从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

u'+;/8  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 #Z]l4d3{T  
镜片数22片 {]6Pd`-  
物高31mm yd4\%%]  
物方数值孔径NA 0.2 GY,HEe]2r  
波长为UV f/NfvLi(AU  
像方晶圆尺寸是12.66mm (7_}UT@w-  
总长小于1200mm \_J;i[
  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 $@(+" $  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

;HbAk`\1A  
      Here is the input for DSEARCH: G :JQ_w  
      CORE 14 TIME Y<0R5rO  
      DSEARCH 2 QUIET m]#oZVngy  
I8:A]  
      SYSTEM 5ps7)]  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM ,4tuWO)"  
      OBA 15 31 3 31 >Kjl>bq  
      OSNA .2 TCO =9AX\2w*H;  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC QlCs,bT  
      END . +  
8\{1y:|  
      GOALS ELEM 11 ?(d<n   
      TOTL 600 .1 AeN$AqQd/  
      TOPD .01 c Y(2}Ay  
      NPASS 50 :sL?jGk\
 
      QUICK 20 50 tlJ@@v&=  
      ANNEAL 50 10 Q Q'qz(G0  
      SNAP 10 Hlj_oDL  
      RSTART 1000 84eqT[I'  
      ASTART 25 \x9.[?;=e  
      THSTART 12 M4`.[P4  
6=o'.03\f  
      FOV 0 .5 .707 1 nqMXE82  
      FWT 1 1 1 1 END 1rLK1X  
      SPECIAL PANT \7U'p:h=U  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 3BzC'nplm  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 A4>
j4\A[M  
      CUL 1.6 M\rZr3  
      FUL 1.6 END .L#U^H|  
+9!=pRq  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 N0_@=uE  
      M 0 .1 A SAP y8arFG  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END g/f^|:  
      GO TIME

[ qx[ 0  
     SAVE LEFT11.

a 0+W-#G  
     SAVE LEFT11.

s5
cY>  
      CORE 14 TIME
>Xv Fg  
      DSEARCH 3 QUIET
:.bBV]6q  
O ! iN  
      SYSTEM UOYhz.  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM dlJc~|  
      OBB 0 4 83.36 #m;|QWW  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 9T;DFUM  
/=IBK`  
      GOALS ELEM 11 /k O <o&  
      TOTL 600 .01 p%ZOLoc)Y  
      FNUM 1 !l5&>1?  
      BACK 11 SET Lh rU fy  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 }2+*E}g  
      QUICK 20 50 GMW,+  
      ANNEAL 50 10 Q ;&i4QAo-  
      SNAP 10 jWNF3\  
      RSTART 1000 w6&p4Jw/H?  
      ASTART 25 k!)Pl,nJ  
      THSTART 12 %s*F~E  
4IGn,D^  
      FOV 0 .5 .707 1 "l[ c/q[  
      FWT 1 1 1 1 END `),ACkU>U  
      SPECIAL PANT >\4"k4d}  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 W
inwPn+9  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 EaN1xb(DYa  
      CUL 1.6 =+ALh-  
      FUL 1.6 END Bm4fdf#A]  
Tx:S{n7&  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 B`mT
p01  
      M 0 1 A P HH 1 y)uxj-G  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT 7;r Jr&.)  
      M 0 10 A DI3 END h;DLD8L  
      GO TIME

+ C'<*  
      SAVE RIGHT11. zr@HYl  
      SAVE RIGHT11.

g(QT"O!dY  
      COMBINE 23 W
i<g  
      RIGHT11