从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

%&L]k>n^  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 {wWh;  
镜片数22片 k<xiP@b{y  
物高31mm i"}%ib*X  
物方数值孔径NA 0.2 nRpZ;X)'.  
波长为UV o|\0IG(\  
像方晶圆尺寸是12.66mm 3YyB0BMW  
总长小于1200mm 9kcp(  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 zG_e=  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

;dt&*]wA  
      Here is the input for DSEARCH: xP<cF  
      CORE 14 TIME F&r+"O)^-R  
      DSEARCH 2 QUIET WN?1J4H  
|Uz?i7z  
      SYSTEM ;<Dou7=  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM H\tz"<*``  
      OBA 15 31 3 31 zi~_[l-  
      OSNA .2 TCO w(kN0HD  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC k^3|A3A  
      END 9QaEUy*,  
>|jSd2_p  
      GOALS ELEM 11 D*d@<&Bl4<  
      TOTL 600 .1 GWZ0!V  
      TOPD .01 H R$\jJ  
      NPASS 50 z= p
b<Y@X  
      QUICK 20 50 ar
.w'z
 
      ANNEAL 50 10 Q C'C'@?]  
      SNAP 10 | fAt[e_E  
      RSTART 1000 " &B/v"nj  
      ASTART 25 8fzmCRFH  
      THSTART 12 yZ t}Jnv  
pqPhtWi%PJ  
      FOV 0 .5 .707 1 7bioLE  
      FWT 1 1 1 1 END * iW>i^  
      SPECIAL PANT +:4J~Cuf  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 mA:NAV$!s  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ($^XF:#5  
      CUL 1.6 g_Wf3o857J  
      FUL 1.6 END a%>p"4WL  
pyZ&[*@  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 N%{&%C6{  
      M 0 .1 A SAP LGq}wxq  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END BBy"qkTe  
      GO TIME

iQpKcBx  
     SAVE LEFT11.

\;x+KD  
     SAVE LEFT11.

n0#HPI"  
      CORE 14 TIME 9,y*kC  
      DSEARCH 3 QUIET =BpX;n<  
IpQ5
1  
      SYSTEM l+S08IZ  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM ETe,RY  
      OBB 0 4 83.36 SlvQ)
jw%  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 3e$&rp
v  
/)?]
vKMiI  
      GOALS ELEM 11 ('!90  
      TOTL 600 .01 {'8a'
9\  
      FNUM 1 M
H }4F  
      BACK 11 SET )}\T~#Q]y  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 rJK3;d?E  
      QUICK 20 50 %^}3:0G  
      ANNEAL 50 10 Q dL5u-<y&  
      SNAP 10 (</cu$w>H)  
      RSTART 1000 h0`@yo  
      ASTART 25 8E{<t}  
      THSTART 12 u(\O  
rWI6L3,i+  
      FOV 0 .5 .707 1 p%5RE%u  
      FWT 1 1 1 1 END :~BY[")  
      SPECIAL PANT L2Uk/E  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 MnUal}MO  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 Hw[u Sv8  
      CUL 1.6 <T JUKznO  
      FUL 1.6 END bY7d  
=p|,~q&i  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 q?'*T?|  
      M 0 1 A P HH 1 Yd:8iJA  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT mjG-A8y  
      M 0 10 A DI3 END S{aK\>>H  
      GO TIME

7a 4G:  
      SAVE RIGHT11. ?)k;.<6  
      SAVE RIGHT11.

HkFoyy  
      COMBINE 23 GGsDR%U
 
      RIGHT11