从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

V]9?9-r  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 ?2b9N~  
镜片数22片 lq!l{[Xp  
物高31mm !xK`:[B  
物方数值孔径NA 0.2 = 8%+$vX  
波长为UV x_5H_! \#  
像方晶圆尺寸是12.66mm vd<" G}  
总长小于1200mm #VEHyz6P  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 }mC-SC)oSi  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

8~|PZ,oZ  
      Here is the input for DSEARCH: P1ab2D  
      CORE 14 TIME 4m6E~_:F  
      DSEARCH 2 QUIET <tg>1,C  
3J}bI{3  
      SYSTEM j7 D\O  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM +d736lLe%  
      OBA 15 31 3 31 f"5vpU^5*  
      OSNA .2 TCO H;$OCDRC  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC DFt1{qS8@u  
      END lU.@! rGbw  
""ICdZ_A  
      GOALS ELEM 11 I.\fhNxHY  
      TOTL 600 .1 MLcc  
      TOPD .01 RW|3d<Fj  
      NPASS 50 X}xy v  
      QUICK 20 50 e? fFh,a  
      ANNEAL 50 10 Q jC<!Ny-$  
      SNAP 10 GKwm %A  
      RSTART 1000 |L4K#  
      ASTART 25 i9oi}$;J  
      THSTART 12 iVt6rX  
1G+42>?<1  
      FOV 0 .5 .707 1 ,m:YZ;J(Xd  
      FWT 1 1 1 1 END MDS;qZx=  
      SPECIAL PANT a<M<) {$u  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 =?3D:k7z  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 \0m[Ch}~ey  
      CUL 1.6 Xb=9~7&,$  
      FUL 1.6 END P-VK=Y1q  
W9?Vh{w  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 [(Pm\o  
      M 0 .1 A SAP w7]@QTC  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END 'kK}9VKl  
      GO TIME

QOkPliX  
     SAVE LEFT11.

tm(.a?p  
     SAVE LEFT11.

A_}F  
      CORE 14 TIME -1~bWRYq  
      DSEARCH 3 QUIET *S_eYKS
l  
k#%BxT  
      SYSTEM E[>4b7{g:  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM 1+PLj[;jJ:  
      OBB 0 4 83.36 {SW}S_  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END J A ]s  
S\ ~Wpf  
      GOALS ELEM 11 ]C-hl}iq  
      TOTL 600 .01
"8aw=3A  
      FNUM 1 hV/$6 8A_  
      BACK 11 SET 2;NIUMAMM  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 cTFyF)  
      QUICK 20 50 AS[
cz! >  
      ANNEAL 50 10 Q Pm6/sO  
      SNAP 10 ;-47d ^  
      RSTART 1000 }| _uqvin  
      ASTART 25 !j6]k^ra  
      THSTART 12 Q d]5e  
&+=A;Y)  
      FOV 0 .5 .707 1 RZ9vQ\X U)  
      FWT 1 1 1 1 END P'GX-H  
      SPECIAL PANT >n)N=Zyu  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 |0ahvsrtW  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 (t1:2WY@  
      CUL 1.6 w%)=`'s_  
      FUL 1.6 END ]FvN*@lG  
DF/p{s1Y3  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 nk]jIRy^T  
      M 0 1 A P HH 1 eP$0TDZ  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT dy;Ue5  
      M 0 10 A DI3 END \aQBzEX  
      GO TIME

,2/qQD n/  
      SAVE RIGHT11. i=@.u=:  
      SAVE RIGHT11.

W`K XO|'p@  
      COMBINE 23 i2A>T/?{  
      RIGHT11