从零开始设计的微光刻透镜:SYNOPSYS 光学设计软件
x35cW7R}T_ 你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 YW\0k5[ 镜片数22片 <#GB[kQa 物高31mm D}C,![ 物方数值孔径NA 0.2 C[!MS5 波长为UV ORXm&z) 像方晶圆尺寸是12.66mm l7{oi! 总长小于1200mm 7R#+Le) 这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 .`<@m]m- 首先,我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: z7M_1%DEx Here is the input for DSEARCH: ml|W~-6l CORE 14 TIME [YrHA~=U DSEARCH 2 QUIET ~ 9)"! Vm}%ttTC SYSTEM $;M:TpX ID DSEARCH LEFT UNI MM h7*W*Bd OBA 15 31 3 31 5]I| DHmu OSNA .2 TCO ]u l$* WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC r;L>.wl*I END -Y
Bd, k3 iy.2A!f^. GOALS ELEM 11 Ghl'nqPlm TOTL 600 .1 AcI,N~~ TOPD .01 /xGmg`g<# NPASS 50 joKIrS0y QUICK 20 50 o&AM2U/? ANNEAL 50 10 Q -[U1]R SNAP 10 pj4!:{.; RSTART 1000 -V,v9h^ ASTART 25 ;S0Kh"A THSTART 12 A;\7|'4 OO?]qZa1 FOV 0 .5 .707 1 I$E.s*B9 FWT 1 1 1 1 END b@3_L4~ SPECIAL PANT Y6,Rj:8 CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 &E xYXI FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 N]KxAttt CUL 1.6 Mu'8;9_6 FUL 1.6 END [=B$5%A [,2|Flf
e SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 <mi-}s M 0 .1 A SAP .h0b~nI>> M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END /Q~gU< GO TIME &Tl
0Pf %dQxJMwj 返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。 ` PYJ^I0 使用命令为: dl hdsj: SAVE LEFT11. Z|%_oR~b|
>``MR%E:< SAVE LEFT11. T\w?$ s Y0D}g3` 现在激活ACON 2,我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组,输入命令如下: PJ cwH6m CORE 14 TIME gTA%uRBa DSEARCH 3 QUIET JaB<EL-9r2 P!"&%d SYSTEM dCj,b$ ID DSEARCH RIGHT UNI MM @as"JAN OBB 0 4 83.36 _`64gS}^ WAVL .354732 .354712 .354692 END BD`2l!d t3dlS`O GOALS ELEM 11 $Y5)( TOTL 600 .01 $.9{if#o& FNUM 1 4)1s M=u BACK 11 SET keB&Bjd& TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 {uGP&cS~( QUICK 20 50 KiJT!moB ANNEAL 50 10 Q oh$Q6G SNAP 10 Ur*6Gi6 RSTART 1000 =m5SK5vLKT ASTART 25 vDH>H^9Y THSTART 12 X/N0LU(q 'Ysx= FOV 0 .5 .707 1 rk)##) FWT 1 1 1 1 END sg+uBCGB SPECIAL PANT Z!U)I-x& CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 %;.;>Y(- FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 !qX_I db\ CUL 1.6 sJ]taY ou FUL 1.6 END :O(^w}sle ?s:d[To6 SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 `[C!L *#, M 0 1 A P HH 1 bT&: fHc M 0 10 A P YA 1 S GIHT F^hBtfz M 0 10 A DI3 END `F/Tv 5@L GO TIME Vb9',a?#n 6 ~>FYX 结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令: U^Xm)lL SAVE RIGHT11. ij? SAVE RIGHT11. /PLn+- gB<3-J1R 现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1,并输入: `3:.??7N COMBINE 23 ?:w1je7 RIGHT11 fJ ,1Ef;Z YX`7Hm, 现在它们被合并成了一个镜头。 [o?*"c 现在它们被合并成了一个镜头。 %JLk$sP9y` 现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏,修改TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。 5|1T}Z#; 我们有了一个非常好的微光刻镜头。 clk[ /'1 很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 1bH;!J uJ6DO#d`P X=>=5'
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