从零开始设计的微光刻透镜:SYNOPSYS 光学设计软件
u'+;/8 你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 #Z]l4d3{T 镜片数22片 {]6Pd`- 物高31mm y d4\%%] 物方数值孔径NA 0.2 GY,HEe]2r 波长为UV f/NfvLi(AU 像方晶圆尺寸是12.66mm (7_}UT@w- 总长小于1200mm \_J;i[ 这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 $@(+"
$ 首先,我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: ;HbAk`\1A Here is the input for DSEARCH: G :JQ_w CORE 14 TIME Y<0R5rO DSEARCH 2 QUIET m]#oZVngy I8:A] SYSTEM 5ps7)] ID DSEARCH LEFT UNI MM ,4tuWO)" OBA 15 31 3 31 >Kjl>bq OSNA .2 TCO =9AX\2w*H; WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC QlCs,bT END . + 8\{1y:| GOALS ELEM 11 ?(d<n TOTL 600 .1 AeN$AqQd/ TOPD .01 c Y(2}Ay NPASS 50 :sL?jGk\ QUICK 20 50 tlJ@@v&= ANNEAL 50 10 Q Q'qz(G0 SNAP 10
Hlj_oDL RSTART 1000 84eqT[I' ASTART 25 \x9.[?;=e THSTART 12 M4`.[P4 6=o'.03\f FOV 0 .5 .707 1 nqMXE82 FWT 1 1 1 1 END 1r LK1X SPECIAL PANT \7U'p:h=U CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 3BzC'nplm FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 A4>j4\A[M CUL 1.6 M\rZr3 FUL 1.6 END .L#U^H| +9!=pRq SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 N0_@=uE M 0 .1 A SAP y8arFG M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END g/f^|: GO TIME &kp`1kv": d,d ohi 返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。 eN{ewn#0. 使用命令为: [ qx[ 0 SAVE LEFT11. )~[rb<:)b
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0+W-#G SAVE LEFT11. DP5}q"l ?)V?6"fFP 现在激活ACON 2,我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组,输入命令如下: s5cY> CORE 14 TIME >Xv
Fg DSEARCH 3 QUIET :.bBV]6q O
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iN SYSTEM UOYhz. ID DSEARCH RIGHT UNI MM dlJc~| OBB 0 4 83.36
#m;|QWW WAVL .354732 .354712 .354692 END 9T;DFUM /=IBK` GOALS ELEM 11 /k O
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