从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

+s V$s]U  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 "o*F$7D!  
镜片数22片 $83TA><a  
物高31mm (fUXJ$  
物方数值孔径NA 0.2 }e9E+2}Z\  
波长为UV S_y!4;]ox  
像方晶圆尺寸是12.66mm erdWGUfQOe  
总长小于1200mm HfFP4#C,  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 Gm}ecW  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

smoz5
~  
      Here is the input for DSEARCH: $"!"=v%B  
      CORE 14 TIME %t([  
      DSEARCH 2 QUIET pa~.[cBI  
)|x)KY  
      SYSTEM _ncqd,&z  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM yxf|Njo0  
      OBA 15 31 3 31 u `1cXL['  
      OSNA .2 TCO 5sao+dZ"|  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC od"Oq?~/t  
      END pUZbZ U  
)|~pocXt<  
      GOALS ELEM 11 "]f0wLzh  
      TOTL 600 .1 j="{^b  
      TOPD .01 *T$`5|  
      NPASS 50 @{+c6.*}  
      QUICK 20 50 7M=LyrO  
      ANNEAL 50 10 Q +t({:>E  
      SNAP 10 n-be8p)-  
      RSTART 1000 @SF*Kvb&  
      ASTART 25 8`EzvEm  
      THSTART 12 uLD%M av  
:rnn`/L  
      FOV 0 .5 .707 1 -fI-d1@  
      FWT 1 1 1 1 END i(Cd#1<  
      SPECIAL PANT 6D_3Hwrs  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 3WZ]9v{k  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 P3jDx{F  
      CUL 1.6 /XEUJC4  
      FUL 1.6 END K9\`Wu_qL  
]x8^s  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 D4g$x'  
      M 0 .1 A SAP 56;lB$)"  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END cs `T7?>  
      GO TIME

_&_#uV<WG0  
     SAVE LEFT11.

M<hX!B  
     SAVE LEFT11.

ln-+=jk  
      CORE 14 TIME Q%o:*(x[O  
      DSEARCH 3 QUIET ~:~-AXaMT  
AC;ja$A#  
      SYSTEM J8>y2rAi  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM 4,"%  
      OBB 0 4 83.36 3e+ Ih2  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 7SOi9JU_  
A0Pg|M  
      GOALS ELEM 11 r9G}[#DO  
      TOTL 600 .01 dr#g[}l'H  
      FNUM 1 ,)^4H>~V  
      BACK 11 SET @2ZE8O#I  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 |giV<Sj  
      QUICK 20 50 4n_f7'GZg  
      ANNEAL 50 10 Q [+<lm 5t  
      SNAP 10 Qxr&zT7f  
      RSTART 1000 (!`TO{!6P  
      ASTART 25 ANh7`AUuO  
      THSTART 12 mxUM&`[  
/qp)n">  
      FOV 0 .5 .707 1 OP>rEUtj  
      FWT 1 1 1 1 END w64/$  
      SPECIAL PANT L6S!?t.{Yv  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 V`Ve__5;  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 *\ZK(/V  
      CUL 1.6 !lf'gW  
      FUL 1.6 END EF1a
w2  
Gzy"$t  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 qk!")t  
      M 0 1 A P HH 1 M_asf7|
v  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT zSt6q  
      M 0 10 A DI3 END $*a'[Qot#  
      GO TIME

5H8]N#Y&  
      SAVE RIGHT11. y!JZWq%=  
      SAVE RIGHT11.

$]O;D~
 
      COMBINE 23 :ZrE/3_S  
      RIGHT11