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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 大家有没有用电子枪镀过AL? [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

淡小疼 2019-04-25 15:10

大家有没有用电子枪镀过AL?

用电子枪镀AL的电流一般是多大?有需要注意什么东西吗?希望得到大神的指点
ouyuu 2019-04-27 21:55
铝的话一般用阻蒸,因为熔点太低了。 l 3 jlKB  
电子枪能量太集中,容易飞溅。
sosjinyan 2019-04-30 17:11
听说  容易粘坩埚。  需要用钼坩埚? VSh&Y_%  
tearzhou 2019-05-05 14:22
不能说
超级便当盒 2019-05-05 15:22
镀铝的话最好用石墨坩埚,先把铝粒融好,控制好电流,蒸发速度一般控制在20A/s左右
囊中蓄乾坤 2019-06-23 10:00
是很容易粘锅,到处流的是。电子枪光斑不要太小。束流的话看你的光斑,速率是多少试几次。电子枪预溶的时候吧功率调整好就行了额。如果没有颜色、厚度要求阻蒸最好。有厚度要求就电子枪吧。
qqcheng 2019-06-24 19:31
电子枪镀铝,1.铝材料导热性太强,所以假设你随便用个坩埚镀,会发现速率怎么都上不去,因为高能电子束的热量被铝导走了。因此你可以在坩埚中垫个熔点高于铝,且不易熔化的材料阻热。其次镀铝速率必须要放在至少大于15A/S,因为铝易氧化,一定程度上降低氧化
ouyuu 2019-06-24 21:13
用石墨坩埚,光斑参照二氧化硅,水晶的PID参数都要比二氧化硅小(1/5~1/10) c5: X$k\  
电流300mA左右,蒸发速率20A/S左右
ouyuu 2019-06-24 21:16
为了防氧化和增透,最好再镀sio2/nbo2/sio2。 9[sOh<W  
在铝上镀一层sio2会比较好 h[Uo6`  
罗先生 2019-08-22 09:23
感觉的评论的都是大神,本人只用阻蒸镀过。该说的上面大神多说,我也学习了
sosjinyan 2019-10-15 14:21
ouyuu:用石墨坩埚,光斑参照二氧化硅,水晶的PID参数都要比二氧化硅小(1/5~1/10) `b%lojT.  
电流300mA左右,蒸发速率20A/S左右 (2019-06-24 21:13)  e =r  b  
&/WE{W  
我这边  SIO2   光斑70 /70 ,会不会有点大?  另外我这里  SIO2   MGF2   是 PI 控制 C,GZ  
其它试料是  PID 控制。
ouyuu 2019-10-18 11:47
水晶仪里面都是PID控制啊。D你空着不填其实也是有数据的。 C+[)^ 2M{  
光斑70/70不算大。初始电流设置很重要,
sosjinyan 2020-03-25 13:15
多谢, 我这边MGF2 光斑 60   65,感觉光斑SIO2应该比MGF2小。 S!+>{JyQ  
我这边镀简单的膜,SIO2颗粒料  都是镀几次再换。  没看出来有什么不好(听别人说SIO2 每次都要换)
sosjinyan 2020-05-22 09:32
麻烦有个问题, 直接金属铝   抛光做反射镜使用,还需要镀保护膜吗? 类似 激光打印机的扫描镜。我想金属铝 表面会自己形成AL2O3,所以不需要镀保护膜了?
zx小双 2020-07-13 12:56
为了防氧化和增透,最好再镀sio2/nbo2/sio2。 P^48]Kj7  
在铝上镀一层sio2会比较好
ouyuu 2020-07-18 13:21
sosjinyan:多谢, 我这边MGF2 光斑 60   65,感觉光斑SIO2应该比MGF2小。 L/V^#$  
我这边镀简单的膜,SIO2颗粒料  都是镀几次再换。  没看出来有什么不好(听别人说SIO2 每次都要换) (2020-03-25 13:15)  jWv'`c  
<7`zc7c]#  
SiO2颗粒料建议每罩都换。 nGkSS_X  
SiO2镀过之后,表面会变得很光滑,这样再镀就很不容易起来。 *{!Y_FrL  
这样的话一个是速率不稳定,而且也容易打坑造成分布不稳定。 S!.&#sc  
你们用颗粒料,应该产品要求不高,所以看不出来问题也正常。
光迹 2020-07-22 08:31
sosjinyan:麻烦有个问题, 直接金属铝   抛光做反射镜使用,还需要镀保护膜吗? 类似 激光打印机的扫描镜。我想金属铝 表面会自己形成AL2O3,所以不需要镀保护膜了? (2020-05-22 09:32)  !m+Pd.4TaB  
VAz4@r7hkq  
会生成保护层,不过如果是有接触到产品表面的,还是要镀保护层;没有接触的,应该可以的
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