SYNOPSYS 光学设计软件课程四十二：复杂的干涉仪
qLR;:$]Q&8
wl=tN{R
本课程介绍了设计干涉仪的步骤。 K5>3
干涉仪有两个通道，光束在分束器处叠加。 人们经常希望看到两个波前形状的差异，就像测试非球面镜时一样。 O[X*F2LC4
在该示例中，两个通道之间的条纹在其中一个反射镜的位置来回移动时给出光谱信息。 这种配置的仪器称为傅里叶变换干涉仪。 这里不关心波前的形状，而是关注其绝对相位。 z$ ^d_)
我们将首先设置一个通道， 以下是第一步的输入： 2:LUB )&i
RLE
D2e-b
ID INTERFEROMETER EXAMPLE A#>wbHjWF
WAVL 4.6 4.25 3.9 ]+lT*6P*
OBB 0 1 30 0 0 0 30 =D zrM%
1 TH 100 ! DUMMY SURFACE FOR REFERENCE l;$F[/3a
2 AT -45 0 100 ! SCAN MIRROR N$=YL
@m8
2 REFL gI:g/ R
2 TH 0 t Cuvb
3 AT -45 0 100 ! FOLD AXIS g%2G=gR$?z
3 TH -200 ! TO BEAMSPLITTER &o L"AJU
4 TH -3 GTB U ! THROUGH 3 MM THICK GERMANIUM _KRnx-
GE 3Vu}D(PJ
5 REFL ! REFLECT AT BEAMSPLITTER Ff< cY%t
5 PTH -4 PIN 4 ! COMING BACK AGAIN as07~Xvp-
4 AT 30 0 100 ! TILT OF BEAMSPLITTER :?f<tNU$
7 AT 30 0 100 ! TILT AXIS )L<.;`g4x
7 TH 70 ! TO REFERENCE MIRROR 2%/F`_XbP
8 REFL ! HERE >N3X/8KL%
8 PTH -7 ! BACK TO BEAMSPLITTER /N0m F< P
9 AT -30 0 100 ! ENTER IT AGAIN QPy h.9:N
9 PTH 4 PIN 4 ! SAME SIZE AS BEFORE nC:T 0OJv
10 TH -.1 ! SMALL AIRSPACE 1$Up7=Dr=
11 PTH 4 PIN 4 ! COMPENSATOR DUPLICATES GEOMETRY kV- <[5AWW
12 D ksYKv
13 AT 30 0 100 ! DUMMY TO FOLLOW BEAM g5BL"Dn
13 TH -200 ! DISTANCE TO FOLD MIRROR 1 lw=kTY bq
14 AT -30 0 100 ! RIGHT HERE =B&|\2`{)
14 GID YB*)&@yx
FOLD 1 ! IDENTIFY IT 6O4 *OR<&
14 REFL ! REFLECT THERE }3
/io0"D
15 AT -30 0 100 ! DUMMY TO FOLLOW BEAM p{? duq=
15 TH 250 ! DISTANCE TO PRIMARY MIRROR t/i*.>7
16 RD -180 CC -1 TH -90 ! PARABOLOID HERE St; 9&A
16 REFL ! REFLECT THERE 9FEhl~&
16 GID S iNgV\('U
PRIMARY M ! IDENTIFY IT WO>A55Xya
17 AT 45 0 100 ! SMALL FOLD MIRROR w+m7jn!$
17 REFL ! REFLECT HERE rEr=Mi2
17 GID ^%oH LsY9
SECONDARY M ! IDENTIFY IT 33` bKKO}
18 AT 45 0 100 ! DUMMY TO FOLLOW BEAM 8Y SvBy
18 TH 90 ! DISTANCE TO TERTIARY \ :'GAByy
19 RD -180 TH -350 ! DISTANCE TO FINAL IMAGE j ,rc9
19 REFL ! REFLECT AT TERTIARY oy[s])Tg
APS 19 ! THE STOP IS HERE (U\o0LI
19 GID 6@aH2+4+
TERTIARY M Eu |/pH=:
20 HOD?i_
END g.\b@0Uy'
y9}qB:[bR
我们在EE编辑器中输入上面的内容并运行它，在PAD中给出这张图片： WjB ml'^RY
要获得此显示，我们单击PAD Top按钮，选择Custom rayset，HBAR 0.0和11 rays。 我们还选择Solo顶部显示选项并打开显示所有表面的数据开关38，包括仿制图。 erI&XI
我们已经有了基本的结构，但我们还不知道第三片反射镜的细节。 我们希望在表面20上有清晰的图像，并且当我们到达该步骤时，我们将插入额外的折叠镜以将三个波长分离到不同的检测器上。 首先，我们需要知道表面19上的半径和圆锥常数。我们在新编辑器中输入以下内容： TJ)Nr*U3_
PANT Cq@7oi]W0
VY 19 ASPH kwi$ %
END uNewWtUb(
AANT 4#t'1tzu#
GSR 0 1 4 P # h.N#{9
END `&I6=,YLp
SYNO 10 !19T=p/:$
Gn7\4,C
运行此文件后，系统看起来就像我们想要的那样： OL 1xxzo
命令ASY现在向我们显示表面19的形状： ln<[CgV8
SYNOPSYS AI>ASY Hu bG>]
}51QU FhL0
SPECIAL SURFACE DATA I'D 3~UI f
______________________________________________________________________________ )g=mv*9>
SURFACE NO. 16 -- CONIC SURFACE Fpo}UQQbc
CONIC CONSTANT (CC) -1.000000 hz bvR~rn
SEMI-MAJOR AXIS (b) INFINITE SEMI-MINOR AXIS (a) INFINITE BTsvL>Wy
H2 8-;>'`
_______________ SURFACE NO. 19 -- CONIC SURFACE CONIC CONSTANT (CC) -0.349174 yO-2.2 h
SEMI-MAJOR AXIS (b) -219.999999 SEMI-MINOR AXIS (a) 177.482393 "eoPG#]&
/XG7M=A$o
TILT AND DECENTER DATA j gV^{8qG
