xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 N1!5J(V4 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 GzXP _;q-+"6L; [attachment=92556] M=WE^v!b lDU:EJ&DHE 1. 建模任务 W[>Tq T63 #Q@6:bBzv [attachment=92557] a1`cI5n DP_Pqn8p&M 2. 结果 8~)[d!' {@ y, [attachment=92558] NydW9r:T j$|C/E5? [attachment=92559] _A|\.(t C5 5n 3. 文件和技术信息 :3>yr5a7- GQ0 (&I [attachment=92560] G^ZkY ePRM v
(来源:讯技光电)
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