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ychm1002	2007-01-30 11:45
为什么我做的增透膜去清洗后就脱膜？我用的是SiO2/JBM1/TiO2/SiO2 基底温度是２５０度 d:_t-ZZo 前几天我的基底温度是２６０度，但不脱膜～～１０度应该不会至于脱膜吧 OPetj.C/a 希望各位高手指教　谢谢！！！

zmc326	2007-03-23 14:33
兄弟：增透膜的蒸镀温度一般都是300度左右呀，你的温度这么低，不脱才怪呢。

nolla68	2007-03-24 10:34
那有很多關係,其中基板的清潔是相當重要的,另外鍍膜時的真空(gas in)及其他的因素都會導致脫膜

wangxingyu	2007-04-08 15:10
看看离子源有没有问题

wolfliu	2007-04-09 16:41
学到了知识呀，论坛就是好哇

lgciom	2007-04-09 21:20
如果基底实际温度达到了250，一般增透膜的温度已经够了。脱膜的因素很多，先看看返不返油吧

gp11	2007-04-22 21:09
加温的时间够不够，玻璃尺寸大的话最好到300度，持续1个半小时

清洗小卒	2007-05-08 04:14
清洗力度不够也会造成脱膜，不过还是和镀膜时的温度有很大的关系

jojo_g	2007-05-16 23:02
脱膜。。。增透基地温度要在250度以上基地清洁度要高！

dede	2012-02-16 00:06
JBM1是什么？ K}2Erm%A@y 可能是返油了，或者真空度不好 qBU-~"2t

伏龙之	2012-02-29 20:51
大长见识

wh_f	2012-03-04 20:00
学到了不少啊

shenyuning	2012-03-27 20:08
我觉得可能是基片没有清洗好，

sailinger	2012-03-31 15:18
如果你坚持这个温度，基片清洁度是一个需要考虑的方面

li728826	2012-04-01 01:22
qqqqqqqqqq

漂亮的树	2012-07-13 10:18
把温度和真空度调高试试

luffy17520	2013-03-31 17:07
可能温度引起的吧

chen1858	2013-04-01 21:20
学习了！ ?J'Y&

louyc	2013-05-21 09:55
膜层不牢固，原因很多，慢慢查吧

腐之大儒	2013-10-04 12:14
因素很多仔细排查吧

wm1024528	2013-10-09 20:43
请问镀完后，用什么方法检测膜层牢靠性？ Twh!X*uQ 另外之前是260度，不脱模，为什么改用250度呢？

wangguofeng	2013-10-22 09:44
温度低，清洗功率大。

27676995	2013-10-30 22:33
学学习习

flyinlove79	2013-11-16 23:04
除了楼上几位说的，还要注意膜层的应力是不是匹配

crl0129	2013-11-26 16:45
脱膜的因素很多

韩笑1234	2013-11-27 09:50
我想知道用什么方法可以检测镀膜的牢靠性

小冰水	2014-03-18 22:14
15284151451

yangyangyang

2014-06-17 20:01

看来大家用的油扩散泵比较多，怪不得一炉要那么久。
如果我和你们说我现在一炉40分钟，你们谁信，哈哈。
你的问题在于以下几点：
1，腔室的洁净做好没有？
2，离子源的轰击时间多少？
3，基材加温最好到300，最好验证你的温度显示仪和实际温度的误差
4，真空度是不是没有到，就开始干了？

huangdaye	2016-05-30 15:43
请问JBM1是什么，反射率能做到多少

luozhenbob	2016-05-31 12:20
清洁度

知识乞丐	2016-09-17 21:18
学到了知识呀，论坛就是好

johnyu	2016-11-09 13:21
溫度三百度? 沒用IAD嗎?

ysc212	2016-11-10 12:55
如果250度是标定过的温度，脱膜有可能：1 表面清洁不好；2，返油，真空度不好；3，镀制速率；4，膜层应力不匹配。 e}mD]O} 检验膜的牢固度：一般擦拭即可；按标准，则需用胶带粘拉。 mt9.x

闫俊110	2016-11-21 14:12
学到了知识呀，论坛就是好哇

囊中蓄乾坤	2017-04-07 12:07
离子源清洗，和仓体洁净度

古书生	2017-06-12 11:58
温度应该够了，看看你的材料参数有没有问题！估计你是没有离子源的设备，所以不考虑离子源问题！

光迹

2020-08-13 16:53

yangyangyang:看来大家用的油扩散泵比较多，怪不得一炉要那么久。 pX/n)q[
如果我和你们说我现在一炉40分钟，你们谁信，哈哈。 @lCJ G!u
你的问题在于以下几点： vgD {qg@
1，腔室的洁净做好没有？ Ad:TYpLD
2，离子源的轰击时间多少？ FvN<<&B
....... (2014-06-17 20:01) I96Ci2)m

40分钟一炉，看做什么膜系吧。我用日本昭和的机器，双面AR，全部镀完，56分钟。

wflney	2020-08-14 21:08
学习学习

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