| xunjigd |
2018-12-10 16:56 |
VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析
摘要 _M%S
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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 KUUA>'=
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建模任务 1RYrUg"s"
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概观 1l$Ei, 9
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[attachment=89264] kP
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光线追迹仿真 RhE~-b[X
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 q* 3OWr
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•点击Go！ .xsfq*3e5
•获得3D光线追迹结果。 Jp=fLo 9
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光线追迹仿真 ]u|fLK.|
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•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 | 3'
•单击Go！ l^lb ^"o
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 Y $=jAN
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场追迹仿真 [SPx
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 Nc:s+ o
•单击Go！ N[e,){v
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场追迹结果（摄像机探测器） k;l3^kTy
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 G !q[NRu
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 ue_wuZi
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 m JSfn"b}K
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[attachment=89268] ax&?Z5%a
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场追迹结果（电磁场探测器） Px lc RF
9bM\ (s/
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 dHnCSOM<
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[attachment=89269] 9kL,69d2
文件信息 C96/
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[attachment=89270] _ \D %
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（来源：讯技光电）
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