SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
Cr4shdN34 ?qw&H /R 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 27E6S)zv 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: bI@+Or RLE vf~q%+UqK ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file 8:L%- WA1 .6328 ! Single wavelength ZHICpL UNI MM ! Lens is in millimeters v.cB3/$z OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. 8S@ ~^D 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . wv
,F>5P 2 RD -5 TH 2 GTB S
~ceGx SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog QXq~e 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find ^gH.5L0]gH !spacing so ray height is 5 mm on next surface \?GUGs RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 sryujb., K,|Gtaa~ UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. 0FjSa\ZH 7 ! Surfaces 6 and 7 exist 1<<`T%& 0d`s(b54;O AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. {NKDmeg:D END ! End of lens input file. &>@nW!n
u {TzKHnP 优化命令如下 }N2T/U CHG Kdx?s;i NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 KTBsH; 6 4 PIN 2 @XDU!<N 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 sTeL4g|%{ END g}$]K!F =
Yh>5A PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 K^A\S VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 _
97F VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 T9RR.
ng VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 qK.8^{b VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 H:,rNaz7D^ VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 !(uyqplTk VY 3 G 6 V2i*PK
X VY 3 G 10 ?%;7k'0" VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 yFl@z VY 4 G 6
Rc0OEs%7P VY 4 G 10 HR\yJt END o`M7:8G 8.{5c6G AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 >Ah [uM AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 <3O> ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 1W$ @ V! ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 -zN*2T LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 a&.8*|w3 M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 ,D+pGxbr
M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 ;[ pyKh UXDd8OJL M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 'r(}7>~fC M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 zK k;&y|{ M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 db@i*Bf M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 (/v(.t M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 Cb x/ M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 u~bk~3.I M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 J6n@|L!yO M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 ,l&Dt, M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 qg'RD]a> R M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 jC@$D*"J M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 eqZ V/a M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 A%k@75V@ M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 8JJqEkQ M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 CS:j-> M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 Wf-i)oc4I M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 i`FevAx;[m M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 t}c ymX~ M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 {tOu+zy M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 V~+Oil6sa M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 eL0U5># GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 J)x-Yhe GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 SBzJQt@Hs END ltwX- -,uTAk0+@ SNAP O B_g:T SYNO 50 i,8h
B(M! !)?n n3 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 =XzrmPu 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 4fT,/[k? 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 b" 1a7 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 (]w_}E]N 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 VY<$~9a&1 这是最终设计的FLUX图: Xjw>Qws 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? $.a<b^.Xi SYNOPSYS AI>OPD }JeGjpAcV 4&r[`gL SYNOPSYS AI>SFA 5 P ^vn8s~# 6y)TXp ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 Pv17wUB SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS ?T3zA2 "T=Z/@Vy FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 P(l$5x]g, COLOR NUMBER 1 ^HgQ"dD
< ` .|JTm[ REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR j1Fy'os"! XEN OPD (WAVES) r{!]`
'8 ________________________________ )e d5~ok 0.200 -0.000865 0.400
?3D|{ -6.675373E-05 0.600
0w>V![ 0.000361 NoTEbFrV 0.800 -0.000651 wN>k&J 1.000 -0.000791 DzydS=`w i ?&t@"' 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! m2F2
为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: V(I!HT5.W STORE 9 5%BexIk CHG IFcxyp 1 SIN /2N'SOX 1 TH 0 VkTdpeBV CFIX mk(O..)2 END |5oK04< DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE x' >Nz{B,P GET 9 @}eEV[Lli f!%G{G^` 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 Veo*-sl 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 B>Tfyo ADEF 3 PLOT ADEF
J@sH(S 4 PLOT K&Ner(/X`6 }(k#,&Fv` 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: d3-F?i
5d ADEF 3 FRINGES ^0)Mc"&{ 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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