SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
IPJs$PtKok A@`C<O ^ 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 Q>X ;7nt0 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: >0512_J+ RLE :S,#*rPKBK ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file IMVoNKW- WA1 .6328 ! Single wavelength bcOX/ UNI MM ! Lens is in millimeters YP#OI6u OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. 1AhL-Lj 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . {5*+ 2 RD -5 TH 2 GTB S dLjT^ 9 SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog %d*}:295 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find 2b !b- !spacing so ray height is 5 mm on next surface Rov0 RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 uE/qraA V1(eebi| UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. !n
!~Bw 7 ! Surfaces 6 and 7 exist sba0Q[IY kV-a'"W5 AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. .]8 Jeb END ! End of lens input file. Ph-3,cC $KtMv +m" 优化命令如下 t6LTGWs/_o CHG h~<#1'/< NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 bp5hS/A^1w 4 PIN 2 u*H2kn[DU 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 GfVMj7{ END Qa"R?dfr +>/Q+nh PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 &
yw-y4 = VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 k%uRG_ VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 1eKJ46W VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 'O2{0 VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 I7]45pF VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 e3',? 5j VY 3 G 6 /&vUi7' VY 3 G 10 H2|w
VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 c-`&e-~XKL VY 4 G 6 aiU n
bP VY 4 G 10 #]n[ END 4}96|2L5 >e8t AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 sE]eIN AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 }|Cw]GW ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 )W uuU [( ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 `[Kh[| LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 {}vW= M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 FL0[V, M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 ^Fy)
oWS D[yaAG< M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 )p ,-TtV M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 _d)w, ;m# M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 z_r W1?| M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 hF!yp7l; M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 rJD>]3D 5p M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 (w4#?_ M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 sK}Ru?a) M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 7{/qQGL M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 0nG&
LL5 M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 ,_P(!7Z8 M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 3p$ZHH.UP M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 ]X@/0 M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 6'|J
; M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 2 R 1S>X M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 Y==# yNwM M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 yu3EPT!~ M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 hq(3%- 7& M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 k$3.FO" M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 5N`g M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 ojtc Kw GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 g 9>p?XY GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 A7~)h}~ END K#+TCZ, V>4 !fD= SNAP plb'EP>e SYNO 50 ely&'y! ra$_#HY 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 KDg!Y(m{ 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 Xqf"Wx(X 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 ~sMn/T*fv 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 + +D(P=4hi 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 .E[k}{k, 这是最终设计的FLUX图: d=N5cCqq 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? wz>j>e6k` SYNOPSYS AI>OPD 9bqfZ"6nXY -wvJZ SYNOPSYS AI>SFA 5 P o6Vc}jRH ctH`71Y ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 ~wh8)rm SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS "AUY+ LN H)t8d_^|j FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 mZMLDs: COLOR NUMBER 1 EDL<J1% /of,4aaK7 REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR R"=G?d) XEN OPD (WAVES) PNg, bcl ________________________________ is#?O5:2 0.200 -0.000865 0.400 {Qlvj.Xw -6.675373E-05 0.600 xxiEL2"`> 0.000361
%|l*=v 0.800 -0.000651 $;$_N43 1.000 -0.000791 ]#+fQR$! vF1]L]z:? 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! w9c 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: cp[4$lu STORE 9 a;([L8^7$l CHG g%[lUxL 1 SIN Tx],-
U 1 TH 0 !63x^# kg CFIX M^k~w{ END /d8PDc " DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE Sf
lHSMFw GET 9 3ef]3 sh E>gTe 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 &YqgMC 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 ?w /tq! ADEF 3 PLOT ADEF F7cv`i?2." 4 PLOT PL%_V ?z 0.t;i4 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: krI<'m;a ADEF 3 FRINGES h-Ffs 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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