从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

Y\ G^W8  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 l%9nA.M'  
镜片数22片 k<\]={|=  
物高31mm >jBnNA@  
物方数值孔径NA 0.2 JulxFjC  
波长为UV pI{s )|"  
像方晶圆尺寸是12.66mm s*W)BK|+?  
总长小于1200mm N>_d {=P  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 d 3
}'J  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

N3g?gb"Ex)  
      Here is the input for DSEARCH: O"x/O#66  
      CORE 14 TIME R7!^ M  
      DSEARCH 2 QUIET T+|V;nP.  
4C_-MJI  
      SYSTEM 5s2334G  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM ?4}EhXR(  
      OBA 15 31 3 31 r&-Ir3[  
      OSNA .2 TCO vH^^QI:em  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC aXefi'!6  
      END S+C^7# lT  
6'N!)b^-  
      GOALS ELEM 11 Q{Lsr,  
      TOTL 600 .1 5-pz/%,  
      TOPD .01 O[fg
n;@|  
      NPASS 50 VClw!bm  
      QUICK 20 50 GQ
8r5V4:  
      ANNEAL 50 10 Q $0K%H  
      SNAP 10 D;Jb'Be  
      RSTART 1000 DqHVc)9  
      ASTART 25 ,/g\;#:{@]  
      THSTART 12 ~ ]q^Akq  
Cz_chK4  
      FOV 0 .5 .707 1 {1 94u%'  
      FWT 1 1 1 1 END lYu1m  
      SPECIAL PANT hrRX=  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 gaJIc^O  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 E$[\Fk}S  
      CUL 1.6 B$
)6X  
      FUL 1.6 END :22IY>p  
^50/.Z>  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 a;`-LOO5&  
      M 0 .1 A SAP :
[N[D#/z  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END Q(KLx)  
      GO TIME

RfB""b8]=  
     SAVE LEFT11.

hoihdVjv  
     SAVE LEFT11.

(r.{v@h,dV  
      CORE 14 TIME p\8
cl/~  
      DSEARCH 3 QUIET Tf"DpA!_  
G1~|$X@@  
      SYSTEM %f&(U/  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM L/GM~*Xp(O  
      OBB 0 4 83.36 `R^g[0 w'  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END S~F:%@,*  
=D4E
PfQn1  
      GOALS ELEM 11 |b/J$.R  
      TOTL 600 .01 r<O^uz?Di  
      FNUM 1 *ma/_rjK  
      BACK 11 SET 9,'5~+7  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 ?4Z0)%6  
      QUICK 20 50 IO xj$?%l  
      ANNEAL 50 10 Q %~ecrQ;  
      SNAP 10 q'2PG@  
      RSTART 1000 tTyu,%/m  
      ASTART 25 $_Qo  
      THSTART 12 1qUdj[Bj  
im+2)9f  
      FOV 0 .5 .707 1 BPrA*u}T  
      FWT 1 1 1 1 END i:kWO7aP  
      SPECIAL PANT @\!wW-:A  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 q'hV 'U  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ^^?DYC   
      CUL 1.6 ;^DUtr ;  
      FUL 1.6 END !n
j%n  
L238l  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 (4{49b  
      M 0 1 A P HH 1 $hSu~}g  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT 9'toj%XQ  
      M 0 10 A DI3 END R/^JyL  
      GO TIME

k #*|-?  
      SAVE RIGHT11. Pz|qy,  
      SAVE RIGHT11.

Lf0Hz")  
      COMBINE 23 1wc -v@E  
      RIGHT11