| xunjigd |
2018-12-10 16:56 |
VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析
摘要 >^g2 Tg:
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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 ?y>ji1
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建模任务 ya~;Of 5
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[attachment=89263] KQ]sUNH
概观 au50%sA~
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[attachment=89264] fWEQ vQ
光线追迹仿真 `W)?d I?#M
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 l59\Lo:
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•点击Go！ oc,I, v
•获得3D光线追迹结果。 LBD],Ba!
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光线追迹仿真 Rjq\$ aY}%
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•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 m0^ "fMV
•单击Go！ J7",fb
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 iQ
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场追迹仿真 -V4{tIQY
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 @R`6j S_gK
•单击Go！ z 0+ JMZ/
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[attachment=89267] ? Pi|`W
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场追迹结果（摄像机探测器） 1- ^D2B[-
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 p : z ][I
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 j$_?g!I=gK
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 [N~7PNd S
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场追迹结果（电磁场探测器） iP9 ]b&
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&D[M<7T
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 `T+>E0H(f
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文件信息 #FAW@ 6QG
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[attachment=89270] U3B&3K} ~
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更多阅览 a"xRc
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- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination VFZyWX@#u
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（来源：讯技光电）
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