| 从零开始设计的微光刻透镜:SYNOPSYS 光学设计软件
  <u2 }i<#  你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 I"GB<oB
 镜片数22片  H-
$)3"K
 物高31mm !jTcsN%
 物方数值孔径NA 0.2 5k.oW=
 波长为UV ^0 -:G6H
 像方晶圆尺寸是12.66mm pej|!oX
 总长小于1200mm vd[0X;
 这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。  _ jsK}- \
 首先,我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下:
  =|Y,+/R?  W04@!_)	<Here is the input for DSEARCH: 6ZP"p<xX
 CORE 14 TIME \ZkA>oO".
 DSEARCH 2 QUIET [C'JH//q*t
 R#I0|;q4|p
 SYSTEM \pVXimam
 ID DSEARCH LEFT UNI MM Sn|BlXrey
 OBA 15 31 3 31 r8xv#r 1
 OSNA .2 TCO Eqj_m|@
 WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC jWrj?DV,2N
 END LA}Syt\F
 6}FP
 GOALS ELEM 11 W>j !Q^?
 TOTL 600 .1 :0Rx#%u}#
 TOPD .01 XzEc2)0'v
 NPASS 50 GU( _
 QUICK 20 50 0|{u{w@!`
 ANNEAL 50 10 Q TOB]IrW
 SNAP 10 T[g[&K1Y
 RSTART 1000 SMpH._VFeE
 ASTART 25 pu2tY7Ja
 THSTART 12 ?j"KV_
 d^{RQ
 FOV 0 .5 .707 1 aWR}R>E
 FWT 1 1 1 1 END t%E!o0+8Z
 SPECIAL PANT =4FXBPoQK
 CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 0.8 2kl
 FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 V3^&oe%
 CUL 1.6 d?A
0MKnl
 FUL 1.6 END SAy=WV
 h4T5+~rw
 SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 XovRg,
 M 0 .1 A SAP cj$[E]B3V*
 M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END <
HVl(O
 GO TIME
 XAF+0	x!
 返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。 MygfT[_
 使用命令为:
  --$
4Q(#  =THpdtLSAVE LEFT11.
 
  snobT Q  ]:XoRyIZ1[SAVE LEFT11.
 wn/_}]T
 现在激活ACON 2,我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组,输入命令如下:
  VY
| _dk  UQ)W%Y;[0CORE 14 TIME /|C*
 DSEARCH 3 QUIET 1Q<^8N)pf
 CDQW !XHc
 SYSTEM -p]1=@A<}
 ID DSEARCH RIGHT UNI MM TO]@
Zu1
 OBB 0 4 83.36 $u]jy0X<Y;
 WAVL .354732 .354712 .354692 END 4T|b
Cs?e
 c;Pe/ d
 GOALS ELEM 11 6-$jkto
 TOTL 600 .01 TaKLzd2
 FNUM 1 itBwCIj G
 BACK 11 SET hT`J1nNt
 TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 v+46QK|I&
 QUICK 20 50 le/,R@]B9
 ANNEAL 50 10 Q +B B@OW
 SNAP 10 ?!A7rb/tj
 RSTART 1000 ;oW6	NJ
 ASTART 25 Z}mLLf	E
 THSTART 12 "p_J8
 dJJP3}M/
 FOV 0 .5 .707 1 7}f}$1
 FWT 1 1 1 1 END SUCMb8
 SPECIAL PANT ,?8qpEG~#+
 CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 x@P y>f2
 FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 %b&".mN
 CUL 1.6 vK|E>nL
 FUL 1.6 END +ga	k#M"n\
 g!@<n1 L
 SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ~.{/0T
 M 0 1 A P HH 1 LClNxm2X
 M 0 10 A P YA 1 S GIHT  ]
o*#t
 M 0 10 A DI3 END n0r+A^]
 GO TIME
 \KMToN&2
 结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:
  K1mPr^3rC  Tl(^SAVE RIGHT11. 0b+Wc43}K
 SAVE RIGHT11.
 7Ri46Tkt
 现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1,并输入:
  mHV%I@`Y6  }Lc-7[/COMBINE 23 `Nz/Oh7
 RIGHT11
 Y-kt.X/Z-
 现在它们被合并成了一个镜头。 %HGD;_bhI
 现在它们被合并成了一个镜头。 HePUWL'
 现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏,修改TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。 PDJr<E?
 我们有了一个非常好的微光刻镜头。 B~ ]k#Ot)
 很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 Y2a5bc P
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