从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 2#s8Dxt  
镜片数22片 ^~dC&!D  
物高31mm 5tEkQ(Ei8  
物方数值孔径NA 0.2 LZQG.  
波长为UV t[MM=6|Wb  
像方晶圆尺寸是12.66mm B;2#Sa.  
总长小于1200mm ??(
"0U  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 Q% ^_<u  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

r~2q`l'>  
      Here is the input for DSEARCH: { _Y'%Ggh  
      CORE 14 TIME q(Ow:3&  
      DSEARCH 2 QUIET qq@]xdl  
>;%LW} %  
      SYSTEM t3=K>Y@w  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM Bm<tCN-4  
      OBA 15 31 3 31 '}-QZ$|*  
      OSNA .2 TCO n(CM)(ozU  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC RLcC>Z  
      END N,:G5Wx
W  
{aUv>T"c  
      GOALS ELEM 11 2-@t,T  
      TOTL 600 .1 12: Q`   
      TOPD .01  `YO&  
      NPASS 50 p\Iy)Y2Lf!  
      QUICK 20 50 O3pd5&^g  
      ANNEAL 50 10 Q ]v:"    
      SNAP 10 _Ih"*~ r/&  
      RSTART 1000 fB'Jo<C  
      ASTART 25 fuWAw^&  
      THSTART 12 u`Kc\BSn  
==trl#kQ%%  
      FOV 0 .5 .707 1 *z0
Rf;  
      FWT 1 1 1 1 END 6z'0fi|EN  
      SPECIAL PANT -lXQQ#V -  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 T7l,}G  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 %4B
QY>O)@  
      CUL 1.6 ce719n$   
      FUL 1.6 END ]I]G3 e  
J?tnS6V  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 [jEA|rd~}  
      M 0 .1 A SAP >t.PU.OM  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END MJa`4[/  
      GO TIME

jR*iA3LDo  
     SAVE LEFT11.

> kwhZ/x  
     SAVE LEFT11.

ISTAJ8" D  
      CORE 14 TIME >)mF'w  
      DSEARCH 3 QUIET L3j ~Ooo  
VW^q|B yB  
      SYSTEM &v9"lR=_k  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM v[?gM.SF  
      OBB 0 4 83.36 QD1&"T<.d.  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END )0Vj\>  
ucbtPTFYvr  
      GOALS ELEM 11 +?5Vuc%  
      TOTL 600 .01 .mOm@<Xdg  
      FNUM 1 A.YK=_J  
      BACK 11 SET U8%IpI;  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 0XE(vc!  
      QUICK 20 50 ;#*.@Or@Ah  
      ANNEAL 50 10 Q ]eTp?q%0  
      SNAP 10 Cn.dv
-  
      RSTART 1000 '8I=Tn  
      ASTART 25 HD,6  
      THSTART 12 h-o;
vC9fC  
Qb;]4[3  
      FOV 0 .5 .707 1 =YtK@+| i  
      FWT 1 1 1 1 END 2Ns<lh   
      SPECIAL PANT 9>_VU"T  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 F(,SnSam  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 0
eOdE+  
      CUL 1.6 tao9icl*`  
      FUL 1.6 END 3;!a'[W&p  
2"o<>d  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 YG>E
op  
      M 0 1 A P HH 1 9mpQusM  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT lHu/pSu@k  
      M 0 10 A DI3 END $A(3-n5=  
      GO TIME

gUp9yV  
      SAVE RIGHT11. ubsx NCqD  
      SAVE RIGHT11.

bnE&-N*  
      COMBINE 23 s2nZW pIy  
      RIGHT11