从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

'"~ 2xiin  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 ,'>,N/JA  
镜片数22片 KBSO^<7  
物高31mm )cUFb:D*"  
物方数值孔径NA 0.2 Y-vLEIX=  
波长为UV VzZ'W[/7)B  
像方晶圆尺寸是12.66mm ,- FC  
总长小于1200mm /QT"5fxKJ  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 2S#|[wq(  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

)xP
fz  
      Here is the input for DSEARCH: WK)2/$7
@  
      CORE 14 TIME gxf{/EjH  
      DSEARCH 2 QUIET `zmjiC  
~o?(O1QY  
      SYSTEM NL7CeHs5  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM ER4j=O#  
      OBA 15 31 3 31 1w|C+m/(  
      OSNA .2 TCO M+ljg&fy  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC <+iL@'SgF  
      END //W7$DYEG  
kH9P(`;Vq  
      GOALS ELEM 11 cQOc^
W  
      TOTL 600 .1 ,'0Zd(s  
      TOPD .01 hNWZ1r~_  
      NPASS 50 \cKY
{(E  
      QUICK 20 50 !`$xN~_  
      ANNEAL 50 10 Q ;{%R'  
      SNAP 10 F-SD4a  
      RSTART 1000 &]xOjv/?  
      ASTART 25 /rQ[Ik$|  
      THSTART 12 t7].33%\  
dnXre*rhz  
      FOV 0 .5 .707 1 "z/)> ?Wn  
      FWT 1 1 1 1 END c"H59 j
E  
      SPECIAL PANT D Xjw"^x  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 2$OI(7b=  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67
dvLO#o{  
      CUL 1.6 'Bc{N^  
      FUL 1.6 END g E#43  
g(`m#&P>G  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 qzbpLV|
  
      M 0 .1 A SAP Iq%f*Zm<  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END C 7e  
      GO TIME

QhqXd  
     SAVE LEFT11.

{ t1|6R0  
     SAVE LEFT11.

E` O@UW@  
      CORE 14 TIME dH8^\s .F  
      DSEARCH 3 QUIET ,k=1'7d  
yCt,-mz!z  
      SYSTEM iT;~0XU7F  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM k_$9cVA  
      OBB 0 4 83.36 `5$B"p&i  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 7=e!k-G  
|1z?#@BH  
      GOALS ELEM 11 6%nKrK  
      TOTL 600 .01 3\~ RWoB0u  
      FNUM 1 *pMu,?uE  
      BACK 11 SET U!xOJ  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 ImnN&[Cu  
      QUICK 20 50 ;WG6|QgV?-  
      ANNEAL 50 10 Q oI/jGyY;  
      SNAP 10 Ny oRp  
      RSTART 1000 h
_{//W[  
      ASTART 25 2wKW17wj,  
      THSTART 12 :j=/>d],%  
aLKvl~s;m  
      FOV 0 .5 .707 1 `_*NFv1_  
      FWT 1 1 1 1 END qDzd_E@aR  
      SPECIAL PANT Ln2dD>{2  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 `VB]4i}u  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 p~h)@  
      CUL 1.6 k%[pZ5.!  
      FUL 1.6 END R,'` A.Kk  
NDt +m  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 [p7cgHSMt  
      M 0 1 A P HH 1 Cc7YjsRW
 
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT bOKgR{i  
      M 0 10 A DI3 END {Al}a`da  
      GO TIME

%%=PpKYtSD  
      SAVE RIGHT11. k'hJ@6eKS  
      SAVE RIGHT11.

pO~lVM  
      COMBINE 23 oK!W<#  
      RIGHT11