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optics1210 2018-09-05 09:58

SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器

X55Eemg/  
QpS0iUG  
在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 7u,56V?X  
让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件:

Um;ReJ8z  
RLE .qy._C2(  
ID LASER BEAM SHAPER     ! Beginning of lens input file :::"C"Ge  
WA1 .6328               ! Single wavelength W>dS@;E  
UNI MM               ! Lens is in millimeters |k)h' ?  
OBG .35 1               ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. z|}Anc[\  
1 TH 22                ! Surface 2 is 22 mm from the waist . Qz{:m  
2 RD -5 TH 2 GTB S s?=f,I  
SF6     ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog >2Al+m<w  
3 UMC 0.3 YMT 5          ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find LB? evewu  
!spacing so ray height is 5 mm on next surface #E5#{bra  
RD 20 TH 4 PIN 2          ! Guesses for surface 4 -{pcb7.xuv  
%whPTc0P  
UMC 0 TH 50           ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. \PU|<Ru.  
7                    ! Surfaces 6 and 7 exist ?.|qRzWL  
W3{k{~  
AFOCAL                       ! because they are required for AFOCAL output. +q) ^pCC  
END                    ! End of lens input file.
RFDwL~-p  
W)<us?5Ec5  
优化命令如下
t=iy40_T  
    CHG }UHuFff,  
    NOP                  ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 Jnb>u*7,  
    4 PIN 2 *7nlel  
    5 TH 10 UMC 0         ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 KSqWq:W+  
    END v)d\ 5#7  
_tb)F"4V  
    PANT                   ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 3VB{Qj  
    VLIST RAD 2 3 4 5   ! Vary four radii. 四个半径变化 7tUl$H;I/R  
    VLIST TH 3          ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 KxGK`'E'r  
    VY 3 CC              ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 8> T '  
    VY 4 CC              ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 JDD(e_dw  
    VY 3 G 3            ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 t{Q9Kv  
    VY 3 G 6 QlSZr[^v  
    VY 3 G 10 K S,X$)9  
    VY 4 G 3             ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 Ue^upx  
    VY 4 G 6 bMxzJRrNg  
    VY 4 G 10 ka[]pY  
    END ts{Tk5+  
}PK8[N  
    AANT                   ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 +g/y)]AP  
    AEC                   ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 jQj`GnN|  
    ACC                   ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 ]{0 2!  
    ASC                   ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 ^$6EO) <  
    LUL 100 1 1 A TOTL  ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 kZ[E493bV  
    M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 &xj?MgdNL  
    M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 &`Z>zT}  
!n}"D:L(  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 -$QzbRF5R  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1     ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 ]Yp;8#:1  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1     ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 ?Sh]m/WZd[  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 /U`"Xx  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 va:5pvt2&  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 8)\ ?6C  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 ';^VdR]fk  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 Cz+`C9#  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 MIsjTKE  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 %S. _3`A  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 ^GD"aerNr  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 2!QJa=  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 Z_zN:BJ8L  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 /3Zo8.  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 fk<0~ tE  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 -v/1R1$e1  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 P6!c-\  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 C?fd.2#U  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 I% ivY  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 1aP3oXLL  
    GSO 0 .01 10 P          ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 ~Y7>P$G)  
    GSR 0 50 10 P           ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 ,6=j'j1#a  
    END 1Mn=m w  
_D1Uc|  
    SNAP \}P3mS"e3  
    SYNO 50
;.Zgt8/.  
Hz ) Xn\x  
虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 JfGU3d*c  
如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 K| %.mc s4  
此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。  O{R)0&  
让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 `d2 r5*<  
这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。
-+?ZJ^A   
这是最终设计的FLUX图:
eS-akx^@  
曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样?
|L[/]@|  
    SYNOPSYS AI>OPD L{1MyR7`I+  
JN)@bP  
        SYNOPSYS AI>SFA 5 P 2n+tc  
 vX1 8 ]  
        ID LASER BEAM SHAPER                       115            20-MAY-17   13:32:54 1[p6v4qO{  
        SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS /|Z_Dy  
znnnqR0us  
        FRACT. OBJECT HEIGHT               HBAR      0.000000   GBAR      0.000000 Yw=7(}  
        COLOR NUMBER                          1 e_=TkG1E6  
=Ot|d #_  
         REL ENT PUPIL   WAVEFRONT ABERR 3D 4-Wo4  
              XEN            OPD (WAVES) $ /`X7a{  
        ________________________________ Qe4O N3X!  
        0.200             -0.000865       0.400 =T!eyGE  
        -6.675373E-05       0.600 ]QC9y:3  
        0.000361 ;P *`v  
             0.800             -0.000651 :3b.`s(M  
             1.000             -0.000791
aAKwC01?  
C&|K7Zp0v  
这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! 9*Q6/?v  
为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前:
8;Zz25*  
    STORE 9 =j~BAS*"  
    CHG 2nf<RE>  
    1 SIN bog3=Ig-  
    1 TH 0 Ie4\d2tQ;  
    CFIX mF:Pplf<  
    END 3iM7c.f*/  
    DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE hT`fAn_  
    GET 9
+pPfvE`  
'B:8tv  
这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 j*\oK@  
现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。
dBw7l}  
    ADEF 3 PLOT ADEF a[Nm< qV05  
    4 PLOT
`>0%Ha   
w_h{6Kc<  
这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: nW)?cQ I  
ADEF 3 FRINGES
,eGguNA9  
这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。

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