从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 F.&*D~f  
镜片数22片 ^&e;8d|f{  
物高31mm 0c{Gr 0[>  
物方数值孔径NA 0.2 |oB]6VS`  
波长为UV |Yg}WHm  
像方晶圆尺寸是12.66mm KN|'|2/|  
总长小于1200mm %0go%_  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 X]>[Qz)K^  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

ZW`HDrP`  
      Here is the input for DSEARCH: 96k(XLR  
      CORE 14 TIME zh?xIpY  
      DSEARCH 2 QUIET H==X0  
DDZTqsws  
      SYSTEM P/HHWiD`D  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM X@G[=Rs  
      OBA 15 31 3 31 0!)U *+j,  
      OSNA .2 TCO puk4D  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC 3<yCe%I:  
      END 4_Tb)?L+:  
VN1#8{  
      GOALS ELEM 11 "1E?3PFJ  
      TOTL 600 .1 ei(|5h  
      TOPD .01 F12S(5Z0%  
      NPASS 50 B&to&|jf  
      QUICK 20 50 4ZSfz#<[z  
      ANNEAL 50 10 Q ~ly`u  
      SNAP 10 D]3bwoFo&u  
      RSTART 1000 h:eN>yW  
      ASTART 25 *(>F'>F1"  
      THSTART 12 Ji)%Y5F  
noWRYS%  
      FOV 0 .5 .707 1 4"`=huQ  
      FWT 1 1 1 1 END K7YT0cG  
      SPECIAL PANT aA!@;rR<yU  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 C8O7i[uc  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 fLf#2EA  
      CUL 1.6 EVby 9!  
      FUL 1.6 END lU
>)
n  
) >-D={
 
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 f[wjur  
      M 0 .1 A SAP i|::vl  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END F=P+;%.  
      GO TIME

Ix%"4/z>  
     SAVE LEFT11.

woC FN1W  
     SAVE LEFT11.

"oKj~:$  
      CORE 14 TIME }-k_?2"A  
      DSEARCH 3 QUIET S:"z<O  
&eLQ;<qO*|  
      SYSTEM |R:v<  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM kM}ic(K  
      OBB 0 4 83.36 `t/@ L:  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END , .NG.Q4f  
bRY4yT  
      GOALS ELEM 11 8=u+BDG  
      TOTL 600 .01 ".Q!8j"@f  
      FNUM 1 -O5(%  
      BACK 11 SET E:LQ!  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 Z n"TG/:  
      QUICK 20 50 Q:Nwy(,I  
      ANNEAL 50 10 Q \I`=JKYT  
      SNAP 10 3HDnOl8t  
      RSTART 1000 qJAv=D  
      ASTART 25 C$]%1<-Iv]  
      THSTART 12 K[3D{=  
d%[`=fs]|m  
      FOV 0 .5 .707 1 (,)vak&t  
      FWT 1 1 1 1 END c=U$$|qHV  
      SPECIAL PANT (qq$y #$  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 0wa!pE"  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ,EGD8$RA]  
      CUL 1.6 +h9l%Pz  
      FUL 1.6 END 3 MI) E  
k(vEp]  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 Q,`2DHhK  
      M 0 1 A P HH 1 olQ8s*  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT `!>dbR&1  
      M 0 10 A DI3 END 7T(OV<q;#  
      GO TIME

Bafz&#;Q'  
      SAVE RIGHT11. cM7k){  
      SAVE RIGHT11.

U!-+v:SF  
      COMBINE 23 wDC/w[4:  
      RIGHT11