从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

PH{_,X  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 C4NTh}6tT  
镜片数22片 |g3?y/l  
物高31mm 'u` .P:u?  
物方数值孔径NA 0.2 > 0<)=  
波长为UV ] 7 _`]7p  
像方晶圆尺寸是12.66mm !u]1dxa  
总长小于1200mm nQGQWg`  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 ZR\VCVH\^  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

sFBneBub  
      Here is the input for DSEARCH: dZ _zg<  
      CORE 14 TIME 1 n%?l[o  
      DSEARCH 2 QUIET [NFNzwUB  
6K-5g/hL  
      SYSTEM RQFI'@Ks  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM _`#3f1F@[  
      OBA 15 31 3 31 [V 8{b{  
      OSNA .2 TCO aTzjm`F0  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC kapC%/6"  
      END @JW@-9/  
*Y@nVi  
      GOALS ELEM 11 }(<%`G6N  
      TOTL 600 .1 eznypY=  
      TOPD .01 e${>#>  
      NPASS 50 X=C1/4wU  
      QUICK 20 50 zB? V_aT  
      ANNEAL 50 10 Q V#jWege  
      SNAP 10 ^_ojR4  
      RSTART 1000 )(7&X45,k  
      ASTART 25 .6OgO{P:  
      THSTART 12 a {ab*tM  
.Q)|vq^  
      FOV 0 .5 .707 1 fBQ?|~:n  
      FWT 1 1 1 1 END S1U@UC  
      SPECIAL PANT iKas/8  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 cJgBI(S5  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 f7I{WfZ\P  
      CUL 1.6 W(hM
ft%  
      FUL 1.6 END (5Sivw*mP  
R1Ye<R!Q  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 xm6EKp:  
      M 0 .1 A SAP &P,^.'  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END .Gcy>Av  
      GO TIME

j|tC@0A  
     SAVE LEFT11.

-TZ p FT"  
     SAVE LEFT11.

2m>-dqg  
      CORE 14 TIME N0>0z]4;q  
      DSEARCH 3 QUIET m4:^}O-#  
FWC5&
tM  
      SYSTEM *z'yk*  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM wDwH.~3!  
      OBB 0 4 83.36 CB~Q%QLG  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 5b/ojr7  
hAj1{pA,  
      GOALS ELEM 11 c)&>$S8*  
      TOTL 600 .01 TPE:e)GO  
      FNUM 1 z>R#H/h+  
      BACK 11 SET BGr.yEy  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 p*5\+WO>!(  
      QUICK 20 50 ^2]LV
6I  
      ANNEAL 50 10 Q { BEo &  
      SNAP 10 ,i.%nZw\  
      RSTART 1000 B cj/y4"  
      ASTART 25 dO7;}>F$n  
      THSTART 12 #Dfo#
]k(  
S-#q~X!yJ  
      FOV 0 .5 .707 1 'lZ.j&  
      FWT 1 1 1 1 END //Ai.Q.J[  
      SPECIAL PANT a,7&"  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 /+e~E;3bO  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 I^Z8PEc+  
      CUL 1.6 6Fy@s  
      FUL 1.6 END $<p8TtI=YQ  
0J~Qq]g  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1
:c8n[+5  
      M 0 1 A P HH 1 _7a'r</@  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT 7~M<cD  
      M 0 10 A DI3 END 8[ry|J  
      GO TIME

CVXytS?@x  
      SAVE RIGHT11. KjB/.4lLq  
      SAVE RIGHT11.

bzi|s5!'<  
      COMBINE 23 9j*0
D("  
      RIGHT11