从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 pq5)Ug  
镜片数22片 lO, 2  
物高31mm \)BKuIP  
物方数值孔径NA 0.2 #`"'  
波长为UV N5/TV%u  
像方晶圆尺寸是12.66mm \g4\a?i  
总长小于1200mm *MagicA  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 Wc3!aLNx  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

]^ O<WD  
      Here is the input for DSEARCH: ciC4V^f  
      CORE 14 TIME uy\YJ.WMQ  
      DSEARCH 2 QUIET !+
)$;`  
s*9tWSd  
      SYSTEM A#1y
>k  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM /LSiDys  
      OBA 15 31 3 31 !hH6
!G  
      OSNA .2 TCO 7 oZ-D~3  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC Y_/Kd7,\~  
      END UjKHGsDi4  
N[pk@M\vX  
      GOALS ELEM 11 _ux6SIyp`  
      TOTL 600 .1 1}jE?{V*  
      TOPD .01 ^|sxbP  
      NPASS 50 dN*<dz+4r  
      QUICK 20 50 %oor7 -l  
      ANNEAL 50 10 Q La9@h"  
      SNAP 10 %7|qnh6  
      RSTART 1000 P`bR;2o  
      ASTART 25 g<.8iW 'c  
      THSTART 12 &tRnI$D  
<K\F/`c  
      FOV 0 .5 .707 1 P;_dilG  
      FWT 1 1 1 1 END :&:>sd(QD  
      SPECIAL PANT G,"$Erx  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 W' 2)$e  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 +mxYz#reX  
      CUL 1.6 %ANPv=  
      FUL 1.6 END h,p&/oU4U  
^cAJCbp7  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 oNCDG|8z  
      M 0 .1 A SAP _SFD}w3b$  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END @pS[_!EqYz  
      GO TIME

?=4t~\g?  
     SAVE LEFT11.

11-uJVO~*  
     SAVE LEFT11.

*xjIl<`pK  
      CORE 14 TIME #xo&#FIH  
      DSEARCH 3 QUIET ,pG63&?j  
PQ(%5c1e  
      SYSTEM plIx""a^h  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM dk]ro~ [  
      OBB 0 4 83.36 !*ucVv;  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END <?7~,#AK  
6FmgK"t8  
      GOALS ELEM 11 Qv=Z  
      TOTL 600 .01 ,Z^GN%Q7a  
      FNUM 1 ?-Z:N`YP  
      BACK 11 SET [}Iq-sz;0  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 DtS{iH=s]  
      QUICK 20 50 nc{<v  
      ANNEAL 50 10 Q `&6]P:_qp  
      SNAP 10 gjWH }(K  
      RSTART 1000 W P&zF$  
      ASTART 25 f:0n-me  
      THSTART 12 E,$uNw']  
~zX5}U<R  
      FOV 0 .5 .707 1 %jf gncW  
      FWT 1 1 1 1 END .WPqK>79|  
      SPECIAL PANT ~S6N'$^  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 e_;6UZ+  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 .0ZvCv:>  
      CUL 1.6 $g^;*>yr  
      FUL 1.6 END `qgJE_GC  
?C{N0?[P-  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 qTGy\i  
      M 0 1 A P HH 1 X[ (J!"+  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT [)u(\nfGX  
      M 0 10 A DI3 END lq5E?B  
      GO TIME

)1,&YJM*6l  
      SAVE RIGHT11. `!8Z"xD  
      SAVE RIGHT11.

c%!wKoD  
      COMBINE 23 d!:SoZ  
      RIGHT11