从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

8#{DBWU  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 l+
UUv]:1  
镜片数22片  Tb[1\  
物高31mm s# 9*`K  
物方数值孔径NA 0.2 \Q!
I;  
波长为UV lDX\"Fq  
像方晶圆尺寸是12.66mm 1!
=^mu8  
总长小于1200mm a;h.I}*]  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 (MGYX_rD  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

2X,`t%o  
      Here is the input for DSEARCH: 0@tN3u?dx  
      CORE 14 TIME 0,]m.)ws  
      DSEARCH 2 QUIET TY`t3  
VsQ~Y,7  
      SYSTEM wj2z?0}o  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM 0a}a  
      OBA 15 31 3 31 O63:t$Yx#  
      OSNA .2 TCO };;k5z I%  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC J|aU}Z
8m  
      END l2ARM3"  
d` X1cG  
      GOALS ELEM 11 ?0x=ascP  
      TOTL 600 .1 w(oi6kg  
      TOPD .01 k@[{_@>4^  
      NPASS 50 8)ykXx/f@  
      QUICK 20 50 P[%nD cB  
      ANNEAL 50 10 Q ^N&@7s  
      SNAP 10 'w8p[h (,  
      RSTART 1000 '\% Kd+k  
      ASTART 25 O^~Z-;FA  
      THSTART 12 2_GbK-  
Q#5~"C  
      FOV 0 .5 .707 1 c->.eL%   
      FWT 1 1 1 1 END eL_Il.:  
      SPECIAL PANT ?Q~o<%U7  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 [?55vYt  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 x K ;#C  
      CUL 1.6 Z</57w#-7  
      FUL 1.6 END
KA? J:  
uqvS  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 Z 5 Xis"j  
      M 0 .1 A SAP =`ECM7  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END O?t49=uB}  
      GO TIME

^Rb*m
I  
     SAVE LEFT11.

zG)vmysJf  
     SAVE LEFT11.

U&W/Nj  
      CORE 14 TIME wpg7xx!  
      DSEARCH 3 QUIET /s@j{*Om  
WO
Q>]Z  
      SYSTEM  }=d}q *  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM 6[,7g&C  
      OBB 0 4 83.36 yRR[M@Y  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END bT^(D^  
srhI%Zj  
      GOALS ELEM 11 P~;1adi3  
      TOTL 600 .01 EE-wi@  
      FNUM 1 V8rS~'{\  
      BACK 11 SET lS]6SkZ6  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 c{j)beaS  
      QUICK 20 50 u\(>a  
      ANNEAL 50 10 Q av bup  
      SNAP 10 c8Nl$|B  
      RSTART 1000 Q<Qd*v&-  
      ASTART 25 +ryB
*nT  
      THSTART 12 0),fY(D2T  
$Lz!04  
      FOV 0 .5 .707 1 mD%IHzbn H  
      FWT 1 1 1 1 END 3+&k{UZjt  
      SPECIAL PANT P$.$M}rMv  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 2({|LQqk  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 OAaLCpRp  
      CUL 1.6 eo~b]D  
      FUL 1.6 END `Hqgahb{P  
?2q0[T?e  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 UrO&K]Z  
      M 0 1 A P HH 1 -O\fy!  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT dL~^C I  
      M 0 10 A DI3 END [?bq4u`  
      GO TIME

_WZ{i,  
      SAVE RIGHT11. AH?[K,3  
      SAVE RIGHT11.

^r,0aNzAs  
      COMBINE 23 bB)$=7\  
      RIGHT11