首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> Au工艺问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

chenliang1990 2019-05-23 08:48

Au工艺问题

各位大神,请教一个关于镀Au的问题,用3M胶带拉扯掉膜,请问有大神们什么好的改善方法吗?谢谢 2PViY,V|  
制程:AL2O3+Au+AL2O3-(加热340度烘烤70分钟)+TI3O5+SIO2 _zG[b/:p  
rPx:o}&<  
[attachment=93436]
sgh920 2019-05-23 11:40
用铬打底,保护用氧化铪试试
囊中蓄乾坤 2019-06-23 09:53
按1楼说的额试下。打底的材料换CR
holdlove1314 2019-06-23 15:06
保护的温度太高啦 产生膜的致密性不好
viavi1109 2019-08-23 09:40
Cr打底试试,Cr+Ni+Au
查看本帖完整版本: [-- Au工艺问题 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2024 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计