| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 $<w)j!
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 T20VX 8gX
T bf:eVIG
[attachment=92556] KQmZ#W%2m
%}b8aG+
1. 建模任务 (E!!pz
{exrwnIZj
[attachment=92557] O4Dr ]Xc]
213\ehhG<
2. 结果 A3+6 #?:;
x-_vl
9P)
[attachment=92558] o "" ~jc~
G]*|H0j
[attachment=92559] bQQVj?8jp
A6p`ma $L
3. 文件和技术信息 l[YEKg
j[e,?!8;
[attachment=92560] v?j!&d>
:&yDqoQKJ
（来源：讯技光电）
|
|