从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 :YLurng/]  
镜片数22片 A!}Ps"Z  
物高31mm ocZ^rqo2w  
物方数值孔径NA 0.2 \]dvwN3x  
波长为UV M 5`hMfg  
像方晶圆尺寸是12.66mm \Xr*1DI<  
总长小于1200mm Ue"pNjd|  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 #%V+- b(  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

@18}'k  
      Here is the input for DSEARCH: LyL(~Jc|  
      CORE 14 TIME |=V~CQ]  
      DSEARCH 2 QUIET g0-rQ
A  
0ZZ Wj%  
      SYSTEM u*rHKZ9i  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM rFp>A
`TJ  
      OBA 15 31 3 31 QUh`kt(E  
      OSNA .2 TCO dyohs_  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC WF2t{<]^e  
      END uH[:R vC0  
6)>otB8)J  
      GOALS ELEM 11 iO2jT+i  
      TOTL 600 .1 2(Aw  
      TOPD .01 s=556  
      NPASS 50 %joU}G;"  
      QUICK 20 50 e0<O6  
      ANNEAL 50 10 Q o8NRu7@?  
      SNAP 10 s#(%u t  
      RSTART 1000 T8yMaC  
      ASTART 25 FPM l;0{  
      THSTART 12 wzBw5nf\  
V7cr%tY5  
      FOV 0 .5 .707 1 sa"}9IE*8  
      FWT 1 1 1 1 END L^bX[.uZw  
      SPECIAL PANT rj4R/{h  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 Jb-.x_Bf  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 (A "yE4rYK  
      CUL 1.6 K_!:oe7%  
      FUL 1.6 END #7/39zTK  
tg\o"QKW9  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 i4XiwjCHN  
      M 0 .1 A SAP cS Qb3}a\  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END xV=Tmu6l  
      GO TIME

'S:
$4j  
     SAVE LEFT11.

1+YqdDqQ  
     SAVE LEFT11.

?-)v{4{s  
      CORE 14 TIME &So1;RR,_M  
      DSEARCH 3 QUIET ?GW}:'z  
n=|%
H'U  
      SYSTEM !e*T. 1Kz  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM [AA}P/iW  
      OBB 0 4 83.36 n7yp6Db  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 2U(q
yC  
o$rF-?  
      GOALS ELEM 11 h_SkX@"/-  
      TOTL 600 .01 =%c\<<]aV  
      FNUM 1 +'nMy"j1  
      BACK 11 SET TPak,h(1  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 M|fV7g  
      QUICK 20 50 o"_'cNAz  
      ANNEAL 50 10 Q %%zlqd"0  
      SNAP 10 l5\
V4  
      RSTART 1000 Hmnxmgx  
      ASTART 25 *ZxurbX#  
      THSTART 12 jL'`M%8O  
Ps{vN ~}  
      FOV 0 .5 .707 1 -4P `:bF  
      FWT 1 1 1 1 END tw&v@HUP  
      SPECIAL PANT iRbe$v&N  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 F\L!.B  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 '4Fwh]Ee  
      CUL 1.6 ]vP}K   
      FUL 1.6 END 1hE{(onI  
)nFyHAy-  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 L(sT/  
      M 0 1 A P HH 1 I~&9c/&  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT D9?.Ru0.  
      M 0 10 A DI3 END !a-B=pn!]  
      GO TIME

S!+>{JyQ  
      SAVE RIGHT11. 44|tCB`  
      SAVE RIGHT11.

l;L_A@B<  
      COMBINE 23 :9Jy/7/  
      RIGHT11