从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 YW\0k5[  
镜片数22片 <#GB[kQa  
物高31mm D}C,![   
物方数值孔径NA 0.2 C[!MS5  
波长为UV ORXm&z)  
像方晶圆尺寸是12.66mm l
7{oi!   
总长小于1200mm  7R#+Le)  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 .`<@m]m-  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

z7M_1%DEx  
      Here is the input for DSEARCH: ml|W~-6l  
      CORE 14 TIME [Y
rHA~=U  
      DSEARCH 2 QUIET ~9)"!  
Vm}%ttTC  
      SYSTEM $;M:TpX  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM h7*W*Bd  
      OBA 15 31 3 31 5]I|DHmu  
      OSNA .2 TCO ]ul$*  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC r;L>.wl*I  
      END -Y Bd, k3  
iy.2A!f^.  
      GOALS ELEM 11 Ghl'nqPlm  
      TOTL 600 .1 AcI,N~~  
      TOPD .01 /xGmg`g<#  
      NPASS 50 joKIrS0y  
      QUICK 20 50 o&AM2U
/?  
      ANNEAL 50 10 Q -[U1]R  
      SNAP 10 pj4!:{.;  
      RSTART 1000 -V,v9h^  
      ASTART 25 ;S0Kh"A  
      THSTART 12 A;\7|'4  
OO?]qZa1  
      FOV 0 .5 .707 1 I$E.s*B9  
      FWT 1 1 1 1 END b@3_L4~  
      SPECIAL PANT Y6,Rj:8  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 &E xYXI  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 N]KxAttt  
      CUL 1.6 Mu'8;9_6  
      FUL 1.6 END [=B$5%A  
[,2|Flf e  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 <mi-}s  
      M 0 .1 A SAP .h0b~nI>>  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END /Q~gU<  
      GO TIME

dlhdsj:  
     SAVE LEFT11.

>``MR%E:<  
     SAVE LEFT11.

PJcwH6m  
      CORE 14 TIME gTA%uRBa  
      DSEARCH 3 QUIET JaB<EL-9r2  
P!"&%d  
      SYSTEM dCj,b$  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM @as"JAN  
      OBB 0 4 83.36 _`64gS}^  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END BD`2l!d  
t3dlS`O  
      GOALS ELEM 11 $Y5)(  
      TOTL 600 .01 $.9{if#o&  
      FNUM 1 4)1s M=u  
      BACK 11 SET keB&Bjd&  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 {uGP&c
S~(  
      QUICK 20 50 KiJT!moB  
      ANNEAL 50 10 Q oh$Q6G  
      SNAP 10 Ur*6Gi6  
      RSTART 1000 =m5SK5vLKT  
      ASTART 25 vDH>H^9Y  
      THSTART 12 X/N0LU
(q  
'Ysx=  
      FOV 0 .5 .707 1 rk)##)  
      FWT 1 1 1 1 END sg+uBCGB  
      SPECIAL PANT Z!U)I-x&  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 %;.;>Y(-  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 !qX_I db\  
      CUL 1.6 sJ]taY ou  
      FUL 1.6 END :O(^w}sle  
?s:d[To6  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 `[C!L *#,  
      M 0 1 A P HH 1 bT&: fHc  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT F^hBtfz  
      M 0 10 A DI3 END `F/Tv 5@L  
      GO TIME

U^Xm)lL  
      SAVE RIGHT11. ij?  
      SAVE RIGHT11.

`3:.??7N  
      COMBINE 23 ?:w1je7  
      RIGHT11