从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

CMbID1M3  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 a'Odw2Q_  
镜片数22片 "fhQ{b$i  
物高31mm -zJV(`  
物方数值孔径NA 0.2 *,:2O&P  
波长为UV <8? F\x@  
像方晶圆尺寸是12.66mm %O#zE-H"  
总长小于1200mm O
vwoU=u  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 6bjZW ~  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

4|5;nxkGm8  
      Here is the input for DSEARCH: H<q|je}e  
      CORE 14 TIME >Z3>  
      DSEARCH 2 QUIET nVgvn2N/  
;r6YIS4@  
      SYSTEM c/^:vTF  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM <P0 P*>M  
      OBA 15 31 3 31 fJ _MuAv  
      OSNA .2 TCO W)]&G}U<  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC 4Y3@^8h&=  
      END T95FoA  
[Y.JC'F#  
      GOALS ELEM 11 rr(kFQ"  
      TOTL 600 .1 gpzFY"MS=  
      TOPD .01 %uV,p!| )  
      NPASS 50 :8}Qt^p  
      QUICK 20 50 Eu
l3 {+]  
      ANNEAL 50 10 Q hJ[keaO  
      SNAP 10 6|n3Q$p  
      RSTART 1000 "SQyy  
      ASTART 25 3Rsrb  
      THSTART 12 {g1R?W\LZ  
t.RDS2N|  
      FOV 0 .5 .707 1 aQY.96yo  
      FWT 1 1 1 1 END _7;G$\^&.  
      SPECIAL PANT lFcHE c  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 @gf <%>  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 b%"/8rK  
      CUL 1.6 IDqUiN  
      FUL 1.6 END Iix:
Y}  
i,Z-UA|f=T  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 QhRj*,  
      M 0 .1 A SAP EW4a@  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END + `'wY?  
      GO TIME

jVGAgR=[G  
     SAVE LEFT11.

&,Loqr  
     SAVE LEFT11.

uX{g4#eG  
      CORE 14 TIME >,k2|m  
      DSEARCH 3 QUIET =x(k)RTDu  
)w&|VvM )L  
      SYSTEM (M{wkQTO  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM }7{(o-  
      OBB 0 4 83.36 :nqDX  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END Y Kp@n8A  
mKV31wvK}  
      GOALS ELEM 11 o@j!JI&  
      TOTL 600 .01 `-b{|a J  
      FNUM 1 'aD"v>  
      BACK 11 SET {(F}SF{  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 yEJ3O^(F  
      QUICK 20 50 VB8eGMo  
      ANNEAL 50 10 Q asp\4-?$o  
      SNAP 10 sH1ucZ>9Y  
      RSTART 1000 XPt>klf  
      ASTART 25 t)k;5B`> &  
      THSTART 12 PV=sqLM~  
oHSDi  
      FOV 0 .5 .707 1 ix?Z:pIS0  
      FWT 1 1 1 1 END 9M|#X1r{%{  
      SPECIAL PANT ab)ckRC  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 km lb,P  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 +[S<"}ls7  
      CUL 1.6 z?`7g%Z?{  
      FUL 1.6 END 7+[L6q/K  
]:?hU^H]<  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 Sw[*1C8  
      M 0 1 A P HH 1 $mf6!p4  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT Dp^=%F{t  
      M 0 10 A DI3 END qla=LS\-A+  
      GO TIME

B*QLKO:)i  
      SAVE RIGHT11. s6 K~I  
      SAVE RIGHT11.

^QHgc_oDm  
      COMBINE 23 = 4'r+2[  
      RIGHT11