新型傅里叶变换光谱仪信号采集系统光学设计及仿真

摘要：将基于微光机电系统的微镜阵列与倾斜反射镜相结合，构建应用于中红外波段的微型化便携式傅里叶变换光谱仪．在阐述了该光谱仪工作原理的基础上，通过对微镜衍射特性分析，提出了信号采集系统光路设计要求，并结合ZEMAX软件进行了光学设计与仿真，结果表明：在2.5~3.5μm波长范围内，保证微镜选通列与非选通列间反射光互不干扰的情况下，本文所设计的信号采集系统可将80%以上的干涉信号会聚到5mmx5mm的单点探测器中。

关键词：微光机电系统；中红外；傅里叶变换；光学设计

casio	2019-05-27 17:43
下来看看

冰淇淋2019	2019-09-05 14:18
最近工作上正好碰到光谱仪的项目，谢谢分享

puppeyt	2019-12-19 10:19
谢了，我正好要设计光谱仪

chengzheng	2020-02-15 18:49
顶一个

jayu7821	2020-02-22 18:09
谢谢分享

道道神指	2020-09-04 14:12
好好学习下

lqqmuc2009	2021-06-08 19:03
谢谢了

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