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optics1210 2018-09-05 09:58

SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器

sr sDnf  
;Pnz4Y4|eU  
在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 aYkm]w;C  
让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件:

|\*7J!Liv  
RLE  }aRV)F  
ID LASER BEAM SHAPER     ! Beginning of lens input file "+[:\  
WA1 .6328               ! Single wavelength $e_A( |  
UNI MM               ! Lens is in millimeters b-@6w(j  
OBG .35 1               ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. lnEc5J@c>i  
1 TH 22                ! Surface 2 is 22 mm from the waist . d /+sR@\  
2 RD -5 TH 2 GTB S "$;=8O5O  
SF6     ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog ` Cdk b5  
3 UMC 0.3 YMT 5          ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find U z>5!_  
!spacing so ray height is 5 mm on next surface iL)q':xz  
RD 20 TH 4 PIN 2          ! Guesses for surface 4 s{2BG9s  
&-470Z%/  
UMC 0 TH 50           ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. '{@hBB+ D  
7                    ! Surfaces 6 and 7 exist 8G?'F${`  
XD<7d")I  
AFOCAL                       ! because they are required for AFOCAL output.  2(YZTaY  
END                    ! End of lens input file.
dur}3oS0p  
P)XkqOGpT9  
优化命令如下
$Ud-aRlD  
    CHG t7H2z}06=h  
    NOP                  ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 9qc1^Fs~  
    4 PIN 2 o 4L9Xb7=G  
    5 TH 10 UMC 0         ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 S&Q1Ky^  
    END )Mx[;IwE  
MGCwT@P  
    PANT                   ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 \5BI!<  
    VLIST RAD 2 3 4 5   ! Vary four radii. 四个半径变化 f9cS^v_:  
    VLIST TH 3          ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 U\&kT/6vh  
    VY 3 CC              ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 C eNpJ  
    VY 4 CC              ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 p4\%*ovQt  
    VY 3 G 3            ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 {:$0j|zL1  
    VY 3 G 6 Wct +T,8  
    VY 3 G 10 Ro*$7j0!Hf  
    VY 4 G 3             ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 yb2*K+Kv  
    VY 4 G 6 VjS %!P  
    VY 4 G 10 h `d(?1  
    END @tdX=\[~  
jJg9M'@2!  
    AANT                   ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 7 6~x|6)  
    AEC                   ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 h6}oRz9=g  
    ACC                   ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 mHE4Es0  
    ASC                   ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 y%Ui)UMnw]  
    LUL 100 1 1 A TOTL  ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 E1_FK1*V;  
    M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 ,-ZAI b*  
    M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 %;(+s7  
#\"8sY,j  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 %@'9<i8o  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1     ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 +^{;o0kcx  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1     ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 w:I^iI .  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 yL^1s\<ddW  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 BP6;dF5 E  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 l"p%]\tZ  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 KOv ar0  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 )zlksF  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 6C9KT;6  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 .Ej `!  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 g-U'{I5F  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1  N c F  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 G1  %c<1Y  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 Hq8<g$  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 V=Iau_  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 9-eYCg7C|  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 zNuiB LxDs  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 }P#%aE&-  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 us\@n"  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 JXUnhjB,B  
    GSO 0 .01 10 P          ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 g3 6oEz~|  
    GSR 0 50 10 P           ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 SE)_5|k*  
    END T5)Xl'Q  
z{bMW^F  
    SNAP S&}7jRH1  
    SYNO 50
cveTrY}g  
c!T^JZBb  
虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 daE/v.a4|  
如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 1GN>,Lb: o  
此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 9G` 2t~%  
让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 E^zgYkZO  
这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。
ZZ A!Y9ia2  
这是最终设计的FLUX图:
d%Jl9!u  
曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样?
kX zm  
    SYNOPSYS AI>OPD GBzC<e#  
J?)vsnD.H  
        SYNOPSYS AI>SFA 5 P fc._*y#AS  
54WM*FZ  
        ID LASER BEAM SHAPER                       115            20-MAY-17   13:32:54 okoD26tK  
        SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS 6%H8Q v  
)|@b GEk  
        FRACT. OBJECT HEIGHT               HBAR      0.000000   GBAR      0.000000 cR}}NF  
        COLOR NUMBER                          1 SJoQaR,)>  
v Q[{<|K  
         REL ENT PUPIL   WAVEFRONT ABERR W:O<9ZbQ_  
              XEN            OPD (WAVES) T#6']D  
        ________________________________ ~fI&F|  
        0.200             -0.000865       0.400 >&TSz5Q  
        -6.675373E-05       0.600 fO[X<|9  
        0.000361 3H%R`ha  
             0.800             -0.000651 pRx^O F(3  
             1.000             -0.000791
Vo+d3  
~"\sL;B  
这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! +L;[-]E8  
为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前:
`!S5FE"-  
    STORE 9 7{RI`Er`  
    CHG @g9j+DcU  
    1 SIN .{k(4_Q?I  
    1 TH 0 Re5m  
    CFIX KSIH1E  
    END aO.'(kk8  
    DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE d8<Lk9H9R  
    GET 9
`]\4yTd  
)b m|],'  
这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 7loCb4Hv  
现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。
$5GvF1  
    ADEF 3 PLOT ADEF $Rv}L'L  
    4 PLOT
H. uflO  
x,E#+ m  
这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: jz't!wj  
ADEF 3 FRINGES
 twz  
这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。

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