| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 'U rx83
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 -9 |)O:
On ;7
[attachment=92556] ;A?86o'?
}o=s"0 a
1. 建模任务 LD;!
s
)uCa]IR
[attachment=92557] $B )jSxSy
nI`9|W
2. 结果 e= i9l
aO
*][;0
[attachment=92558] FdxV#.BE
\NL*$SnxP
[attachment=92559] :<6gP(
dsZ-|C
3. 文件和技术信息 ]%( X }]}
a/~1C r Yr
[attachment=92560] x c?= fv
W> $mU&ew[
（来源：讯技光电）
|
|