加装离子源的方式-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 加装离子源的方式 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

淡小疼	2018-09-11 15:11
加装离子源的方式大家有没有见过离子源加装在门上的？有没有什么影响？另外对于小型的设备，那种离子源合适？

光迹	2018-09-11 19:00
昭和很多机器都是装在门上

ouyuu

2018-09-11 19:45

离子源可以装门上，也可以装腔体里。
装腔体里的话，加上双电子枪，阻蒸，各个挡板就太拥挤了。
而且如果是ENDHOLL源的话，其磁铁也会影响电子枪的偏转。
一般直径1.3m以内的腔体最好是装门上。

离子源为了照射均匀，中心轴一般会对准镀膜伞偏外周，
一般安装时都会有角度，大型腔体上使用小型离子源时，
为了将离子源尽量靠外（使得角度可以调更大，照射面更大）通常装在门上。

淡小疼

2018-09-11 22:13

ouyuu:离子源可以装门上，也可以装腔体里。 6 5zx<
装腔体里的话，加上双电子枪，阻蒸，各个挡板就太拥挤了。 :? )!yI
而且如果是ENDHOLL源的话，其磁铁也会影响电子枪的偏转。 4Wgzp51Aq!
一般直径1.3m以内的腔体最好是装门上。 C rR/
....... (2018-09-11 19:45) 6],?Y+_;)L

一般900左右的小型设备，配什么离子源合适？

ouyuu	2018-09-14 01:04
看你做什么了。 c!HGiqp 像RF离子源基本上要50万以上一套，加上改造费用再加一点可以买台二手带RF离子源的设备了。 C]Fwt 所以一般也就是加ENDHOLL离子源。 {;8`+R&

qq335850532	2018-11-14 03:07
昭和机就是装在门上的。

查看本帖完整版本: [-- 加装离子源的方式 --] [-- top --]