xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 =}lh_ 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 .GsV>H Gy9$wH@8 [attachment=92556] j2Cks_$: K$&s=Hm 1. 建模任务 )<oJnxe] Sc>,lIM [attachment=92557] HKU~UTRnZ R}G4rO-J 2. 结果 3*]eigi) v/Py"hQ [attachment=92558] >sfRI]OG &R[ Mc-2 [attachment=92559] !9u|fnC9 qIVx9jNN 3. 文件和技术信息 @XgKYm
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(来源:讯技光电)
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