SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
X55Eemg/ QpS0iUG 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 7u,56V?X 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: Um;ReJ8z RLE .qy._C2(
ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file :::"C"Ge WA1 .6328 ! Single wavelength W>dS@;E UNI MM ! Lens is in millimeters |k)h' ? OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. z|}Anc[\ 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . Qz{:m 2 RD -5 TH 2 GTB S s?=f,I SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog >2Al+m<w 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find LB? evewu !spacing so ray height is 5 mm on next surface #E5#{bra RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 -{pcb7.xuv %whPTc0P UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. \PU|<Ru. 7 ! Surfaces 6 and 7 exist
?.|qRzWL W3{k{~ AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. +q)
^pCC END ! End of lens input file. RFDwL~-p W)<us?5Ec5 优化命令如下 t=iy40_T CHG } UHuFff, NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 Jnb>u*7, 4 PIN 2 *7nlel 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 KSqWq:W+ END v)d\
5#7 _tb)F"4V PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 3VB{Qj VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 7tUl$H;I/R VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 KxGK`'E'r VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 8>T
' VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 JDD(e_dw VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 t{Q9Kv VY 3 G 6 QlSZr[^v VY 3 G 10 K
S,X$)9 VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 Ue^upx VY 4 G 6 bMxzJRrNg VY 4 G 10 ka[]pY END ts{Tk5+ }PK8[N
AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 +g/y)] AP AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 jQj`GnN| ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 ]{0
2! ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 ^$6EO)< LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 kZ[E493bV M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 &xj?MgdNL M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 &`Z>z T} !n}"D:L( M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 -$QzbRF5R M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 ]Yp;8#:1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 ?Sh]m/WZd[ M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 /U`"Xx M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 va:5pvt2& M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 8)\ ?6C M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 ';^VdR]fk M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 Cz+`C9# M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 MIsjTKE M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 %S.
_3`A M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 ^GD"aerNr M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 2!QJa= M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 Z_zN:BJ8L M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 /3Zo8. M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 fk<0~tE M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 -v/1R1$e1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 P6!c-\ M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 C?fd.2#U M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 I%ivY M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 1aP3oXLL GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 ~Y7>P$G) GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 ,6=j'j1#a END 1Mn=m w _D1Uc| SNAP \}P3mS"e3 SYNO 50 ;.Zgt8/. Hz) Xn\x 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 JfGU3d*c 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 K|%.mcs4 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 O{R)0& 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 `d2
r5*< 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 -+?ZJ^A 这是最终设计的FLUX图: eS-akx^@ 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? |L[/]@| SYNOPSYS AI>OPD L{1MyR7`I+ JN)@bP SYNOPSYS AI>SFA 5 P 2n+tc vX1 8
] ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 1[p6v4qO{ SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS /|Z_Dy znnnqR0us FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 Yw=7(} COLOR NUMBER 1 e_=TkG1E6 =Ot|d #_ REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR 3D 4-Wo4 XEN OPD (WAVES) $ /`X7a{ ________________________________ Qe4O N3X! 0.200 -0.000865 0.400 =T!eyGE -6.675373E-05 0.600 ]QC9y:3 0.000361 ;P
*`v 0.800 -0.000651 :3b.`s(M 1.000 -0.000791 aAKwC01? C&|K7Zp0v 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! 9*Q6/?v 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: 8;Zz25* STORE 9 =j~BAS*" CHG
2nf<RE> 1 SIN bog3=Ig- 1 TH 0 Ie4\d2tQ; CFIX mF:Pplf< END 3iM7c.f*/ DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE hT`fAn_ GET 9 +pPfvE` 'B:8tv 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 j*\oK@ 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 dBw7l} ADEF 3 PLOT ADEF a[Nm<
qV05 4 PLOT `>0%Ha w_h{6Kc< 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: nW)?cQ
I ADEF 3 FRINGES ,eGguNA9 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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