从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 a%YohfsY?U  
镜片数22片 9aoGptgN  
物高31mm 3:g~@PB  
物方数值孔径NA 0.2 ~PZIYG"D  
波长为UV 4:0y\M5u  
像方晶圆尺寸是12.66mm U(6=;+q  
总长小于1200mm HU1ZQkf  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 o+0x1Ct3P  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

X/qLg+X  
      Here is the input for DSEARCH: PdD,~N#  
      CORE 14 TIME uGz>AW8a3  
      DSEARCH 2 QUIET ;oM7H*WC  
s&)>gE\  
      SYSTEM N<e72x  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM E[a|.lnV  
      OBA 15 31 3 31 1m4Xl%KS>  
      OSNA .2 TCO o,gH*  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC *Sw1
b7l  
      END 3/s" ;Kg,  
x='T`*HD  
      GOALS ELEM 11 nXJG4$G  
      TOTL 600 .1 sNHxUI  
      TOPD .01 6d{&1-@>  
      NPASS 50 U-ADdOh"q  
      QUICK 20 50 J^gElp  
      ANNEAL 50 10 Q )WH;G:
$&"  
      SNAP 10 Ql]+,^kA@  
      RSTART 1000 Ka/*Z4"  
      ASTART 25 :lE_hY  
      THSTART 12 FNR<=M  
(RU\a]Ry  
      FOV 0 .5 .707 1 ?2nF1>1  
      FWT 1 1 1 1 END T=,A pa  
      SPECIAL PANT {?RVw`g&f  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 %U?1Gf e  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 <! Z06  
      CUL 1.6 B&rw R/d  
      FUL 1.6 END jxqKPMf>@%  
\(`8ng]vs  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 d}^G790  
      M 0 .1 A SAP h/pm$9A  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END ?aWMU?S  
      GO TIME

{'a
|$u+  
     SAVE LEFT11.

H&SoVi_V  
     SAVE LEFT11.

y8j6ttQv=t  
      CORE 14 TIME e#odr{2#4u  
      DSEARCH 3 QUIET YhQ%S}  
GyF  
      SYSTEM p6X-P%s  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM CK9FAuU  
      OBB 0 4 83.36 kp3%"i&hD  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END %:}o\ _w  
b_Dd$NC  
      GOALS ELEM 11 VT [T
E  
      TOTL 600 .01 +3[8EM#g  
      FNUM 1 :Z&<5  
      BACK 11 SET 5@_kGoqd  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 fM`.v+  
      QUICK 20 50 /m|U2rrqb  
      ANNEAL 50 10 Q  &4{!5r  
      SNAP 10 Ajm4q_
  
      RSTART 1000 lWakyCS  
      ASTART 25 u{&#Gci  
      THSTART 12 x|$|~6f=n  
0k G\9  
      FOV 0 .5 .707 1 ^Lv)){t  
      FWT 1 1 1 1 END UDW_?SHAx  
      SPECIAL PANT L+8{%\UPd  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 m "96%sB  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 $wC'qV *  
      CUL 1.6 ;EQ7kuJQ?  
      FUL 1.6 END nJ}@9v F/  
G!+Mu2  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 Y@Ur}  
      M 0 1 A P HH 1
>hY.F/[  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT @{"?fqo  
      M 0 10 A DI3 END E>iN>  
      GO TIME

zGNmc7  
      SAVE RIGHT11. G#fF("Ndu`  
      SAVE RIGHT11.

@b!W8c6  
      COMBINE 23 yy Y\g  
      RIGHT11