关于镀膜发雾的一些解释

薄膜对光有反射，透过，吸收，散射等作用。
薄膜发雾（对于因为基板本身脏或者带电吸附粉尘等问题此处略过）一般是因为散射。

散射一般分为：瑞利散射，米氏散射，几何光学近似
散射发生的位置一般分为：表面（和空气接触面），界面（层与层的过渡面），粒子（结晶）
表面和界面发生的散射一般是因为真空度过低造成的，适当提高真空度可以改善。
界面的散射还可以提高离子源能量（用离子源将表面打平）来改善。
结晶造成的散射，则需要靠改变温度来调整结晶大小。

具体问题具体分析，这个需要自己来判断。其实解决问题的过程，也是自我学习自我提高的过程。

qq335850532	2018-11-14 03:11
[s:151]学习了

白杨礼赞	2018-11-14 16:00
很实用的东西，学习了

lgflgf2012

2018-11-15 15:35

王工，关于发雾，有两个问题搞不明白，
1、做离子源透亮产品，有时会遇到内圈雾，外圈亮的状况，很难说清楚是怎么回事，离子源参数已经调到最大，温度差异也不大，10度以内，有时真空度都调到了8.0E-4Pa,都改善不大；
2、离子源发雾工艺，最外圈会出现一般雾一半不雾的情况，下半部分更透亮，这种情况一直都在，有时轻有时严重，调过很多次，彻底解决不了。
麻烦您帮忙给分析下，对了，机器是新柯隆1350

ouyuu

2018-11-17 00:46

离子源能量大了也会发雾的。
另外，你们用的是原装离子源配件吧？
副厂件不光是寿命，离子分布的均匀性也有问题。
（原厂栅网在出厂前会测离子分布，然后根据分布再开预备孔）

温度不光是加热丝的加热温度，离子源轰击其实对镜片也有加热作用的。
我觉得你们是否离子源能量加的太大了。
还有，中和器电流一般要设到离子源电流的2倍。
中和器电流过小也会造成离子分布的不均匀。

lgflgf2012

2018-11-20 13:48

非常感谢您的解析！
问题出现时，我们一直使用买机器时所带栅网。
一般在我们印象中，能量小才雾，能量越大越亮，不过接下来降低离子源能量我也会去尝试下，看看能不能解决。
对于最后您说的中和器电流要设置到离子源电流的2倍，可中和器电流有设限，最大是2000mA,而离子源电压和电流最大是1200V和1200mA,如果离子源电流设置成1100或者1200，中和器电流相对不就也小了吗？为了与之相对应，调高中和器电流可行吗？

ouyuu	2018-11-20 15:01
还有，你们离子源栅网用了多久了。 E+\|r h-M7 是否有变形？如果三块栅网的孔对不到一起的话， %*`yd.L0W 离子束实际输出就会变少。 KQ\d$fX 一般照国内的打磨水平，两年左右就该换了。

ouyuu	2018-11-21 14:29
顺便说一下，离子源栅网可以找我买。 I}{Xv#@o 我和新柯隆有服务协议，拿得到比较优惠的价格。 y$^.HI02jP L.M\|o 一般设备都会配两套栅网，你看一下另一套是否好一点。 06peo d 另外栅网不要混用，孔都是一套一起开的，混用会有匹配问题。

lgflgf2012

2018-11-22 08:01

ouyuu:顺便说一下，离子源栅网可以找我买。 O,kzU,zOs
我和新柯隆有服务协议，拿得到比较优惠的价格。 z3 lZ3
一般设备都会配两套栅网，你看一下另一套是否好一点。 x}W,B,q
另外栅网不要混用，孔都是一套一起开的，混用会有匹配问题。 (2018-11-21 14:29) ORV~F0d<

已经买了，你来过我们这里做过改造的，和吴经理一起，只是当时没留下联系方式

ouyuu	2018-11-22 08:34
你们是老吴的客户的话，我不能做的。 LH4!QDK- 技术上有问题的话可以问我，这个没关系的。 +%'S>g0W= <J`",h 老吴在镀膜公司做了十几年机修，然后在新柯隆做了两年组装， 3U<\s=1?X 机械结构方面他比我厉害。

wzf0602	2019-01-03 11:35
原来都是大神，领教了。

opticsrain	2019-04-13 17:21
学习了。有时候膜厚很厚的时候，膜的吸收会变得很明显，也会导致白浊现象的出现。

misery_	2019-07-02 17:41
opticsrain:学习了。有时候膜厚很厚的时候，膜的吸收会变得很明显，也会导致白浊现象的出现。 (2019-04-13 17:21) ]Q Y:t:- g\CRx^s 这时候该如何解决呢？ t6GL/M4

opticsrain	2019-07-10 20:02
如果是吸收引起的发雾，要探索单层膜条件，找到减少吸收的镀膜条件。一般是提高离子源强度或者减少镀膜速率。

xitang007	2019-10-31 00:06
很好的资料学习了

罗先生	2019-12-10 15:55
楼主厉害，分析的很详细

jiangxinwu	2019-12-12 11:33
谢谢分享，新手路过

casix9489	2019-12-29 11:14
学习了

17873333033	2020-03-16 19:49
两位大哥加个微信，请教请教17873333033

hh0526	2020-07-26 17:44
很实用的东西

星河灿烂	2020-07-29 21:30
学习了

查看本帖完整版本: [-- 关于镀膜发雾的一些解释 --] [-- top --]