浸没式光刻投影物镜光学薄膜

摘要：深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法，为实现更小的元件特征尺寸，必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率，由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文的讨论由此展开：介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计，以及高NA光学系统所需的大角度保偏膜系；物镜中最关键的元件为浸液元件，对浸液薄膜的液体环境适应性及疏水、防污染等关键问题进行了讨论；激光辐照寿命是衡量浸没式光刻系统性能的重要因素，对镀膜元件的激光辐照性能，尤其是浸液环境下的元件辐照寿命进行了分析。
关键词：浸没式光刻, 光学薄膜, 膜系设计, 环境适应性, 激光辐照寿命

wzlfpz	2018-11-05 14:44
一直都想学习这个领域的知识

淡小疼	2018-11-05 17:49
挺好的

ouyuu	2018-11-06 14:09
浸液这个是台湾人提出来的概念，其实在研发上， W=2.0QmW 创意无限的中国人比循规蹈矩的日本人要更有办法。

hunter999	2019-03-30 10:39
好东东！ 3znhpHO)

玄真子	2019-03-31 14:06
xuexile

大剑宿意琦行	2020-12-19 22:11
学习下

大剑宿意琦行	2020-12-19 22:11
谢谢分享

jspc	2021-01-03 23:33
浸没式投影系统原理简单，但是实际量产过程中肯定困难重重。

chenfadi	2021-11-08 18:38
7666666666666666666

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