SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
DG?"5:Zd uV=Qp1~ 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 'D@- 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: 0=K9`=5d0 RLE 7PkJ-JBA ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file Mb]rY>B4 WA1 .6328 ! Single wavelength mdw7}%5V UNI MM ! Lens is in millimeters /r=tI)'$ OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. ~j<+k4I~ 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . (7 r<'' 2 RD -5 TH 2 GTB S `(3/$% SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog ,~"$k[M 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find LGl2$#x !spacing so ray height is 5 mm on next surface [/X4"D-uOK RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 SXy=<%ed AW,53\ 0 UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. "70WUx(\t 7 ! Surfaces 6 and 7 exist mVR P~:+ El@(mOu| AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. u{*SX k END ! End of lens input file. B`
k\ EL' kSDZZx 优化命令如下 xl#LrvxI CHG Yc'kvj)_M NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 ~I}&V T 4 PIN 2 -UD\;D?$ 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 [B|MlrZ
END d`F&aC 3%E74 mOcD PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 K=,F#kn VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 IEzaK VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 w.0qp)} VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 V#`fs|e;y VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 }5(Ho$S( VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 Q^#;WASi VY 3 G 6 ?! `=X>5 VY 3 G 10 <-u8~N@43W VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 M-giR:, VY 4 G 6 67VT\f VY 4 G 10 iURk=*Z= END IzpZwx^3'' 1Tm^ AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 /=gOa\k|p AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 G 8V, ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 Ba/Yl ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 ~>+]%FPv LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 gwWN%Z" M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 )kkhJI*v M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 n2fbp\ I /\WQxe M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 Y2?.}Z O M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 Gqy,u3lE M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 f?'JAC* M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 1Q.\s_2 M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 P[k$vD M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 a!u
rew# M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 %C=]1Q=T) M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 <,>P 0tY} M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 _`pD`7:aI^ M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 w18y}mS"H M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 f`&dQ,; M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 d:i;z9b@to M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 <E0UK^-} M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 'GL*u#h M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 Z" uY}P3 M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 MC{
2X M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 oun;rMq M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 ?:L:EW8 M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 V@\%)J'g M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 E_bO9nRHV GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 }ga@/>Sl& GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 QQV~?iW{~ END J:kmqk! @, W vvh SNAP HuVJ\%. SYNO 50 {pHM},WJ U_{Ux2 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 Nq@+'<@p$ 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 ubmrlH\d 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 L^{|uP15N 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 [o<VVtB.Gk 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 p+Y>F\r&w 这是最终设计的FLUX图: w/IZDMBf| 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? ,DZX$Ug~+E SYNOPSYS AI>OPD uy}%0vLo Usta0Ag SYNOPSYS AI>SFA 5 P d`(@_czdF ?Oc{bF7 ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 A2nqf^b{# SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS <Engi! UAyC.$! FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 bN3#{l-` COLOR NUMBER 1 25&J7\P* 51QRM32Y
REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR
$/7pYl\n XEN OPD (WAVES) ku..aG` ________________________________ ;-Jb1"5 0.200 -0.000865 0.400 :hI@AA>g -6.675373E-05 0.600 LvEnX S 0.000361 B)QHM+[=F 0.800 -0.000651 > z^# 1.000 -0.000791 >B>CB3U CQpCS_M 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! U.@*`Fg 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: chEn |>~ STORE 9 Wy%s1iu CHG y7|P-3[ 4w 1 SIN }E7:ihy 1 TH 0 W\L`5CW CFIX ts8+V<g END ~M(5Ho DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE >pr=|$zk= GET 9 yu;SH[{Wi LE%7DW( 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 7^Yk`Z?|a 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 U`]T~9I ADEF 3 PLOT ADEF ys#i@ 4 PLOT M1%Dg'}G nIvJrAm4k 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: 10#f`OPC ADEF 3 FRINGES 1*
]Ev 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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