从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 0'r}]Mws  
镜片数22片 ]kmAN65c  
物高31mm #e-7LmO~  
物方数值孔径NA 0.2 uKXU.u*C  
波长为UV !gRU;ZQU_  
像方晶圆尺寸是12.66mm ym6Emf]  
总长小于1200mm U:$zlfV  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 ~h8k4eM  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

EJC}"%h  
      Here is the input for DSEARCH: ^Ff fc@=  
      CORE 14 TIME p%>!1_'(  
      DSEARCH 2 QUIET "gI-S[  
[7`S`\_NK  
      SYSTEM >BO!jv!a  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM $<Gt^3e  
      OBA 15 31 3 31 Th%w-19,8  
      OSNA .2 TCO XU}i<5  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC wjX0r7^@  
      END ._x"b5C  
xP1D 9   
      GOALS ELEM 11 otjT?R2g'  
      TOTL 600 .1 u SZfim@Z7  
      TOPD .01 *B&i`tq  
      NPASS 50 jK6dI 7h  
      QUICK 20 50 }W " i{s/  
      ANNEAL 50 10 Q kH0kf-4\  
      SNAP 10 j/uMSE  
      RSTART 1000 L~|_)4  
      ASTART 25 *yI((G/  
      THSTART 12 NODE`VFu  
mrE>o!  
      FOV 0 .5 .707 1 d<\
X)-"  
      FWT 1 1 1 1 END uh)f/)6  
      SPECIAL PANT !_o1;GzK  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 P&o+ut:  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 dXt@x8E  
      CUL 1.6 @&G %cW(  
      FUL 1.6 END Pvkr$ou  
* e,8o2C$  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 f]Z9=  
      M 0 .1 A SAP uX7"u*@Q*~  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END /6N!$*8  
      GO TIME

=%FhY^-  
     SAVE LEFT11.

EJ:2]!O  
     SAVE LEFT11.

0F 4%Xz  
      CORE 14 TIME J0@#xw=+  
      DSEARCH 3 QUIET It'PWqZtG  
7&|&y SCu  
      SYSTEM +{e2TY  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM )hA)`hL F  
      OBB 0 4 83.36 Xdf
;'|HO  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END '! ;Xxe5  
^j_t{h)W(0  
      GOALS ELEM 11 =WFG[~8  
      TOTL 600 .01 F,GG>(6c  
      FNUM 1  #|l#  
      BACK 11 SET 60p*4>^v  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 98l-  
      QUICK 20 50 LCpS}L;  
      ANNEAL 50 10 Q 5
@Xy) z  
      SNAP 10 j=b-Y  
      RSTART 1000
/$ueLa  
      ASTART 25 ( v=Z$#l  
      THSTART 12 :?gk=JH:  
7}e{&\0=l  
      FOV 0 .5 .707 1 SC0_ h(zb,  
      FWT 1 1 1 1 END za4:Jdr  
      SPECIAL PANT qZ+^ND(I  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 24_/JDz  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 f'M7x6
W  
      CUL 1.6 ];}7 %3  
      FUL 1.6 END ud,_^Ul  
:+S~N)0j^  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ]M9r<x*  
      M 0 1 A P HH 1 EtvYIfemr  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT Zo5.Yse  
      M 0 10 A DI3 END &uTK@ G+  
      GO TIME

Z
Nbb8v  
      SAVE RIGHT11. ji|tc9#6  
      SAVE RIGHT11.

M)CE%/P  
      COMBINE 23 3/((7O
[  
      RIGHT11