| xunjigd |
2018-12-10 16:56 |
VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析
摘要 Bm:N@wg
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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 1_RN*M +#
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建模任务 &br_opNi
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概观 b+!I_g4P
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光线追迹仿真 iD`> Bt7gD
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 c,FhI~>R
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•点击Go！ GkYD:o=qx
•获得3D光线追迹结果。 m[E#$JZtG
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光线追迹仿真 a/s6|ri`0
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•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 $,DX^I%!
•单击Go！ 6, :`esl
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 1EcXvT=
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场追迹仿真 !Q" 3B6
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 oMer+=vH
•单击Go！ "F8A: tR
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场追迹结果（摄像机探测器） (%^Bp\.02!
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 B}A7Usm
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 G >H',iOI
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 {<}kqn83sT
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[attachment=89268] kTe0"
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场追迹结果（电磁场探测器） AroXf# .
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 q9`!T4,
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文件信息 kH10z~(e
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[attachment=89270] | Y42ZOK0
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更多阅览 Nq3q##Ut:
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- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination !Qd4Y=
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（来源：讯技光电）
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