微透镜阵列匀光

目的是对CMOS的参数进行测试，所以需要均匀光。我用的是成像型微透镜阵列对深紫外光进行匀光处理，这是我的光路图和匀光效果图。所用的探测器像元大小是5.5μm×5.5μm。均匀度要求是99%。请问大家接下来需要怎么优化才能满足要求》？谢谢大家！

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dahai	2019-04-13 22:52
不错顶下，加工可以找我qq:8352581

李琦	2019-04-14 14:44
大家有没有什么高见？谢谢了！

szu小徐	2021-12-27 23:08
可否分享下，感谢。最近在做这方面的学习。

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