huV2 1.1 麦克斯韦方程 1 nk+*M9r|I 1.2 平面电磁波 6 yL%k5cO$N 1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 //H3{^{ 1.2.2 理想介质中的平面波解 7 Nbm=;FHB` 1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ~8^)[n+)x 1.3 平均电磁能流密度光强 9 +Heen3 1.4 电磁波谱、光谱 10 QAK.Qk?Qu 习题 12 ^J7g)j3 参考文献 12 <#5`%sa ' 第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ; J40t14u 2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 sAKQ.8$h* 2.1.1 S波反射与透射 14 pgU4>tyD 2.1.2 P波反射与透射 16 Xn:ac^ 2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 :O{oVR 2.2.1 S 波反射与透射 18 C@q&0\HN 2.2.2 P 波反射与透射 20 Co^a$K 2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 &m>txzo 2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 6P:H` 2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 ?.&?4*u 2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 +gsk}>" 2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 8L}N,6gC4_ 2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 ky5 gU[ 2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 B\a#Vtyut 2.5.1 全反射与倏逝波 36 u#m(Py 2.5.2 全透射 37 q'p>__Ox 2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 L7qlvS Q 2.6 反射率和透射率 39 [j`-R
0Np 2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 #pz{, 2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 vXi}B 2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 !saKAb}d7H 习题 44 /@\3#2; 参考文献 44 Bt^];DjH 第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 ]0wmvTR 3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 4D\+_Ic3 3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 fMFlY%@t 3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 4MOA}FZ~ 3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 YJ{d\j 3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 aE2
3[So 3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 K-}'Fiq 3.4.1 一阶近似 62 "yCek 3.4.2 二阶近似 63 !%2aw0Yv 3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 T\h_8 3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 B<Ynx_95 3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 .iL_3:6f 3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 !jDqRXi( 3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ?ixzlDto\ 3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 UVD:: 3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 C4P7, 习题 79 \..(!>,%F 参考文献 79 _(\\>'1q! 第4章 膜系设计图示法 81 q61
rNOw_ 4.1 矢量法 81 pPG@_9qf 4.2 导纳图解法 87 +C)auzY7N 4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 (A*r&Ak[ 4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 rS
4'@a 4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 &xqe8!FeA 4.3 金属膜导纳圆图 97 #:68}f"$ 4.4 膜系层间电场分布 99 NOa.K)^k 习题 100 XabrX|B# 参考文献 101 qpl "j- 第二篇 光学等膜分类反应用 A{E0 a:v 第5章 增透膜 102 `Vwj|[0k 5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 "A:wWb<m 5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 9CWUhS
5.3 透射滤光片组合透射率 106 NoJo-vo* 5.4 均匀介质增透膜 107 `q exEk@S 5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 lm&C!{K 5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 A_%}kt
(6 5.5 非均匀介质增透膜 113 #V8='qD
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 S@7A) 5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 r`cCHZo/V 习题 118 V]PTAhc 参考文献 118 5hp b=2 第6章 高反射膜 120 U<r<$K 6.1 反射镜组合的反射率 120 *k'9 %'< 6.2 周期多层膜系的反射率 121 F
,{nG[PL 6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 T"Q4vk,3*J 6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 .#h]_% 6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 2+GF:[$ 6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 Vb 4Qt#o 6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 `>8| 6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 ?k_=?m 6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 Q$,8yTM 6.8 金属反射镜 134 M14_w, 6.8.1 常用金属反射镜 134 l:HO|Mq 6.8.2 金属一介质反射镜 136
X2i<2N*@ 6.9 影响反射特性的因素 137 U)p2PTfB 6.10 高反射镜应用实例 143 HXdPKS4q 6.10.1 激光高反射镜 143 \lR~!6: 6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 3Uag[ms 6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 J7QlGm,= 习题 146 8`VMdo9 参考文献 146 6w}:w?=6 第7章 带通滤光片 149 v!F(DP.)Z 7.1 带通滤光片的特性描述 149 4g1u9Sc0 7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 'KQuz)- 7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 Y+?bo9CES! 7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 DO03vN 7.3.2 膜系透射定理 153 Ky nZzR 7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155
5Ll[vBW 7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 :`
