从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 *m#Za<_Gv  
镜片数22片 2K3{hxB  
物高31mm Wr( y)D<y}  
物方数值孔径NA 0.2 8@tPm$  
波长为UV Ba!J"b]  
像方晶圆尺寸是12.66mm WS`qVL]^&  
总长小于1200mm L>3x9  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 !Ze5)g%H  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

*cgI.+  
      Here is the input for DSEARCH: wbst8*$  
      CORE 14 TIME (,8$V\  
      DSEARCH 2 QUIET %;rHrDP(>  
F 9@h|#an  
      SYSTEM m_)FC-/pSl  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM $
GTU$4u  
      OBA 15 31 3 31 @g&ct>@y  
      OSNA .2 TCO XR;eY:89  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC +>r/0b  
      END BDjn !3  
z&fwE$Nm  
      GOALS ELEM 11 #n#@fAY  
      TOTL 600 .1 9;B0Mq py  
      TOPD .01 CL+}|7O(  
      NPASS 50 J%,*isEL  
      QUICK 20 50 egq67S  
      ANNEAL 50 10 Q K~| 4[\  
      SNAP 10 ;ShJi  
      RSTART 1000 rl#p".4q  
      ASTART 25 FSA1gAW6g  
      THSTART 12 iT%} $Lu~  
p{j.KI s7  
      FOV 0 .5 .707 1 %'X[^W  
      FWT 1 1 1 1 END PEc=\?  
      SPECIAL PANT uLWh|
  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 PEW=@xj2y  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ~,i-8jl,  
      CUL 1.6 WjlZ6g2i  
      FUL 1.6 END 3GUZ;jdn  
C,v(:ZE$J7  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 {o.FlX  
      M 0 .1 A SAP u
A#P'?  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END t},/}b  
      GO TIME

z}*9uZ  
     SAVE LEFT11.

TztAZ2C  
     SAVE LEFT11.

QmCe>+  
      CORE 14 TIME Ht&:-F+dm  
      DSEARCH 3 QUIET 4X+ifZO  
O vk_\On  
      SYSTEM }x07^4$j  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM P_Gw-`L5T  
      OBB 0 4 83.36 IVAmV!.z  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END Q+W1lv8R  
JYW)uJ  
      GOALS ELEM 11 XYZ4TeW\1  
      TOTL 600 .01 +7=K/[9p  
      FNUM 1 d\jPdA.a=  
      BACK 11 SET FXi{87F2  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 Nw1#M%/!r!  
      QUICK 20 50 Stu4t==U  
      ANNEAL 50 10 Q +h r@#n4A  
      SNAP 10 /XzH?n/{R  
      RSTART 1000 W8KDX_vGJ  
      ASTART 25 vJ-q*qM1  
      THSTART 12 LQngK7>  
$D|e>U  
      FOV 0 .5 .707 1 3tZ]4ms}  
      FWT 1 1 1 1 END Dk(1}%0U/  
      SPECIAL PANT rU2%dkTa  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 :[hgxJu+  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 BA%pY|"Q  
      CUL 1.6 o1h={ao  
      FUL 1.6 END =[@zF9  
5yzv|mrx  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ]Zyur`  
      M 0 1 A P HH 1 M>i9i-dU  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT 'VlDh`<W  
      M 0 10 A DI3 END =Q+= f  
      GO TIME

Q2F+?w;,  
      SAVE RIGHT11. @!yMIM%P  
      SAVE RIGHT11.

s0k`p<q  
      COMBINE 23 "6us#T  
      RIGHT11