从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 W2wpcc  
镜片数22片 G&f7+e  
物高31mm $(q
>mg:H  
物方数值孔径NA 0.2 'PWQnt
_U  
波长为UV ;\%sEcpT  
像方晶圆尺寸是12.66mm Dmdy=&G  
总长小于1200mm hF&}lPVtv  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 MQcr^Y_  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

\0FT!} L  
      Here is the input for DSEARCH: 4-v6=gz.  
      CORE 14 TIME 'q%%m/,VPQ  
      DSEARCH 2 QUIET ,,=apyr#&  
v@EQ^C2.&  
      SYSTEM BC\S/5~k  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM gd^Js1Z  
      OBA 15 31 3 31 Ey&aBYR  
      OSNA .2 TCO #-cTc&$O;  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC 'i>xf ^  
      END u2sR.%2U<  
J7i+c];!<  
      GOALS ELEM 11 5@u~3jPd  
      TOTL 600 .1 KhM.T
c  
      TOPD .01 VS/;aG$&y  
      NPASS 50 ?$%%
Mp(  
      QUICK 20 50
2RppP?M!  
      ANNEAL 50 10 Q M2T|"Q"=  
      SNAP 10 6/mF2&&g  
      RSTART 1000 3#.\  
      ASTART 25 Qu~*46?0  
      THSTART 12 ms~8QL  
=
K$,E4*  
      FOV 0 .5 .707 1 E,*&BDW  
      FWT 1 1 1 1 END H}b\`N[nr  
      SPECIAL PANT ]HvZ$  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 AZZRa69=  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 CB*/ =Y  
      CUL 1.6 >#N[GrJAE  
      FUL 1.6 END :%tuNJjj  
V,LVB_6  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 u3dsQU  
      M 0 .1 A SAP :):zNn_>`  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END m@oUvxcd  
      GO TIME

6[==BbZ  
     SAVE LEFT11.

{j6g@Vd6lx  
     SAVE LEFT11.

Q\#UWsN(T/  
      CORE 14 TIME &=-PRza%j  
      DSEARCH 3 QUIET !A[S6-18%-  
jp m#hH{R  
      SYSTEM k!E"wJkpz  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM iVeQ]k(u  
      OBB 0 4 83.36 #AncOo  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END o=9'  
oBw}hH,hp  
      GOALS ELEM 11 r'd/qnd  
      TOTL 600 .01 -2lRia  
      FNUM 1 B| Q6!  
      BACK 11 SET c$#GM57V  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 |s`Kd-'|q  
      QUICK 20 50 /J;]u3e|  
      ANNEAL 50 10 Q H7jTQW0rp5  
      SNAP 10 v*L '{3f  
      RSTART 1000 $Q4=37H+  
      ASTART 25 eU~?p|Np
 
      THSTART 12 8vJdf9pB*  
vPsq<l}  
      FOV 0 .5 .707 1 GYqJ!,  
      FWT 1 1 1 1 END
9Dq.lr^  
      SPECIAL PANT D-iUN  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 0pNo`Bm  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ~'[jBn)  
      CUL 1.6 [|
<EDR  
      FUL 1.6 END )KE_t^$  
k5s?lWH  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 6!RikEAh  
      M 0 1 A P HH 1 N ^f}ui i  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT qvTJ>FILT  
      M 0 10 A DI3 END x3;jWg~'  
      GO TIME

Y^5"qd|`  
      SAVE RIGHT11. UKYupLu5  
      SAVE RIGHT11.

U IQ 6SvM  
      COMBINE 23 .~22^k  
      RIGHT11