SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
D:.1Be`Tv {Q/_I@m]. 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 +sm9H"_0 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: i"GCm` RLE !wr2OxK* ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file 3aERfIJyE WA1 .6328 ! Single wavelength h/xV;oj UNI MM ! Lens is in millimeters Nu4PY@m]C OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. <E1ngG 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . T(q/$p&q 2 RD -5 TH 2 GTB S =&x
u"V SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog /=+Bc=<lZ 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find Yue# !spacing so ray height is 5 mm on next surface cIB[D. RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 Y8@TY? )^[PW&=W|x UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. ~(Xzm 7 ! Surfaces 6 and 7 exist K;P<c,9X/ 4fgYO] AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. 5"^Z7+6 END ! End of lens input file. +H6cZ, M 0Vs9K= 优化命令如下 %P HYJc CHG 2e*"<>aeq NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 v i~NfD@s 4 PIN 2 RDsBO4RG 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 )Nkf'& END /A"UV\H`f rlP?Uh PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 zOsk'ZE& VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 "C'T>^qw* VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 SioP`*,} VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 `R@b`3*%v VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 -E,p[Sp VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 vq-#%o VY 3 G 6 Z?j4WJy-[ VY 3 G 10 ,; k`N`#' VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 &N:`Rler VY 4 G 6 {/}p"(^ VY 4 G 10 iiD}2yb END
iJVm=0WS^ P)rz%,VF+ AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 <EM'|IR? AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 (c|Ry[$| ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 ^<w3i?KPW ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 r0j+P% LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 P-)`FB M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 tr-muhuK M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 ) ={
H C*&FApG M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 I_3{i`g M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 X].Igb)2 M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 SnFAv7_ M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 Bl*.N9* M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 _ m<@ou7 M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 1qd(3A41 M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 E=L1q) M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 %W,V~kb M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 R/@n+tbe M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 WN3]xw3 M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 n2;Vrs,<1& M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 %w#8t#[,6 M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 ;k5B@z/<S M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 E0aJ~A(Hv M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 *4?%Y8;bF6 M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 ,<O| Iis M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 2R>!Wj'G+o M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 *@zya9y9q M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 BfdS3VrZ/ M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 ZZJ<JdD GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 "d
c-
! GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 jV~+=(w) END WdJJt2' <-O^ol,fX SNAP S/)yi SYNO 50 MKZq* akV-|v_ 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 RAAu3QKu 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 -i*]Sgese 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 'NSfGC%7R 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 *(CV OY~ 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 z\+Ug9Of 这是最终设计的FLUX图: 4'G osQ85 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? h$$2(!G4 SYNOPSYS AI>OPD QM4O|x[
S- JD}+9 SYNOPSYS AI>SFA 5 P !1[ZfTX^a LQXMGgp ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 9Z
lfY1= SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS 0+6=ag% \CVrLn;} FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 :[!b";pR COLOR NUMBER 1 uow{a*qd6 @ *n oma REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR Z^6qxZJ7 XEN OPD (WAVES) $_Q]3"U ________________________________ }-T
: 0.200 -0.000865 0.400 mae@L -6.675373E-05 0.600 HL~DIC% 0.000361 IyoitIbLl
0.800 -0.000651 NQIbav^5 1.000 -0.000791 yt1dYF0Xq &2,^CG 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! |)+45e 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: QR{>]I STORE 9 zCI.^^<? CHG aqKrf(Rv 1 SIN y_{fc$_& 1 TH 0 Hl=M{)q@ CFIX O[15xH, END ?v}S9z DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE 2}U:6w GET 9 2c%b ~$]Puv1V> 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 j71RlS73 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 k`NXYf: ADEF 3 PLOT ADEF 3.w &e0Es 4 PLOT jq(QL%)_O Uu~~-5 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: /kNSB; ADEF 3 FRINGES } T&~DVM 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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