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光驰机GENER1300 PV阀不打开
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sosjinyan
2019-02-18 08:50
光驰机GENER1300 PV阀不打开
各位师傅有遇到这种情况的吗？ 放假10多天，回来出现这个问题。
Dr<% Lr
设备充气阶段，PV阀打不开。故障提示PV阀损坏，或者管路问题，或者调节阀故障。
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故障后10-20分钟，等腔体真空度自然下降后，手动可以打开PV阀，但是SLV阀不能打开，我感觉是调节阀没有调好，（机器用了5年） 求助各位怎么调这个。多谢！
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光驰机GENER1300 PV阀不打开
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