SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
C~a-R# \!,@p e_ 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 / =2 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: }w8:`g'T0/ RLE y~pJ|E ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file f ")*I WA1 .6328 ! Single wavelength @AU<'?k UNI MM ! Lens is in millimeters :]oR x OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. o`]u& 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . @( H 2 RD -5 TH 2 GTB S ce\ F~8y SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog ghd*EXrF
H 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find &r
Lg/UEV- !spacing so ray height is 5 mm on next surface |KxFiH RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 h_Cac@F0 ^UAL5}CQt UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. =D2x@ank[ 7 ! Surfaces 6 and 7 exist *PjW, 9@."Y>1G AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. ^#VyI F3q END ! End of lens input file. "'
hc)58y ) b
vZ~t+^ 优化命令如下 -6KGQc}U CHG Q}MS $[y NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 dT9!gNvQ 4 PIN 2 S@a#,,\[ 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 v8xNtUxN END UldG0+1d Xbb('MoI63 PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 ~"+Fp&[9f VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 `2@t) : VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 eSgCS*}0$z VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 {IW pI * VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 m1k+u)7kD VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 XHu2G t_ VY 3 G 6 N +9`'n^x VY 3 G 10 |*im$[g=- VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 K~_[[)14b VY 4 G 6 4u
zyU_ VY 4 G 10 pA*cF!tq7 END bX:ARe
O U'st\Dt AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 =_`4HDr AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 E:N~c'k ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 $:%?-xy( ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 I T)rhi: LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 K bY5
qou M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 i`^`^Ka M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 hY.zwotH %/:{x()G
M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 fL8+J]6A6 M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 !TRJsL8 M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 {iqH 27\E M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 $e; _N4d^ M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 OgNt"Vg M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 JU7EC~7|2c M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 RpE69:~PV M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 )POuH*j M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 k=<,A'y-/ M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 9&=~_,wJd M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 b:Lp`8Du M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1
t]Xdzy M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 xV'\2n=1T M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 )g:\N8AZK M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 FLO#!G M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 Ctxs]S tU% M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 c,1Yxg]| M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 &UUIiQm~ M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 :J-@+_J M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 8YAUy\ GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01
c<j2wKz GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 ~jb6 END E0^~i:Mk @8TD^ub SNAP pq6}q($Rk SYNO 50 8oG0tX3i 1O1/P,u+ 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 I_J;/!l= 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 ?5nF` [rx 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 ZD] ^Y} 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 ,V3P.ni] 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 ^zHBDRsb2F 这是最终设计的FLUX图: wAxXK94#3 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? f0fN1 SYNOPSYS AI>OPD iIq='xwa9 #CoJ S[t SYNOPSYS AI>SFA 5 P I|JMkP F_=RY] ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 pGz-5afL SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS +?n81|7` w{Wz^=';
FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 716JnG> COLOR NUMBER 1 *z`_U]tP "jzU` REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR gk\IivPb XEN OPD (WAVES) _niXl&C ________________________________ JS r& S[ 0.200 -0.000865 0.400 A^_BK(EY -6.675373E-05 0.600 s)#FqB8 0.000361 )_OKw?Zi 0.800 -0.000651 /c~z(wv 1.000 -0.000791 SsfnBCVR 1`N q
K 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! ppjd. 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: @ 9D, f STORE 9 f(
5c CHG Yjv}@i" 1 SIN {wRs V=* 1 TH 0 7.$0LN/a!Z CFIX 3'6%P_S END cj@Ygc)n DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE .`&($W GET 9 ~h6aw QWv+Ja 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 bB'iK4 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 ,qV8(`y_ ADEF 3 PLOT ADEF *|ez |*- 4 PLOT jKZJ0`06q WY#A9i5Ge 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: W/9dT^1y4' ADEF 3 FRINGES * F%Wf 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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