| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 {!rpE7P-
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 8rA?X*|S!
iH""dtO
[attachment=92556] `j yBF
&fYV FRVkq
1. 建模任务 .8.LW4-ff
C [h^bBq
[attachment=92557] i V Ipe
dF/HKBJ
2. 结果 B '"RKs]
\a}W{e=FNT
[attachment=92558] k+F iW3-
?h4Rh0rkX
[attachment=92559] >k{KwFB^S
G*l kVQ6?
3. 文件和技术信息 $5n6C7
gr
y]!4Hy
[attachment=92560] ]aF!0Fln~
RRH[$jk
（来源：讯技光电）
|
|