~b&Oz) 7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 =,@SZsM*B 7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 J*U(f{Q( 7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 7FDraEr#f 7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 1C$^S]v%a 7.4.3 诱导带通滤光片 174 Y5MHd>m 7.5 超窄带带通滤光片 183 }(tGjx] 7.6 宽带带通滤光片 185 Tz*5;y%4 7.7 带通滤光片的角特性 186 !)9zH 7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 ',!#?aGV 7.9 多通道窄带带通滤光片 192 ao-C9|2>NU 习题 193 #Y18z5vo 参考文献 193 6:EO 第8章 截止滤光片 196 I$mOy{/# 8.1 截止滤光片的特性描述 196 p[o2F5 T2 8.2 吸收型截止滤光片 197 [
objdQU` 8.3 干涉型截止滤光片 198 <![T~<. 8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 r>)\"U# 8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 [U jbox 8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 MJg^
QVM 8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 Q49|,ou[H 8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 mtOrb9`m 8.3.6 截止带的展宽 210 4_"ZSVq]# 8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 ,Xh4(Gn#b 8.4 金属介质膜截止滤光片 218 _+;x4K; 8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 _>`0!mG 习题 221 ./g0T{& 参考文献 221 ?APzx@$D. 第9章 带阻滤光片 223 sJ?kp^!g 9.1 带阻滤光片的特性描述 223 1Xs!ew)> 9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 lT:<ZQyjT 9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 'QV4=h` 9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 2)8lJXM$L 9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 u51/B:+ 9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 isd[l-wAmf 9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 Va 5U`0 9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 9/%|#b-z 9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 0?:ZER v 9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 ji8Rd"S 习题 241 w}1)am&pD 参考文献 241 'RA[_Z 第10章 分光镜 243 ^4fkZh 10.1 中性分光镜 243 JIQzP?+? 10.1.1 金属膜中性分光 244 [)Ge^yI7 10.1.2 介质膜中性分光 245 vn_avYwiy 10.1.3 金属介质膜中性分光 247 08`
@u4 10.2 双色分光镜 249 WIGb7}egR 10.3 偏振分光 254 .U3p~M+ 10.3.1 偏振特性的描述 254 7RLh#D| 10.3.2 平板偏振分光镜 255 "_l[4o[D 10.3.3 棱镜偏振分光 258 B 3h<K} 10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 dg!sRm1iZ: 10.4 消偏振分光 262 |s^ar8)=) 10.4.1 偏振分离的描述 263 -?(RoWv@X& 10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 Ya. $x~ 10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Lf-8G5G 10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 'I P!)DS 10.5 分光中的消色差问题 280 fr?eOigbl 习题 281 Qh[t##I/ 参考文献 282 :d#NnR0^L 第二篇 薄膜扶术基础 %G@aZWk
Sa 第11章 薄膜制备技术 283 Mm;)O'XDE 11.1 真空技术简介 283 pE<' '` 11.1.1 真空的基本知识 283 h>/ViB@"W| 11.1.2 真空的获得 284 yS43>UK_W+ 11.1.3 真空的测量 286 |l|]Tw 11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 (NQ[AypMI 11.2.1 蒸镀法 289 3pp
w_?k 11.2.2 溅射法 300 4_Jdh48-d 11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 st2>e1vg 11.3.1 化学气相沉积的原理 307 \\qg2yI 11.3.2 常压化学气相沉积 308 XJ\q!{;h 11.3.3 低压化学气相沉积 308 {2x5
V#6 11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 `R> O5Rv 11.3.5 光化学气相沉积 310 uM}O8N 11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 (+_J0i t 11.3.7 原子层沉积 312 _~kcr5 11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 n`,Q: 11.4.1 化学镀 313 US|vYd}u+ 11.4.2 阳极氧化法 314 NIfc/% 11.4.3 溶胶一凝胶法 314 ]| yH8 m 11.4.4 电镀 315 ,2`d3u^CW 11.4.5 LB 膜制备技术 315 6S<$7=$= 11.5 光刻蚀 316 0- UeFy 11.5.1 光刻工艺 316 P1QJ'eC;T 11.5.2 光刻胶 317 6!nb)auVi 11.5.3 掩模 318 l)8 V:MK 11.5.4 曝光 318 6{
Nbe= 11.5.5 刻蚀方法 318 'dzp@-\ 11.5.6 无掩模刻蚀 321 6`C27 11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 ?5Fj]Bk] 习题 323 kTz 参考文献 324 ;$QJnQ"R 第12章 光学薄膜检测技术 326 rieQ&Jt" 12.1 光谱分析技术基础 326 eFQi
K6`i 12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 Z|c9%., 12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 XV>6;!=E 12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 /aqN` 12.2.1 透射率测量 333 1,T9HpM 12.2.2 反射率测量 334 mz*z1`\7v\ 12.3 薄膜吸收和散射测量 338 7gwZ9Fob 12.3.1 吸收测量 338 |^Es6 .~ 12.3.2 散射测量 342 S nHAY< 12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 zq.&Mw? 12.4 光学薄膜常数测量 347 hYn'uL^~[ 12.4.1 光度法 348 PHvjsA%" 12.4.2 全反射衰减法 354 {*<C!Qg 12.4.3 椭圆偏振法 357 aA`q!s.%A 12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 hD1AK+y 12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 Y14R"*t~ 12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 (;&?B.<\: 12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 !yX<v%>_0 12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 j>xVy]v= | 12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 a*j <TR 12.6.1 薄膜微结构 368 %g&,]=W\N 12.6.2 薄膜微结构检测 371 h50StZ8Yr 12.6.3 雕塑薄膜 372 $>=Nb~t!/ 12.6.4 薄膜化学成分检测 373 es[5B* 5 12.7 薄膜非光学特性测量 375 +^?-}v N[bN"'U/1 优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价 ¥89.00] $ud>Z;X=P
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