SYNOPSYS 光学设计软件课程二十四:带楔块误差的校验和图像误差的AI分析的公差实例
%UXmWXF4$ BGOajYD 本课程将介绍前面讨论的一些功能,并添加一些功能强大的新选项。 在这里,我们将使用BTOL来计算八片式透镜的公差,然后查看通过校验单元格中的元件来补偿楔形误差的情况下的像质统计。 最后,我们将在重新对焦镜头和校验元件之后,检查一组100个镜头的横向色差的统计数据,这些镜头受公差限制。 LjEG1$F> 这是一个MACro,它将创建公差预算: BJNZH# " FETCH X33 ! Get out the starting lens. yRyUOTK BTOL 90 ! Ask for 90% confidence level. Ww&r TPR ALL ! All surfaces are matched to testplates. oH]_2[
! EXACT ALL INDEX ! Assume melt data are received, q4y sTm EXACT ALL VNO ! so the index and dispersion tolerances are zero. n)t'?7 TOL WAF .18 .32 .18 ! Ask for this wavefront variance at three field points. o0}kRL FOCUS REAL ! Focus the on-axis image point bCL/"OB ADJUST 14 TH 100 ! with thickness 14 (the last airspace). Svl;Ul PREP MC ! Prepare the input for Monte-Carlo evaluation. nd#owjB GO ! Start BTOL. ]p-xds#d >.o<}!FW 在SYNOPSYS™中打开名为X33.RLE的文件,我们使用FETCH命令将其取出。 epm ~ 运行此MACro时,BTOL公差已准备好并列在探测器上。 现在我们需要使用MC。 调整MACro由BTOL准备,命名为MCFILE.MAC。 让我们看看它包含什么。 我们输入LM MCFILE来加载MACro: r>;(\_@ PANT 5!Ho[ VY 14 TH pt_]&3\e END ya'Ma<4 AANT 8quH#IhB M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 .1 0.000 %F2T`?t: M 0.297953E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 .1 0.000 8c3/n M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 -.1 0.000 -SlAt$IJ M -0.297953E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 -.1 0.000 X@pcL{T! M 0.297953E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 .1 0 0.000 ?[#4WH-G M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .1 0 0.000 f!K{f[aDa M -0.297953E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 -.1 0 0.000 qF3s&WI M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.1 0 0.000 "%rzL.</ M -0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 .64 0.000 V
M{Sng M 0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 .64 0.000 nJ2910"< M 0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 .64 0.000 | <bZ*7G M 0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 .64 0.000 Y1-=H)G M 0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 -.64 0.000 9
K~X+N\ M -0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 -.64 0.000 ,:6.Gi)| M -0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 -.64 0.000 Sah!|9 M -0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 -.64 0.000 #9rCF 3P M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 0. 0.000 AK//]
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 0 0. 0.000 $[U:Dk} M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 .1 0.000 6ee1^> M 0.149918E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 .1 0.000 E4N"|u| M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 -.1 0.000 &~ '^;hy= M -0.149918E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 -.1 0.000 otmyI;v 7< M 0.149918E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 .1 0. 0.000 f#&@Vl(i& M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 .1 0. 0.000 eHc.#OA& M -0.149918E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 -.1 0 0.000 -?L3"rxAP M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 -.1 0 0.000 #}+_Hy END 0
} |21YED SYNOPSYS 10 f3SAK!V+s MC X&gXhr#dL\ 4hWFgk 根据要求,PANT文件中的最后一个空气间隔是变化的,并且AANT文件定义了一个评价函数,如果调整能够恢复名义设计完全相同的光线模式,它将精确地收敛到零。 现在我们需要准备我们的MC MACro。 (这是我们指定所需蒙特卡罗分析的文件,而上面显示的文件MCFILE.MAC指定了我们想要在每个案例上运行的调整。它们是单独的文件。)
W2]%QN=m$ 首先,我们将使用随机楔形方向运行MC。 这是MACro: gg&Dej2{ MC ITEMIZE h3(B7n7 SAMPLES 1 ! One case, please. \=j|ju3 LIBRARY 5 ! We saved the initial lens in library location 5. 4Ix~Feuph `{&l
_ WORST ALL 1 ! Later we may want to see a worst case. ,!bcm THSTAT UNIFORM ! Uniform thickness statistics. d(q2gd@ WEDGES RANDOM ! Wedges have random orientation. F$HL\y TEST ! Let’s just look at a perturbed example. *fp4u_:` GO ! Run MC. GiKmB-HO ]htx9ds= 在这里,我们不优化任何东西,只是准备一个单一的扰动示例,以便我们可以检查它。 (元件现在都有楔形误差,因此PAD显示不能像以前那样为元件着色。) iUk#0 I 好吧,让我们运行一组100个镜头并查看统计数据。 首先我们GET 5,然后注释掉TEST指令并更改样本编号。 B&sa|'0U MC ITEMIZE R_duPaWc@ SAMPLES 100 ! Ask for a set of 100 lenses. 6#Bg99c LIBRARY 5 yJ2A!id QUIET IFkU8EK&B WORST ALL 1 F>ps&h THSTAT UNIFORM :9W)CwZ)V WEDGES RANDOM &t@|/~%[ !TEST GO lTZcbaO?] ~-BIUZ; 当MC完成时,我们将获得MC PLOT的统计图。 V&R_A |