从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 -M6L.gi)oJ  
镜片数22片 ^uia`sOP4  
物高31mm e,EK,,iY5  
物方数值孔径NA 0.2 ar Q)%W  
波长为UV Yg/}ghF\  
像方晶圆尺寸是12.66mm J5;5-:N  
总长小于1200mm C`)_i3 ^  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 (
4~X}:  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

t\zbEN  
      Here is the input for DSEARCH: uG;?v
vg>  
      CORE 14 TIME bMsECA&  
      DSEARCH 2 QUIET 0mTEim  
rOW;yJ[  
      SYSTEM }g>kpa0c  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM 69Nw/$  
      OBA 15 31 3 31 S`=n&'  
      OSNA .2 TCO 'f*O#&?  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC |=O1Hn  
      END q]TqI' o  
cJ. 7Mt  
      GOALS ELEM 11 5X0QxnnV  
      TOTL 600 .1 E tx`K5Tr]  
      TOPD .01 bG(x:Py&  
      NPASS 50 c_#*mA"+  
      QUICK 20 50 i E9\_MA  
      ANNEAL 50 10 Q T^]7R4Fg  
      SNAP 10 ?KB@Zm+#~  
      RSTART 1000 =p q:m  
      ASTART 25 :k~dj C  
      THSTART 12 _8^0!,j  
+%XnMl  
      FOV 0 .5 .707 1 p>q&&
;fe  
      FWT 1 1 1 1 END v5T`K=qC  
      SPECIAL PANT paWxanSt  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 )Q]w6he3  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 !"E-\cc'  
      CUL 1.6 ul@3 Bt  
      FUL 1.6 END zJY']8ah  
BqB|Fo  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 Q_]~0PoH  
      M 0 .1 A SAP fag
M7)x  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END !^iwQ55e2A  
      GO TIME

O9^T3~x[V  
     SAVE LEFT11.

]JdJe6`Mc  
     SAVE LEFT11.

t'g^W  
      CORE 14 TIME VI_+v[Hk/  
      DSEARCH 3 QUIET YJ,*(A18  
?#BV+#(  
      SYSTEM l5k?De_(x  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM ~}Z'0W)Q`z  
      OBB 0 4 83.36 xE1'&!4O  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END R0wf#%97  
Svw<XJ   
      GOALS ELEM 11 _ym"m,,7?  
      TOTL 600 .01 3vW4<:Lgy  
      FNUM 1 "3}<8c  
      BACK 11 SET 9S>g6}[E#0  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 f%XJ;y\,9H  
      QUICK 20 50 4h8*mMghs  
      ANNEAL 50 10 Q x[X`a  
      SNAP 10 89HsPB1"t  
      RSTART 1000 LZ<[ll#C  
      ASTART 25 }y6q\#G  
      THSTART 12 rN5tI.iC  
%tmp  
      FOV 0 .5 .707 1 XAuI7e  
      FWT 1 1 1 1 END cyQ
BqG  
      SPECIAL PANT 6B6vP%H#  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 ho
.(v;  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 KX4],B5 +  
      CUL 1.6 {(tHk_q  
      FUL 1.6 END vt1lR5  
gzdG6"  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 E[g*O5  
      M 0 1 A P HH 1 +Xy*?5E;C  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT Zu/<NC (  
      M 0 10 A DI3 END i9A~<
 
      GO TIME

Hd &{d+B  
      SAVE RIGHT11. Fvd
eQsc!  
      SAVE RIGHT11.

)uheV,ZnY  
      COMBINE 23 T .n4TmF  
      RIGHT11