gangzi0801 |
2019-03-26 10:02 |
可见与近红外增透膜的设计和制备
摘要:为满足大气辐射系统中光学元件的使用要求,即可见与近红外波段高透过,根据双有 效界面法设计原理配合膜系软件设计膜系,采用离子辅助沉积,电子束真空镀膜的方法,通过 对工艺参数的调整和监控方法的改进,制备400~1200 nm宽带增透膜。所镀膜层在垂直入射 时,400~1200 nm波段平均反射率小于 1%。同时对膜层牢固性进行了测试,满足大气辐射系 统的使用要求。 pp[? k}@ .[Sv|;x"E 关键词:光学薄膜;大气辐射系统;宽带增透膜;离子辅助
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