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1111111111	2018-09-19 13:32
关于可见光区域400nm-700nm增透膜牢固度现在工艺一：ti3o5+soi2+ti3o5+soi2+ti3o5+soi2 温度：280℃，真空度：2.0E-3帕。牢固度差，超声波打了以后，膜层会脱落 4">84,-N +Z]y #= 工艺二：MGF2+TIO2+MGF2+TIO2+MGF2+TIO2温度：280℃，真空度：2.0E-3帕，手工擦以后，会起雾

yzhuang	2018-09-20 14:13
从你提供的参数看没觉得哪里有问题，你是不是可以第一层用SiO2试试，对曲线影响很小，也许可以改善结合力。 wH#Lb@cfZ0

ouyuu	2018-09-21 00:12
第一种工艺，镀膜前离子源用Ar打一下。增加附着力

knight627	2018-09-22 11:20
,看你工艺参数没任何问题,正常来讲不会说用超声波洗下就脱膜.个人建议1.用表面温度计实测温度2.检测机器是否有异常,如果有扩散泵是否返油 3,测下镀膜实际折射率,是否枪的问题.4.基底表面清洁重点看1,2

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