从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 `[\*1GpAo  
镜片数22片 !FOPFPn  
物高31mm #UGtYD}"  
物方数值孔径NA 0.2 'T@K$xL8  
波长为UV t{?UNW  
像方晶圆尺寸是12.66mm i-!Z/,oL  
总长小于1200mm Q`ERI5b6  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 sl^i%xJ|l'  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

^44AE5TO  
      Here is the input for DSEARCH: 3DRbCKNL  
      CORE 14 TIME VyK]:n<5Q  
      DSEARCH 2 QUIET TTcMIMyLT  
~6!{\un   
      SYSTEM Y%!3/3T  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM D*3\4=6x  
      OBA 15 31 3 31 c"R`7P  
      OSNA .2 TCO w^tNYN,i  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC [su2kOX|X  
      END VD+TJ` r  
8v)pPJr  
      GOALS ELEM 11 A,-UW+:  
      TOTL 600 .1 SPKGbp&  
      TOPD .01 aWhhq@  
      NPASS 50 A `\2]t$z  
      QUICK 20 50 ,Zs:e.  
      ANNEAL 50 10 Q 68 d\s4  
      SNAP 10 (UWP=L1  
      RSTART 1000 8 PI>Q  
      ASTART 25 }.O,P'k  
      THSTART 12 WCxt-+#  
88~BE ^  
      FOV 0 .5 .707 1 B0I(/ 7  
      FWT 1 1 1 1 END mmP>Ji  
      SPECIAL PANT K~gt=NH  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 CuRYtY@9  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 [)U|HnAJ  
      CUL 1.6 y7aBF13Kl  
      FUL 1.6 END vU&I,:72 H  
=YlsJ={h  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 I3uS?c  
      M 0 .1 A SAP 82#7TX4  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END ^qXc%hjg  
      GO TIME

9%aBW7@SK  
     SAVE LEFT11.

&~oBJar  
     SAVE LEFT11.

EGWm0 F_  
      CORE 14 TIME $ )q?z.U  
      DSEARCH 3 QUIET o/273I  
) jBPt&  
      SYSTEM ^g/   
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM Hq'mv_}qG  
      OBB 0 4 83.36 WVDkCo@  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END 0NlC|5ma)  
\fG?j@Qx  
      GOALS ELEM 11 ${\iHg[vZ  
      TOTL 600 .01 SYkLia(Ty  
      FNUM 1 tA'O66.  
      BACK 11 SET 3>FeTf#:  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 h^ wu8E  
      QUICK 20 50 BUR96YN.  
      ANNEAL 50 10 Q \IB@*_G  
      SNAP 10 $<R\|_6J  
      RSTART 1000 Do-~-d4  
      ASTART 25 gZbC[L  
      THSTART 12 !p$z8~  
"w3#2q&  
      FOV 0 .5 .707 1 i>Wsc?  
      FWT 1 1 1 1 END A/eZnsk  
      SPECIAL PANT J`/t;xk  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 ()K,~  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 67Z@Hg  
      CUL 1.6 ;"/[gFD5u  
      FUL 1.6 END "b)Y5[nW  
;tK%Q~To  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 F*""n  
      M 0 1 A P HH 1 [Q(FBoI|  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT dO/iL7K&  
      M 0 10 A DI3 END z7B>7}i-  
      GO TIME

kY d'6+m  
      SAVE RIGHT11. hRK&  
      SAVE RIGHT11.

(bpO>4(S  
      COMBINE 23 _}8hEv  
      RIGHT11