从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 ;kfl5  
镜片数22片 n1
  
物高31mm );!IGcgF  
物方数值孔径NA 0.2 w,!IvDCAw  
波长为UV Qk[YF  
像方晶圆尺寸是12.66mm nAT,y9&  
总长小于1200mm nmWo:ox4;(  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 g5@P  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

5D6 ,B  
      Here is the input for DSEARCH: -PiakX  
      CORE 14 TIME
&G$K.q  
      DSEARCH 2 QUIET `)TuZP_)  
i}
=n6  
      SYSTEM ZGsI\3S  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM khQ@DwO*\=  
      OBA 15 31 3 31 {g7~e{2  
      OSNA .2 TCO 12o6KVV^x  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC iPCDxDLN3V  
      END oXFo  
i TLX=.M  
      GOALS ELEM 11 ZE:!>VXa87  
      TOTL 600 .1 k{C03=xk  
      TOPD .01 ;)23@6{R%  
      NPASS 50 `6RR/~kP(  
      QUICK 20 50 {v,NNKQ4x  
      ANNEAL 50 10 Q SQ la]%  
      SNAP 10 ,!vI@>nhG  
      RSTART 1000 +[2ep"5H  
      ASTART 25 IBYSI0  
      THSTART 12 d=eIsP'h  
oxNQNJ!X  
      FOV 0 .5 .707 1 ;:1o|>mX
 
      FWT 1 1 1 1 END Ny5$IIFe  
      SPECIAL PANT !6FO[^h||H  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 ?p&( Af)  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 LhC
wZ1  
      CUL 1.6 uJSzz:\  
      FUL 1.6 END 8 -YC#&  
9?tG?b0  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 trz&]v=:  
      M 0 .1 A SAP x(7Q5Uk\  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END V.}3d,Em%]  
      GO TIME

"0aJE1)p:  
     SAVE LEFT11.

q$'D}OHT  
     SAVE LEFT11.

|_mN:(3  
      CORE 14 TIME Zg$RiQ^-{J  
      DSEARCH 3 QUIET *~
kHH
 
cRv#aV  
      SYSTEM ?izl#?  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM )Wy:I_F351  
      OBB 0 4 83.36 ]cM,m2^2  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END H,EGB8E2  
^{a_:r"  
      GOALS ELEM 11 ]Jo}F@\g  
      TOTL 600 .01 &3 *#h  
      FNUM 1 d' l|oeS  
      BACK 11 SET $]gflAe2  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 @plh'f}  
      QUICK 20 50 SBg|V  
      ANNEAL 50 10 Q g(dReC  
      SNAP 10 o>HU4
O}  
      RSTART 1000 Y=D\  
      ASTART 25 hv*XuT/  
      THSTART 12 YySo%\
d  
_&N}.y)+t  
      FOV 0 .5 .707 1 ;_#<a*f  
      FWT 1 1 1 1 END Sym}#F\s  
      SPECIAL PANT 1 %8JMq\  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 JHa\"h  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 @H$Sv   
      CUL 1.6 p8j*m~4B  
      FUL 1.6 END Hu+GN3`sx^  
r@EHn[w  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 dF><XZph  
      M 0 1 A P HH 1 8^67,I-c  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT 9.BgsV .  
      M 0 10 A DI3 END mrBK{@n  
      GO TIME

EHK+qrym  
      SAVE RIGHT11. 4 %V9  
      SAVE RIGHT11.

VfwH:  
      COMBINE 23 D!z'Y,.  
      RIGHT11