激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计

摘要：光斑质量直接影响激光位移传感器测量的精度。为了提高激光位移传感器传感探头光学系统的成像质量，设计了传感探头四片式微小型光学系统。本文在理想成像基础上，分析光束在光学系统中能量传递的变化规律，对比光电探测器的感光能力，利用光学设计软件（ZEMAX）实现了激光位移传感器传感探头微小型光学系统的设计。通过理论计算分析，严格控制传感探头孔径光阑的大小，对光学系统进行优化处理，成像最大弥散斑半径低于3.3 μm，空间分辨率120 lp/mm以下的传递函数MTF （Modulation Transfer Function）值大于0.5，光线扇形图的最大像差小于5 μm，畸变量低于0.1859%。该光学系统具有良好的成像效果，可以满足激光位移传感器探测系统对成像系统成像光斑质量的要求，以保证传感器的测量精确度优于5 μm。

关键词：微小型光学系统, ZEMAX, 光斑质量

大雨天	2018-12-22 00:05
不错，下载看看

大雨天	2018-12-22 00:22
文章光学设计都做错了，还发表了，浪费我2个光币下载。此系统的光路应该是物面于光轴成夹角的，像面也和光轴成夹角的非轴对称系统，作者却做成的轴对称的，视场都设置错了（文章图7所示）。难道不会使用ZEMAX中的titled surface吧 $ e<108)]

clark	2019-01-08 08:37
KANKAN A

cgl155410	2019-01-08 13:37
误人子弟，都不看就发到论坛上

Optic_Stud	2019-02-25 09:59
感谢分享

zhaojq815	2019-02-26 18:37
感谢分享！

疾走的考拉	2019-03-19 18:15
看看具体操作

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