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淡小疼 2018-11-13 10:18

镀膜设备验收有没有验收标准?

镀膜设备验收有没有验收标准?一般均匀性和重复性在什么范围?
ouyuu 2018-11-13 13:17
连续做三罩,镀膜伞上从中心到边缘取7~13个点,每个点都不能超过范围。 f0 ;Fokt(  
这个范围就取你们一般最难做的产品。 MKad 5gD*<  
另外连续三罩不能发生离子源,电子枪,光控,晶控,机械动作(坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡)的报警。 -y8?"WB(b  
一般也就这样了,严格一点的可以看六罩。
ouyuu 2018-11-13 13:23
忘了说了,还要做一次单层分布实验。 _uvRC+~R  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 V!eq)L  
就是镀膜伞上从中心到外围放7~13片的测试片,做足够厚的单层, Ms^U`P^V~P  
然后分光器上测PEAK,所有测试片的PEAK点(波长)分布变化不能超过土1%。 cx]&ae*  
否则要重做修正板。 Et\z^y  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的,这种设备建议不要购买。 Ig&=(Kmr  
以后修的时间比用的时间还多。 >680}\S  
17873333033 2020-03-16 19:16
赞成楼上的讲解,按照楼上的来,没问题。
casix9489 2020-03-17 10:40
学习了。
wflney 2020-03-17 22:13
学习了。
知123 2020-04-11 14:57
学习了
fanrongwei11 2021-02-20 09:44
二楼说得是重点,可以借鉴。
gaofei555 2024-08-08 16:35
ouyuu:忘了说了,还要做一次单层分布实验。 D6cqON0a.  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 oBfh1/< <a  
就是镀膜伞上从中心到外围放7~13片的测试片,做足够厚的单层, 1P (5+9"s  
然后分光器上测PEAK,所有测试片的PEAK点(波长)分布变化不能超过土1%。 jH+ddBVA  
否则要重做修正板。 |"4+~z%/9!  
....... (2018-11-13 13:23)  Y?cdm}:Ou  
#G'Y 2l  
学习了...
renlgj 2024-08-22 17:23
这个对于新入门的有用
西点 2025-05-21 17:43
学习了
xxp0424 2025-05-21 20:20
二楼说得是重点,可以借鉴。
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