从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

Yl~$V(  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 Iyyo3awc  
镜片数22片 F.?01,J=1  
物高31mm Qs l80~n_7  
物方数值孔径NA 0.2 :3^dF}>  
波长为UV ,hWcytzEw  
像方晶圆尺寸是12.66mm ZVL gK}s
 
总长小于1200mm {E51Kv&_  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 pDn&V(  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

g
*y/j]  
      Here is the input for DSEARCH: 99u/fkL  
      CORE 14 TIME b9uBdo@o  
      DSEARCH 2 QUIET u1^\
MVO8
 
OxQYNi2  
      SYSTEM 'wvMH;}u  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM Jf_%<\ O  
      OBA 15 31 3 31 Y5Z!og  
      OSNA .2 TCO ;iU%Kt  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC ] 8Tzr  
      END }G'XkoI&  
\|%E%Yc
 
      GOALS ELEM 11 ORBxD"J&  
      TOTL 600 .1 :, _!pe;H  
      TOPD .01 dJi|D  
      NPASS 50 /e1(? 20  
      QUICK 20 50 sbnjy"Z%  
      ANNEAL 50 10 Q dZ]Rqr _!  
      SNAP 10 ,Dp0fauJ  
      RSTART 1000 qTM%G-  
      ASTART 25 aSL6zye ,  
      THSTART 12 %;|
0  
W~ruN4q.  
      FOV 0 .5 .707 1 J,5+47b1}R  
      FWT 1 1 1 1 END fu4!t31  
      SPECIAL PANT 1nI^-aQ3  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 ER^QV(IvP8  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 o
pp!0:jS*  
      CUL 1.6 U~H?4Izl=  
      FUL 1.6 END F!yV8XQ  
+,5-qm)Gh>  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 =a$Oecg?  
      M 0 .1 A SAP |PP.<ce\-  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END 0.Vi97`  
      GO TIME

!{Z~<Ky  
     SAVE LEFT11.

Vn|1v4U!  
     SAVE LEFT11.

(= ;N{u  
      CORE 14 TIME A.En+-[\  
      DSEARCH 3 QUIET lzhqcL"  
73F5d/n  
      SYSTEM Eu,`7iQ?(  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM uQ/h'
v  
      OBB 0 4 83.36 :50b8  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END yI3kvh  
*%gF2@=r8F  
      GOALS ELEM 11 BVpO#c~I  
      TOTL 600 .01 ,[!LCXp  
      FNUM 1 EWjgI_-  
      BACK 11 SET 09h.1/  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 W?Ww2Lo%Y  
      QUICK 20 50 szmmu*F,U:  
      ANNEAL 50 10 Q s?C&s|'.  
      SNAP 10 {38bv.3'  
      RSTART 1000 tTanW2C  
      ASTART 25 1AD]v<M  
      THSTART 12 W+=o&V  

A1i!F?X  
      FOV 0 .5 .707 1
>m6&bfy\q  
      FWT 1 1 1 1 END (k?7:h  
      SPECIAL PANT K8I$]M  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 mUoIJ3fv_,  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 3V<&|  
      CUL 1.6 Y.6SOu5$]  
      FUL 1.6 END c&nh>oN  
j\&pej  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 s1j{x&OSq  
      M 0 1 A P HH 1 #0Ds'
pE-  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT +^|iZbZKx  
      M 0 10 A DI3 END b #fTAC;<  
      GO TIME

[g|Y7.j8  
      SAVE RIGHT11. MXtkP1A`  
      SAVE RIGHT11.

rNDrp@A>  
      COMBINE 23 wq!iV |  
      RIGHT11