从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 sm18u-  
镜片数22片 @,<jPR

.  
物高31mm inW7t2p<s  
物方数值孔径NA 0.2 +c8`N'
~  
波长为UV '6zZ`Ll9  
像方晶圆尺寸是12.66mm NLZ5 5yo$  
总长小于1200mm IYn`&jS{  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 q%,86A>  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

.5 E)dU  
      Here is the input for DSEARCH: r (m3"Xu6O  
      CORE 14 TIME wai3g-`  
      DSEARCH 2 QUIET :[@rA;L  

TqJ @l  
      SYSTEM xR-;,=J  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM ,OlS>>,  
      OBA 15 31 3 31 RrxbsG1HP  
      OSNA .2 TCO N:|``n>  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC ^.J_w  
      END Kjbk zc1  
[xGwqa03  
      GOALS ELEM 11 pwMA,X/{  
      TOTL 600 .1 Zwq\m.h  
      TOPD .01 {n>.Y-=  
      NPASS 50 W(s5mX,Kv  
      QUICK 20 50 >-c?+oy  
      ANNEAL 50 10 Q XrUI[ryE  
      SNAP 10 zgFL/a<  
      RSTART 1000 cQ1[x>OcU  
      ASTART 25 <5L99<E  
      THSTART 12 5H Cw%n9  
r]6+&K
  
      FOV 0 .5 .707 1 1Z0Qkd(  
      FWT 1 1 1 1 END @V>]95R
X  
      SPECIAL PANT gIO_mJ3 u  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 S?Cd,WxT  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 @D[+@N  
      CUL 1.6 #[i3cn  
      FUL 1.6 END ;^JM
X4
[  
s Y4wdG  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 P#3J@aRC  
      M 0 .1 A SAP KCpq<A%  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END W)Mz1v #s  
      GO TIME

w
^cQL%  
     SAVE LEFT11.

'b"7Lzp2  
     SAVE LEFT11.

mYfHBW:  
      CORE 14 TIME P}=n^*8(I  
      DSEARCH 3 QUIET -`\n/"#X6i  
}s"].Xm^2  
      SYSTEM yzl}!& E  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM -ert42fN  
      OBB 0 4 83.36 00SS<iX  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END PYNY1|3  
;FuST  
      GOALS ELEM 11 KbciRRf!k  
      TOTL 600 .01 Myn51pczl  
      FNUM 1 6uUzky  
      BACK 11 SET }Q9+krrow  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 kZ6:=l  
      QUICK 20 50 vV=rBO0a?  
      ANNEAL 50 10 Q eu]qgtg~U  
      SNAP 10 YuHXm3[  
      RSTART 1000 =b"{*Heuw  
      ASTART 25 7/KK}\NE  
      THSTART 12 NBBR>3nt  
(+xT5 2  
      FOV 0 .5 .707 1 u^i3@JuX  
      FWT 1 1 1 1 END y"8,jm  
      SPECIAL PANT uT=5zu  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 n``9H91  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 #}Xsi&:XU  
      CUL 1.6 ang~_Ec.  
      FUL 1.6 END {~#PM>f  
a-nn[j  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 BW3Q03SW6  
      M 0 1 A P HH 1 LOG>x!  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT 5-H"{29  
      M 0 10 A DI3 END B>S>t5$  
      GO TIME

 JJs*2y  
      SAVE RIGHT11. 1A* "v  
      SAVE RIGHT11.

$*:$-  
      COMBINE 23 e_l|32#/  
      RIGHT11