从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

7bYwh8  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 o;c"-^>  
镜片数22片 Fepsa;\sU  
物高31mm >-c?+oy  
物方数值孔径NA 0.2 pYcs4f!?p  
波长为UV zgFL/a<  
像方晶圆尺寸是12.66mm Wm1dFf.>  
总长小于1200mm e oE)Mq  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 >4@w|7lS  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

NtGJpT4YX  
      Here is the input for DSEARCH: -f
?  
      CORE 14 TIME Lvt3S .l  
      DSEARCH 2 QUIET ,|O6<u9  
QcWg  
      SYSTEM Wx}-H/t'2  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM >Ec;6V e  
      OBA 15 31 3 31 st??CX2  
      OSNA .2 TCO v,opyTwG|  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC <LZ#A@]71  
      END )z&C&Gqz  
e 6wevK\  
      GOALS ELEM 11 ")9^  
      TOTL 600 .1 oM1C/=8   
      TOPD .01 ) YB'W_  
      NPASS 50 N5W!(h)  
      QUICK 20 50 DN%JT[7  
      ANNEAL 50 10 Q 4,@jSr|I3i  
      SNAP 10 #e=E  
      RSTART 1000 Cn=#oE8
(A  
      ASTART 25 S['rTuk  
      THSTART 12 3 }sy{Mx%9  
cY+fZ=  
      FOV 0 .5 .707 1 w15a~\Qu  
      FWT 1 1 1 1 END VN09g&  
      SPECIAL PANT 43g1/,klm  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 I]+OYWp  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 EPwU{*F  
      CUL 1.6 N G vb]  
      FUL 1.6 END 'h;qI&  
[g`4$_9S  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 mS}.?[d"  
      M 0 .1 A SAP G/~b(V;>  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END 7}NvO"u  
      GO TIME

H`k YDp  
     SAVE LEFT11.

#lik: ?  
     SAVE LEFT11.

45BpZ~-  
      CORE 14 TIME 9]T61Z{OW1  
      DSEARCH 3 QUIET %p7onwKq0  
}s"].Xm^2  
      SYSTEM 89KFZ[.}]  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM )b%zYD9p  
      OBB 0 4 83.36 ,+Ocb-*  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END %S`Wu|y  
L)<~0GcP  
      GOALS ELEM 11 "5ISKuL  
      TOTL 600 .01 Id8MXdV  
      FNUM 1 U)iBeYW:  
      BACK 11 SET E:uTjXt  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 rmC7!^/  
      QUICK 20 50 xEq?[M  
      ANNEAL 50 10 Q 1Ke9H!_P  
      SNAP 10 Z6-  
      RSTART 1000 UHk)!P>  
      ASTART 25 (+xT5 2  
      THSTART 12 X,lhVT |
 
:)4c_51 `  
      FOV 0 .5 .707 1 j%ZBAk)}  
      FWT 1 1 1 1 END (["V( $  
      SPECIAL PANT )Pc>+}D  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 x&JD~,Y  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ;gAL_/_  
      CUL 1.6 )p#L"r^)  
      FUL 1.6 END -s)h ?D  
owyQFk  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 j4`+RS+q  
      M 0 1 A P HH 1 zmu+un"\j  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT r}(mjC"o  
      M 0 10 A DI3 END S{)K_x  
      GO TIME

cdGBo4  
      SAVE RIGHT11. {,(iL8,^  
      SAVE RIGHT11.

dK8dC1@,X;  
      COMBINE 23 0DnOO0Nc  
      RIGHT11