从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 I"GB<oB  
镜片数22片 H- $)3"K  
物高31mm !jTcsN%  
物方数值孔径NA 0.2 5k.oW=  
波长为UV ^0 -:G6H  
像方晶圆尺寸是12.66mm pej|!oX  
总长小于1200mm vd[0X;  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 _ jsK}- \  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

=|Y,+/R?  
      Here is the input for DSEARCH: 6ZP"p<xX  
      CORE 14 TIME \ZkA>oO".  
      DSEARCH 2 QUIET [C'JH//q*t  
R#I0|;q4|p  
      SYSTEM \pVXimam  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM Sn|BlXrey  
      OBA 15 31 3 31 r8xv#r1  
      OSNA .2 TCO Eqj_m|@  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC jWrj?DV,2N  
      END LA}Syt\F  
6}FP  
      GOALS ELEM 11 W>j!Q^?  
      TOTL 600 .1 :0Rx#%u}#  
      TOPD .01 XzE
c2)0'v  
      NPASS 50 GU( _  
      QUICK 20 50 0|{u{w@!`  
      ANNEAL 50 10 Q TOB
]IrW  
      SNAP 10 T[g[&K1Y  
      RSTART 1000 SMpH._VFeE  
      ASTART 25 pu2tY7Ja  
      THSTART 12 ?j"KV_
 
d^{RQ  
      FOV 0 .5 .707 1 aWR}R>E  
      FWT 1 1 1 1 END t%E!o0+8Z  
      SPECIAL PANT =4FXBPoQK  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 0.8
2kl  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 V3^&oe%  
      CUL 1.6 d?A 0MKnl  
      FUL 1.6 END SAy=WV  
h4T5+~rw  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 XovRg,  
      M 0 .1 A SAP cj$[E]B3V*  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END < HVl(O  
      GO TIME

--$ 4Q(#  
     SAVE LEFT11.

snobT Q  
     SAVE LEFT11.

VY |_dk  
      CORE 14 TIME /|C*  
      DSEARCH 3 QUIET 1Q<^8N)pf  
CDQW !XHc  
      SYSTEM -p]1=@A<}  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM TO]@ Zu1  
      OBB 0 4 83.36 $u]jy0X<Y;  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 4T|b Cs?e  
c;Pe/d  
      GOALS ELEM 11 6-$jkto  
      TOTL 600 .01 TaKLzd2  
      FNUM 1 itBwCIjG  
      BACK 11 SET hT`J1nNt  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 v+46QK|I&  
      QUICK 20 50 le/,R@]B9  
      ANNEAL 50 10 Q +B B@OW  
      SNAP 10 ?!A7rb/tj  
      RSTART 1000 ;oW6 NJ  
      ASTART 25 Z}mLLf E  
      THSTART 12 "p_J8  
dJJP3}M/  
      FOV 0 .5 .707 1 7}f}$1   
      FWT 1 1 1 1 END SUC
Mb8  
      SPECIAL PANT ,?8qpEG~#+  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 x@P y>f2  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 %b&".mN  
      CUL 1.6 vK|E>nL  
      FUL 1.6 END +ga k#M"n\  

g!@<n1 L  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ~.{/0T  
      M 0 1 A P HH 1 LClNxm2X  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT ] o*#t  
      M 0 10 A DI3 END n0r+A^]  
      GO TIME

K1mPr^3rC  
      SAVE RIGHT11. 0b+Wc43}K  
      SAVE RIGHT11.

mHV%I@`Y6  
      COMBINE 23 `Nz/Oh7  
      RIGHT11