SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
DpQWh+WRy 3 =c#LUA` 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 vfvp# 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: I1l^0@J RLE pwS"BTZ ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file 5GgH6 WA1 .6328 ! Single wavelength ^k$Bx_{ UNI MM ! Lens is in millimeters /V`SJ" OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. 5 r_Z3/% 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . _x3=i\O, 2 RD -5 TH 2 GTB S 0sH~yvM5 SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog =<m!%/I 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find B:0oT !spacing so ray height is 5 mm on next surface GG<0k\RN RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 2kDv
(". <y~Ba@1u UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. ]jn1T^D' 7 ! Surfaces 6 and 7 exist _j3rs97@| 'W4v>0 AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. |r,})o> END ! End of lens input file. r\F2X J^ dT% eq7= 优化命令如下 izGU&VeB CHG |e+3d3T35 NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。
U#K4)(C 4 PIN 2 nTD%i~t~o 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 r79P|)\ END 2yZ~j_AF[ D.%%D%AdB PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 tc)Md]S VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 o#1Ta7Ro VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 Jr;w>8B), VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 *{j;LA.BR# VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 zTfjuI|R VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 u0sN[< VY 3 G 6 $ta JVVF VY 3 G 10 2RF3pIFrm VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 &a e!lB VY 4 G 6 ?wv3HN VY 4 G 10 5S!j$_( END OPE+:TvW^ tjB)-=j[ AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 S{8-XiL, AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 fp\mBei ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 y=f.; ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 RMpiwO^ LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 F%&lM[N% M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 @ NL<v-t M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 { pQJ.QI ^c(r4#}$" M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 }qoId3iY!7 M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 nvLdgu4P> M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 !jU{ }RCR M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 bpU>(j M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 `$FX%p M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 KU{zzn;g M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 :E|Jqi \ M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 k}E_1_S( M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 ]+a~/ M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 517wduj M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 N}NKQ]= M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 MaD| X_g M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 }a,ycFt M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 2Og5e M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 n{L^W5B M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 $M0l
(htR M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 ||TZ[l M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 _K{-1ZYsi M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 8%YyxoCH M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 +cYDz#3% GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 'U ZzH$h GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 yi~]}M END WHOy\j},V "fhQ{b$i SNAP -zJV(` SYNO 50
*q,nALs <8?
F\x@ 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 ;8K>]T) 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 OvwoU=u 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 FNOsw\Bo 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 /=AFle2( 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 -EFdP] XO 这是最终设计的FLUX图: )eZ}Kt+ 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? hWFOed4C SYNOPSYS AI>OPD :BV $3]y <*^|Aj|# SYNOPSYS AI>SFA 5 P v 5pkP GhcH"D%- ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 %(6+{'j~# SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS pp1Kor >7cj.% FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 SEg{Gso9b COLOR NUMBER 1 j1->w8 }S')!3[G REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR xZ%3e
sp XEN OPD (WAVES) <3N\OV2 ________________________________ ZBx,'ph}4 0.200 -0.000865 0.400 1R*;U8? -6.675373E-05 0.600 Ei+lVLoC 0.000361 }aa]1X(u 0.800 -0.000651 mC\<fo-u 1.000 -0.000791 gp 11/. TC'SDDX 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! EXH,+3fQp 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: Q"eqql<h# STORE 9 L8'4d'N+> CHG {6Nbar@3 1 SIN Kx,X{$Pe 1 TH 0 j"TEp$x CFIX DoO
;VF END dQ_'8
) DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE 76 o[qay GET 9 >j ].`T Pj g# 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 QqW N7y_9 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 UA6
C/ ADEF 3 PLOT ADEF U
Rq9:{ 4 PLOT 1>OU~A" y0O e)oP 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: 7.2 !g}E ADEF 3 FRINGES b">"NvlB 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
|