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2019-05-22 09:18 |
用于短波红外探测器的微透镜阵列制作
摘要：采用光刻胶热熔法制作具有特定尺寸的微透镜，制作的微透镜能将微透镜阵列技术应用于短波 1μm~3μm 红 外探测器中，有效地提高探测器件的光电性能。采用 AZ P4620 厚光刻胶，利用紫外光刻技术，对透镜制作中的前烘、 曝光和显影、坚膜、热熔等工艺进行了深入细致的实验研究，确定了最优的工艺参数，实现了球冠直径在(5.5±0.5) μm， 曲率半径 3 μm 的微透镜，且透镜有很好的均匀性和一致性，满足近红外探测器件的要求。 P B5h5eX
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关键词：微透镜阵列；光刻胶热熔法；前烘；热熔
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