从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

V`KXfY  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 Oj#nF@U  
镜片数22片 6g*B=d(j  
物高31mm ~M 6^%  
物方数值孔径NA 0.2 &Bbs\ ;  
波长为UV  Efsfuv  
像方晶圆尺寸是12.66mm UW+|1Bj_:  
总长小于1200mm T jO}P\p  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 )#9R()n!  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

Q:\I %o  
      Here is the input for DSEARCH: VJMn5v[V  
      CORE 14 TIME I=VPw5"E  
      DSEARCH 2 QUIET W@w#A]  
K9FtFd  
      SYSTEM goi5I(yn^  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM
t)74(  
      OBA 15 31 3 31 -Cxk#-sb#  
      OSNA .2 TCO O2E6F^.pYw  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC +I0?D  
      END %+iJpRK)7  
}d2]QD#O  
      GOALS ELEM 11 uhUC m  
      TOTL 600 .1 j_E$C.XU{g  
      TOPD .01 {Slc6$  
      NPASS 50 zE +)oQ,  
      QUICK 20 50 V.kUFTCvf  
      ANNEAL 50 10 Q SrfDl*  
      SNAP 10 $-m`LF@  
      RSTART 1000 #$xiqL  
      ASTART 25 _dY6Ip%  
      THSTART 12 g]9!Pi8jn  
2
{zFO3i<3  
      FOV 0 .5 .707 1 |1H"ya  
      FWT 1 1 1 1 END qG=9zp4y?Y  
      SPECIAL PANT n83,MV?-  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55  q&0Jl  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67  KTd,^
h  
      CUL 1.6 eN@V?G26K  
      FUL 1.6 END *p{wC r  
RSG\3(  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ;"=a-$vm  
      M 0 .1 A SAP r{.DRbn  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END vW`{BWd  
      GO TIME

\3(d$_:b  
     SAVE LEFT11.

c6cGl]FL  
     SAVE LEFT11.

FA?xp1E  
      CORE 14 TIME b(dIl)Y4 :  
      DSEARCH 3 QUIET }!b9L]  
 rxQn[  
      SYSTEM S+A'\{f  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM ig^9lM'  
      OBB 0 4 83.36 =jjUwcl  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END dL'hC#!h  
FMB\$(g  
      GOALS ELEM 11 QA\eXnR  
      TOTL 600 .01 iIu  
      FNUM 1 CXGq>cQ=d  
      BACK 11 SET VZ{aET!  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 09`5<9/  
      QUICK 20 50 a9qB8/Gg[  
      ANNEAL 50 10 Q 7f_4qb8  
      SNAP 10 #q40 >)]  
      RSTART 1000 ]Qe;+p9vU  
      ASTART 25 1SeDrzLA  
      THSTART 12 .?9+1.`
 
l@nkR&4[  
      FOV 0 .5 .707 1 TLzg*  
      FWT 1 1 1 1 END 0PD]#.
+  
      SPECIAL PANT D+d\<":  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 $}r*WZ  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 f m.-*`ax  
      CUL 1.6 ^Afq)26D  
      FUL 1.6 END a(s}Ec${Z  
&bBK#d*-u?  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 {4Cn/}7Ly^  
      M 0 1 A P HH 1 'n%Ac&kk  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT 4UmTA_& Io  
      M 0 10 A DI3 END \R
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      GO TIME

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      SAVE RIGHT11. #bgW{&_y  
      SAVE RIGHT11.

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      COMBINE 23 ao>bnRXR  
      RIGHT11