LEFT-HANDED COORDINATES TaF * ZT2
_______________________________________________________________________________ *K>2B99TXu
SURF TYPE X Y Z ALPHA BETA GAMMA D~qi6@Ga
_______________________________________________________________________________ qV=O;
2 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -45.0000 0.0000 0.0000 E QnU:a
3 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -45.0000 0.0000 0.0000 EAY+#>L*
4 REL 0.00000 0.00000 0.00000 30.0000 0.0000 0.0000 `?:{a OI
7 REL 0.00000 0.00000 0.00000 30.0000 0.0000 0.0000 uP7|#>1%
9 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -30.0000 0.0000 0.0000 ?:q"qwt$F
13 REL 0.00000 0.00000 0.00000 30.0000 0.0000 0.0000 gISA13
14 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -30.0000 0.0000 0.0000 UB ] tKn
15 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -30.0000 0.0000 0.0000 y;0Zk~R$
17 REL 0.00000 0.00000 0.00000 45.0000 0.0000 0.0000 daY0;,>
18 REL 0.00000 0.00000 0.00000 45.0000 0.0000 0.0000 *{JD= ua
KEY TO SURFACE TYPES Ev#, }l+
____________________ YTgT2w
GLB GLOBAL COORDINATES LOC LOCAL COORDINATES =PU@'O G
REL RELATIVE COORDINATES REM REMOTE TILTS IN RELATIVE COORD. b5p;) #
SYNOPSYS AI> )p!")
:'fv
b%VBSNZ
好的，一个通道看起来不错; 现在让我们设置第二个通道。 我们可以从上面的设置开始，然后根据需要修改。 首先，我们使用ACON复制按钮  将此设置添加到ACON 2中，然后我们在分束器处修改几何体形状。 我们制作一个CHG文件：（L42M2） KW0KXO06a
CHG X"8$,\wX ,
13 SIN ! NEED TWO ADDITIONAL SURFACES KJn 3&7
13 SIN W OYZ
4 NAS ! REMOVE TILTS THERE NOW w6 Y+Y;,'f
7 NAS 11$v~<M
9 NAS x ZAg
13 NAS a$"Z \F:x
4 TH -3 GTB U J_
h\tM
GE *n M.`7g*[
4 AT 30 0 100 ! TILT OF BEAMSPLITTER cP21x<n
5 TH -.1 TRANS _qit$#wK;
6 PTH 4 PIN 4 k \t6b1.M
7 TH 0 xAsy0 7J?
8 AT -30 0 100 $ YBH;^#
8 TRANS ! NOT REFLECTIVE ANYMORE Mi!ak
8 TH -70 I1ibrn
9 REFL j{5oXW
9 PTH -8 AIR /Wjf"dG}
10 AT 30 0 100 lr,i5n{6
10 PTH -4 PIN 4 Erl@] P4
11 PTH -5 ~ "~uXNd
12 REFL bF@iO316H
12 PTH 5 $EG<LmC-Q
13 PTH 4 PIN 4 14 TH 0 qyzeAK\Ia
15 AT 30 0 100 zpc m`z
15 TH -200 END
(+ \K
[yAR%]i-7
在此文件中，我们首先必须删除分配给通道1中分束器的大多数约束，因为现在反射和倾斜发生在不同的表面上，然后我们用另一个通道的数据替换它们。 新系统看起来像这样： M+Y^ A7
好的，我们已经定义了两个通道，并且它们都是通用的，在ACONS 1和2中。现在我们可以制作同时显示两者的透视图。 我们创建了一个MACro： 3'Z+PPd!
ACON 1 v C R\lR+
HPLOT 1 YAF0I%PYU
PER 0 0 0 1 123 7`X9s~B
PUP 2 1 11 I'cM\^/h
PLOT iu,Bmf^oD
RED L D5E
TRA P 0 0 11 !91<K{#A{
END %hzNkyD)Y
wa9{Q}wSa
ACON 2 l\-(li
H
APLOT 1 fI( H
:N
PER 0 0 0 1 123 Sytx9`G 5
PUP 2 1 11 @l2AL9z$m>
PLOT T\HP5&
BLUE =HvLuVc
TRA P 0 0 11 +%RXV ~
END hta$ k%2
B UKh5L
这给了我们下面的图像： |7T!rnr
让我们进一步改进它。 我们打开Edge Wizard（MEW）并选择Create All。 为两个ACON执行此操作。 现在运行上面的MACro，打开开关20，为HBAR = 1和-1添加TRA请求，并将PER请求更改为RSOLID。 图片如下。 我们有一个非常好的开始。（L42L1） ~&IL>2-B
这是一个关于如何设置这样的系统的简短课程。 SYNOPSYS可以很好地显示系统和图像质量 ，但它不会模拟两个通道之间的干涉。 该程序可以模拟波前和参考光束之间的差异（参见HELP IFR），但傅立叶变换干涉仪中的信息来自波前的绝对相位，不是由SYNOPSYS计算的。 当然，这是无关紧要的，因为理论已经非常成熟，我们所关心的只是这些系统中的图像质量。 >^Z !
下一步是在最终图像之前在空间中添加额外的折叠镜和检测器光学系统。 esEOV$s}
你可能会注意到当光束通过分束器时，光束中有一个小的偏心 - 我们忽略了它。 但这也不难建模，如果你真的想要那么精确，只需调整主镜上的偏心来补偿。
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