从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 28 zZ3|Z3  
镜片数22片 7R,;/3wWjG  
物高31mm #oN}DP
 
物方数值孔径NA 0.2 |+qsO;  
波长为UV 35:R
sL  
像方晶圆尺寸是12.66mm moZeP#Q%  
总长小于1200mm u~~ ~@p  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。
{~XAg~  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

_v++NyZXx  
      Here is the input for DSEARCH: |\94a  
      CORE 14 TIME QvJ29  
      DSEARCH 2 QUIET &}\{qFD;  
}nSu7)3$B  
      SYSTEM [&(~1C|C  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM S>jOVWB  
      OBA 15 31 3 31 86a,J3C[  
      OSNA .2 TCO Zqb*-1Qw"*  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC MeAY\V%G=o  
      END }rF4M1+B\  
$9u:Ox 2  
      GOALS ELEM 11 -z%->OUu  
      TOTL 600 .1 *w/N>:V0p  
      TOPD .01 3_]QtP3  
      NPASS 50 '}-QZ$|*  
      QUICK 20 50 at1oxmy  
      ANNEAL 50 10 Q {XwDvLZ  
      SNAP 10 IYa(B+nB)  
      RSTART 1000 _,igN>  
      ASTART 25 LLbI}:  
      THSTART 12 Dn#UcMO>W  
-#R63f&  
      FOV 0 .5 .707 1 md|I?vk  
      FWT 1 1 1 1 END j,z)x[3}  
      SPECIAL PANT XXeDOrb  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 r>.l^U9hJ  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 G&4D0f  
      CUL 1.6 _xnJfW_  
      FUL 1.6 END 5'%O]~  
qac:"z'9  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 0wAB;|~*62  
      M 0 .1 A SAP `G=+qti  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END ==trl#kQ%%  
      GO TIME

T7l,}G  
     SAVE LEFT11.

g4;|uK;  
     SAVE LEFT11.

NGZtlNvh  
      CORE 14 TIME *z_`$Y
  
      DSEARCH 3 QUIET #Yy5@A}`o  
/q/^B>]  
      SYSTEM rA@|nL{  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM qoW$Iw*q)B  
      OBB 0 4 83.36 ?}EWfs
A  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END UQWv)  
-^8Oj
Gat  
      GOALS ELEM 11 >y!O_@>z  
      TOTL 600 .01 A{\DzUV9,  
      FNUM 1 L:Faq1MG  
      BACK 11 SET "cbJ{ G1pk  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 B}aW y&D  
      QUICK 20 50 A>(EM}\,  
      ANNEAL 50 10 Q "j.Q*Hazg  
      SNAP 10 Urksj:N  
      RSTART 1000 /gn\7&=P  
      ASTART 25 -x?|[ +%  
      THSTART 12 *Tmqs@L  
 }"q#"s  
      FOV 0 .5 .707 1
0/cgOP!^  
      FWT 1 1 1 1 END 6.a>7-K}%  
      SPECIAL PANT kHQn'r6  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 &]anRT#  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 nppSrj?  
      CUL 1.6 L$jii  
      FUL 1.6 END &?gcnMg$,J  
#;m^DX QZn  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 s"8z q;)  
      M 0 1 A P HH 1 OSom-?|w  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT CM`Q((  
      M 0 10 A DI3 END 'z+Pa^)v  
      GO TIME

f,BJb+0  
      SAVE RIGHT11. `G>|g^6%i  
      SAVE RIGHT11.

NCm=l  
      COMBINE 23 m 7+=w>o  
      RIGHT11