从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 &YDK (&>  
镜片数22片 D1nq2GwS  
物高31mm U35AX9/  
物方数值孔径NA 0.2 `GXkF:f=  
波长为UV 3BpZX`l*p  
像方晶圆尺寸是12.66mm Z'H5,)j0R  
总长小于1200mm Agrp(i"\@  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 D5~n/.B"  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

nYbhy}y  
      Here is the input for DSEARCH: k1VT /u  
      CORE 14 TIME j[Uxa  
      DSEARCH 2 QUIET 8( btZt  
#$3yz'"QF  
      SYSTEM =V"(AuCVE  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM y1=NF  
      OBA 15 31 3 31 *Sh^J+j  
      OSNA .2 TCO r=c<--_@  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC =!m}xdTP  
      END )G7=G+e;  
wCk
~CkC?  
      GOALS ELEM 11 k
i>~H!zB  
      TOTL 600 .1 9;
xM%  
      TOPD .01 <9>vO,n  
      NPASS 50 GUQ{r!S  
      QUICK 20 50 gl).cIpw  
      ANNEAL 50 10 Q R-^96fFBy  
      SNAP 10 9M"].~iNE  
      RSTART 1000 S.!UPkWH  
      ASTART 25 O0>A+o[1F  
      THSTART 12 zS]8V?`  
w\}?(uO  
      FOV 0 .5 .707 1 Zf5`XslA.  
      FWT 1 1 1 1 END -[L!3jU  
      SPECIAL PANT ~H6r.:]  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 UJs$q\#RO  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 xJ2*LM-  
      CUL 1.6
$wYFEz  
      FUL 1.6 END ^9-&o  
=vT<EW}[  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 {-BRt)L[  
      M 0 .1 A SAP CIVnCy z  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END fh^lO ^  
      GO TIME

}KhjlPhx  
     SAVE LEFT11.

OCy0
#aPRS  
     SAVE LEFT11.

+y 87~]]  
      CORE 14 TIME X,8<oX1r  
      DSEARCH 3 QUIET Z0De!?ALV\  
>MJg ,  
      SYSTEM >%E([:$A  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM fSDi-I  
      OBB 0 4 83.36 s_.]4bl.8  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END "7>>I D  

h d~$WV0#  
      GOALS ELEM 11 tRpEF2  
      TOTL 600 .01 Ap{}^  
      FNUM 1  fI\
9\x  
      BACK 11 SET :fk2]{KTL  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 U}SXJH&&E  
      QUICK 20 50 oUQ07z\C  
      ANNEAL 50 10 Q 4em;+ >D6  
      SNAP 10 ?OdJqw0,G  
      RSTART 1000 09o~9
z0  
      ASTART 25 Q !qrNa6  
      THSTART 12 )6~1 ^tD  
;v  
      FOV 0 .5 .707 1 j]0^y}5f+s  
      FWT 1 1 1 1 END /J)l
/oI  
      SPECIAL PANT #E0t?:t5bk  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 qNyzU@  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 T!W~n ZC  
      CUL 1.6 kqG0%WtQ  
      FUL 1.6 END BK
,sc'b  
.k4W_9  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 LflFe@2  
      M 0 1 A P HH 1 w#i[_  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT @5) 8L/[l  
      M 0 10 A DI3 END $>U# W:  
      GO TIME

}B7K@Wu#  
      SAVE RIGHT11. 2}?wYI*:5|  
      SAVE RIGHT11.

W\f9jfD  
      COMBINE 23 t0:AScZY   
      RIGHT11