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三木512 2019-03-18 21:52

求助光轴调试问题

系统中存在分光镜,且各分光支路的光轴平行性精度为5″以内,求助各位大神采用什么方法和仪器调整光路平行,且分光镜调试方法!!求解
solidzemax 2019-03-20 10:48
最好能把光路放上来看看 你这么描述我太直观 >%9^%p^  
wy514199342 2019-03-23 10:56
放个简单的光路图
mmttxiaoxiao 2019-03-25 08:55
有相关资料,网上有可以搜一下
ds1234567 2019-04-05 16:27
角度秒级是百万分之一,相当于在一米平行光管焦面上分辨0.001mm的变动。首先将3只光管光丁字分布,在一横方向的2光管相对放置,左面第一个光管的十字被右面第二个光管接受,且与十字分划严格重合,然后在丁字口处放置五棱镜(因为五棱镜本身放置误差不影响光线折转90度,),在竖的方向放置第三个光管,且与第一个光管的十字分划严格重合。这时在丁字口放上分光镜,让分光镜前表面光线返回第一光管十字中心,这时在2、3光管看到相对中心的偏离,就是分光镜光轴误差。
mang2004 2019-04-08 19:08
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mang2004 2019-04-08 19:10
ds1234567:角度秒级是百万分之一,相当于在一米平行光管焦面上分辨0.001mm的变动。首先将3只光管光丁字分布,在一横方向的2光管相对放置,左面第一个光管的十字被右面第二个光管接受,且与十字分划严格重合,然后在丁字口处放置五棱镜(因为五棱镜本身放置误差不影响光线折转90度,),在竖 .. (2019-04-05 16:27)  qYK4)JP  
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谢谢回复。 s D_G)c  
五棱镜90度的角度误差如何考虑进去?
ds1234567 2019-04-09 17:26
五棱镜有1秒精度的商品,主要影响来自45度角的误差。如果不用五棱镜的话,可以用气浮转台承载分光镜,首先左右光管对准,然后放上五棱镜,在它的上面放置第三个光管。在度盘0度时三管对准,度盘180分别在右面和上面的光管看到分光镜的误差。分光镜的两块直角镜的折射率应当一致,大于3*10^-5,给出射光线带来误差,此外胶合应力和胶层均匀性也会影响。这些在干涉仪上可以看到,如果可能的话,可以在zygo上调整系统。
qiaoyuan 2019-05-06 21:44
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