首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> SYNOPSYS -> 从零开始设计的微光刻透镜:SYNOPSYS 光学设计软件 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

optics1210 2019-01-24 14:59

从零开始设计的微光刻透镜:SYNOPSYS 光学设计软件

<u2}i<#  
你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 I"GB <oB  
镜片数22片 H- $)3"K  
物高31mm !jTcsN%  
物方数值孔径NA 0.2 5k.oW=  
波长为UV ^0 -:G6H  
像方晶圆尺寸是12.66mm pej|!oX  
总长小于1200mm v d[0X;  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 _ jsK}- \  
首先,我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下:

=|Y,+/R?  
      Here is the input for DSEARCH: 6ZP"p<xX  
      CORE 14 TIME \ZkA>oO".  
      DSEARCH 2 QUIET [C'JH//q*t  
R#I0|;q4|p  
      SYSTEM \pVXimam  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM Sn|BlXrey  
      OBA 15 31 3 31 r8xv#r1  
      OSNA .2 TCO Eq j_m|@  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC jWrj?DV,2N  
      END LA}S yt\F  
6}FP  
      GOALS ELEM 11 W>j!Q^?  
      TOTL 600 .1 :0Rx#%u}#  
      TOPD .01 XzEc2)0'v  
      NPASS 50 G U( _  
      QUICK 20 50 0|{u{w@!`  
      ANNEAL 50 10 Q TOB]IrW  
      SNAP 10 T[g[&K1Y  
      RSTART 1000 SMpH._VFeE  
      ASTART 25 pu2 tY7J a  
      THSTART 12 ?j"KV_  
d^{RQ   
      FOV 0 .5 .707 1 aWR}R>E  
      FWT 1 1 1 1 END t%E!o0+8Z  
      SPECIAL PANT =4FXBPoQK  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 0.8  2kl  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 V3^&oe%  
      CUL 1.6 d?A 0MKnl  
      FUL 1.6 END SAy=WV  
h4 T5+~rw  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 XovRg,  
      M 0 .1 A SAP cj$[E]B3V*  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END < HVl(O  
      GO TIME
W04@!_) <  
XAF+0 x!  
返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。 Mygf T[_  
使用命令为:
--$ 4Q(#  
     SAVE LEFT11.
=T HpdtL  
sn obT Q  
     SAVE LEFT11.
]:XoRyIZ1[  
w n/_}]T  
现在激活ACON 2,我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组,输入命令如下:
VY |_d k  
      CORE 14 TIME /|C*  
      DSEARCH 3 QUIET 1Q<^8N)pf  
CDQW !XHc  
      SYSTEM -p]1=@A<}  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM TO]@ Zu1  
      OBB 0 4 83.36 $u]jy0X<Y;  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 4T|b Cs?e  
c;Pe/d  
      GOALS ELEM 11 6-$jkto  
      TOTL 600 .01 TaKLzd2  
      FNUM 1 itBwCIjG  
      BACK 11 SET hT`J1nNt  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 v+46 QK|I&  
      QUICK 20 50 le/,R@]B9  
      ANNEAL 50 10 Q + B B@OW  
      SNAP 10 ?!A7rb/tj  
      RSTART 1000 ;oW6 NJ  
      ASTART 25 Z}mLLf E  
      THSTART 12 "p_J8  
dJJP3} M/  
      FOV 0 .5 .707 1 7}f}$1   
      FWT 1 1 1 1 END SUCM b8  
      SPECIAL PANT ,?8qpEG~#+  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 x@P y>f2  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 %b&". mN  
      CUL 1.6 vK|E>nL  
      FUL 1.6 END +ga k#M"n\  
g!@<n1 L  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ~.{/0T  
      M 0 1 A P HH 1 LClNxm2X  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT ] o*#t  
      M 0 10 A DI3 END n0r+A^]  
      GO TIME
UQ)W%Y;[0  
\KMToN&2  
结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:
K1mPr^3rC  
      SAVE RIGHT11. 0b+Wc43}K  
      SAVE RIGHT11.
Tl(^  
7Ri46Tkt  
现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1,并输入:
mHV%I@`Y6  
      COMBINE 23 `Nz/O h7  
      RIGHT11
}Lc-7[/  
Y-kt.X/Z-  
现在它们被合并成了一个镜头。 %HGD;_bhI  
现在它们被合并成了一个镜头。
HePUWL'  
现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏,修改TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
PDJr<E?  
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 B~]k#Ot)  
很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 Y2a5bc P  
e@Fo^#ImDx  
7S '% E  

asdoptics 2019-02-28 17:02
学习学习!
铩羽lv 2020-04-21 20:19
学习一下
oxfocean 2024-01-16 15:08
CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55   中的-6.57 为负值,啥意思?
查看本帖完整版本: [-- 从零开始设计的微光刻透镜:SYNOPSYS 光学设计软件 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计