从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 uhz:G~x
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镜片数22片 %(79;#2`  
物高31mm $*tq$DZ4&  
物方数值孔径NA 0.2 lU`]yL  
波长为UV _=Ed>2M)no  
像方晶圆尺寸是12.66mm *tC]Z&5  
总长小于1200mm W9D]s~bO;  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 2;VggPpT  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

o$8v8="p  
      Here is the input for DSEARCH: X>(?  
      CORE 14 TIME tIR"y:U+  
      DSEARCH 2 QUIET L1 1
/XpR  
wu"6Kyu  
      SYSTEM wws)**]J8  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM M.iR5Uh  
      OBA 15 31 3 31 2>Bx/QF@<  
      OSNA .2 TCO `j{q$Y=AG  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC Av:5v3%  
      END j'Z};3y  
 c %w h  
      GOALS ELEM 11 _h",,"p#o  
      TOTL 600 .1 rnz9TmN:*1  
      TOPD .01 ?4GI19j  
      NPASS 50 [XK Ke  
      QUICK 20 50 :biM}L  
      ANNEAL 50 10 Q :_E q(r  
      SNAP 10 k7yQEU  
      RSTART 1000 tkx1iBW=  
      ASTART 25 z;yb;),  
      THSTART 12 ?kEcYD  
f<bc8Lp  
      FOV 0 .5 .707 1 {h5 S=b  
      FWT 1 1 1 1 END :SjTkfU  
      SPECIAL PANT UE33e(Q<  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 28>PmH]7  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 =LEKFXqM  
      CUL 1.6 WDc2Qt  
      FUL 1.6 END JfS:K'  
\' (_r  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 '~Uo+<v$w  
      M 0 .1 A SAP GInU7y904  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END ~=qJSb  
      GO TIME

jkw:h0hX  
     SAVE LEFT11.

`\LhEnIwu  
     SAVE LEFT11.

7DaMuh~<  
      CORE 14 TIME Bwv@D4bii  
      DSEARCH 3 QUIET [!9dA.tF  
v).V&":  
      SYSTEM P[{qp8(g  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM )vVt{g  
      OBB 0 4 83.36 mNS7/I\  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END Pl(+&k`}  
IH|PdVNtg  
      GOALS ELEM 11 <j"}EEb^  
      TOTL 600 .01 ue8Cpn^M  
      FNUM 1 S0?4}7`A  
      BACK 11 SET 5A(zQ'6  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 I`Goc!5t  
      QUICK 20 50 *PQu9>1w  
      ANNEAL 50 10 Q 2D|2/ >[  
      SNAP 10 *h6Lh]7  
      RSTART 1000 *K#7,*Oz  
      ASTART 25 Sj?u^L8es}  
      THSTART 12 tj:3R$a  
5c
50F{  
      FOV 0 .5 .707 1 ds@X%L;_  
      FWT 1 1 1 1 END z~tCag8I(k  
      SPECIAL PANT {;.q?mj  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 h'Tn&2r6  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 Cw`8[)=}o  
      CUL 1.6 3k)W0]:|<  
      FUL 1.6 END sjh>i>t  
WmU5YZ(mAq  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 UUb n7&  
      M 0 1 A P HH 1 %JmRJpCvR  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT +-_71rJc.  
      M 0 10 A DI3 END O:02LHE  
      GO TIME

e1Kxqw7  
      SAVE RIGHT11. "-aak )7w  
      SAVE RIGHT11.

9=,^^,q  
      COMBINE 23 rGb7p`J  
      RIGHT11