从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件
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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 90a!_8o
镜片数22片 7) x 788Z6
物高31mm +,4u1 `c|$
物方数值孔径NA 0.2 fvV5G,lD3h
波长为UV s)kr=zdyo
像方晶圆尺寸是12.66mm #sf1,k5 '
总长小于1200mm BIjkW.uf
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 FBA th
!E
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： OT 3~5j1[
Here is the input for DSEARCH: [T2!,D.
CORE 14 TIME AK$i0Rn;pm
DSEARCH 2 QUIET AaDMX,
AhNz[A
SYSTEM Lr(My3vF8q
ID DSEARCH LEFT UNI MM ] P4?jKI
OBA 15 31 3 31 B[7Fq[.mh
OSNA .2 TCO a ydf# [F
WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC mFuHZ)iQG
END <s (o?U
C ?aa )H
GOALS ELEM 11 7n'Ww=ttI
TOTL 600 .1 FN D+Ok&
TOPD .01 f2i9UZ$=e!
NPASS 50 Vx=tP.BO]
QUICK 20 50 6oq/\D$6~
ANNEAL 50 10 Q ##yH*{/&
SNAP 10 8 v<*xy
RSTART 1000 -b'/}zz
ASTART 25 :eR\0cn
THSTART 12 En YEAjX
e 3%dNa
FOV 0 .5 .707 1 Mdy4H [Odq
FWT 1 1 1 1 END +-Miei Kv
SPECIAL PANT q.d
qr<
CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 cwI3ANV
FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 &bCk`]j:
CUL 1.6 tjcG^m} _
FUL 1.6 END X;yThb` iI
Wf-P a9
SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 V6r*fEhrT_
M 0 .1 A SAP O|0,=
5
M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END LOe l6Ui
GO TIME r< _qU3Eaj
lQ?_1H~4=
返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。 m~8=?R+m
使用命令为： mC!^`y)
SAVE LEFT11. ePiZHqIsv/
7y=1\KW(
SAVE LEFT11. j.SE'a_
3u1\zse
现在激活ACON 2，我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组，输入命令如下： (bGk=q=M
CORE 14 TIME WTu1t]
DSEARCH 3 QUIET ~Da-|FKa>
F tybF
SYSTEM 3ZX#6*(}2
ID DSEARCH RIGHT UNI MM 88A,ll %
OBB 0 4 83.36 nF=[m; ~
WAVL .354732 .354712 .354692 END E#c9n%E\sz
iq3TP5%i
GOALS ELEM 11 <O~ieJim
TOTL 600 .01 x3 01uf[
FNUM 1 h%Uq
BACK 11 SET P +Sgbtc
TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 FdS'0#$
QUICK 20 50 (iY2d_FQ[
ANNEAL 50 10 Q ]1|OQYG
SNAP 10 }}4uLGu)
RSTART 1000 s m qUFo
ASTART 25 Ft?Y c 5
THSTART 12 $~'G<YYF4
t7,** $ST
FOV 0 .5 .707 1 fY 1 0a_@x
FWT 1 1 1 1 END ]N6UY
SPECIAL PANT /7K7o8g
CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 N'I9J?e Q
FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 *I` Eb7
^
CUL 1.6 8D`TN8[W
FUL 1.6 END 5YQJNP
%=i/MFGX
SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 mN 'sJ1L-
M 0 1 A P HH 1 WM GiV
M 0 10 A P YA 1 S GIHT ,A>cL#Oe
M 0 10 A DI3 END M#xol/)h
GO TIME )wk9(|[o
s"X0Jx}
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令： ]NY^0SqM
SAVE RIGHT11. o> yo9n%t
SAVE RIGHT11. X^d}eWP`I
A}sdi4[`
现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1，并输入：
S
vW{1
COMBINE 23 "tmr
s_~
RIGHT11 +jj] tJ$[
J&;' gT
现在它们被合并成了一个镜头。 M&0U@ r -
现在它们被合并成了一个镜头。 0|]qW cD
现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。 +l>X Z
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 Q-||A
很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 @mEB=X(-l=
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