SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
8>Du 7MO 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 (Bt;DM#> 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: D|TLTF" RLE ZI58XS+ ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file NV8]#b WA1 .6328 ! Single wavelength FgOUe UNI MM ! Lens is in millimeters wTTTrk OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. ezcS[r 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . #"Eks79s 2 RD -5 TH 2 GTB S UsLh)#}h SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog /B,B4JI)/ 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find =$b-xsmeG !spacing so ray height is 5 mm on next surface 2q"_^deI5* RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 0rk u4T +P[88! UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. ]`zjRRd 7 ! Surfaces 6 and 7 exist N@cMM1 7o;x (9 AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. |`w$|pm= END ! End of lens input file. 9U2Px$E K4j@j}zK9I 优化命令如下 v[R_S CHG j';n8|Y9 NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 _qY`KP" 4 PIN 2 lir&e
9I+ 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 T@(6hEmP, END cJP'ShnCh 7^B3lC) PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 m9#}X_&x VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 nHSTeFI? VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 }US7Nw VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 GS}0;x VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 }l.KpdRT2 VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 OYBotk]{1 VY 3 G 6 {V[Ha~b%* VY 3 G 10 k?^%hO>[ VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 jZrY=f VY 4 G 6 S\B5&W VY 4 G 10 "3@KRb4f END De;, =BSp "\`>2 AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 /r-8T>m AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 EtGH\?d~] ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 q;p.wEbr4U ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 >[K0=nA LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 ]a)IMIh; M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 0HjJaML M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 ,MRvuw0P f](I.lm: M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 YjFWC!Qj$ M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 *0O<bm M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 E\w+kAAf M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 Q5g,7ac8L M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 m6-76ma,hi M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 b<\$d4Qy M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 MM7"a?y) M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 P2>:p%Z M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 >
9o{(j M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 [4Y[?)7 M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 i9KTX%s5^ M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 T\jAk+$Jo M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 INOH{`}Ew M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 &%6NQWW M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 }0Y`|H\v M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 Hv3W{| M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 )R~a;?T_c0 M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 rxs8De M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 uw_H:-J M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 !Pw$48cg GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 #L\o;p( GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 V+46R
] END A9t8`|1"%H ~*,Wj?~+7 SNAP ^eobp.U SYNO 50 b]w[*<f? # J]~ 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 a/34WFC 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 |f<9miNu 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 <z',]hy 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 Z&A0hI4d 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 5:$Xtq 这是最终设计的FLUX图: ~U9q-/(J/ 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? [$;,Ua-mt SYNOPSYS AI>OPD OMvT;Vgg s047"Q SYNOPSYS AI>SFA 5 P P0)AUi !x8kB
Di, ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 D!S8oKW SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS /w0w*nH [T-*/}4$ FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 5*Btb#: COLOR NUMBER 1 # v+;: QypZH"Np REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR |WBZN1W) XEN OPD (WAVES) y`6\L$c ________________________________ 9ZhDZ~)p, 0.200 -0.000865 0.400 =6fB*bNk] -6.675373E-05 0.600 BtzYA" 0.000361 H~eGgm;p 0.800 -0.000651 94y9W# 1.000 -0.000791 #hy+ L {l@WCR 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! 0X#+#[W 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: 2
ZK%)vq0 STORE 9 -zdmr"CA CHG +X[8wUm|^ 1 SIN WI{ ;#A 1 TH 0 [Teh*CV CFIX >9MS"t END 9OfU7_m DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE )T/J GET 9 7VY8CcL p_r4^p\ 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 ` .$&T7 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 &//2eL ADEF 3 PLOT ADEF 5e8xKL 4 PLOT +!><5 _N@(Y : 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: 3e *-\TP- ADEF 3 FRINGES #N$9u"8C 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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