| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 E9 Qd>o
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 b}} 1TnS)
5pKvNLy.t
[attachment=92556] d
=B@EyN
y . ivz
1. 建模任务 iA^ +/Lt
t ^bdi} [
[attachment=92557] @ Fn I?Rx
I!soV0V U]
2. 结果 ac+k 5K+
6iV"Tl{z-
[attachment=92558] iz%A0Z+`bg
35N/v G0
[attachment=92559] '%] @a7w
t}c}@i_c
3. 文件和技术信息 Ql6ai
y}:)cA~o(y
[attachment=92560] ;([tf;
CL@h!h554_
（来源：讯技光电）
|
|