SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
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ez) 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 /AK*aRU^ 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: u+%)JhIp RLE 2N6Pa(6 ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file x(C]O, WA1 .6328 ! Single wavelength ]3gYuz| UNI MM ! Lens is in millimeters nG&w0de<> OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. FiV^n6-F` 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . *T.={>HE8 2 RD -5 TH 2 GTB S '0\0SL SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog rC=p;BC@dD 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find Up]VU9z !spacing so ray height is 5 mm on next surface oN1!>S9m RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 "cnG/{($* }M"-5K} UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. y>)mSl@1y 7 ! Surfaces 6 and 7 exist
y)N.LS &* V0( AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. &%_y6}xIw END ! End of lens input file. S*~Na]nS0 R7\{w(`K 优化命令如下 zJB+C=]D7H CHG :Olj NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 ~Mg8C9B?%3 4 PIN 2 @B>%B EC 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 Ymrpf END 44/0}v] \K4CbZ,. PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 "K4X:|Om" VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 oHP>v_X VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 7|{%CckN
VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 ;X9MA=b VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 D_,_.C~O VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 'vf,T4uQ" VY 3 G 6 e+]YCp[( VY 3 G 10 "6[Ax{cM VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 d-A%ZAkE] VY 4 G 6 0qaG#&! VY 4 G 10 K>DnD0 END CwCo"%E8} z9uEOX&2\ AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 hg86#jq% AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 3'gd'`Hn/ ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 4`^TC[ ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 '3Lx!pMhN LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 w
oY)G7% M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 U4mh! M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 v J,xz*rc` *YEIG#` M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 `rOe5Zp$ M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 `OF;>u*:
M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 {?h6*>-^Z M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 +kdU%Sm M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 ,XF6Xsg2 M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 FdK R{dX} M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 ggYIq*4 M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 'amex M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 w4&v( m M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 U:5*i M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 D?&w:C\&@z M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 }@Ll!, M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 4HYH\ey M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 jAQ)3ON< M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 1J!tcj1( M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 [wpt[zG M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 zs]>XO~Jg M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 zqE8PbU0M; M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 =4%WOI M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 (x*2BEn| GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 qo&SJDG GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 YJtOdgG|q END v:;C|uE| &hM,b!R| SNAP $K>d \{@+7 SYNO 50 {<V|Gr m`4j|5 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 ^/RM;`h0 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 a0v1LT6 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 eVbh$cIrZ 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 IEKX'+t' 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 )~o`QM+ 这是最终设计的FLUX图: o@V/37! 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? 3By>t!~Q SYNOPSYS AI>OPD y`P7LC F@*r%[S/ SYNOPSYS AI>SFA 5 P oz5lt4 t6U+a\-< ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 S
g_?.XZc[ SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS ]r{#268 [>QsMUvak FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 1PjX:]: COLOR NUMBER 1 :\HN?_?{4 cH8H)55F REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR #JT%]! XEN OPD (WAVES) MyR\_)P? ________________________________ t"@|;uPAu 0.200 -0.000865 0.400 TbUkqABm -6.675373E-05 0.600 qb/!;U_ 0.000361 pmXWI`s 0.800 -0.000651 ="PywZ 1.000 -0.000791 gZuR4Ti gM/_:+bT>P 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! kJ:5msKwC 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: G}OrpPP STORE 9 6(;[ov1 CHG J'&?=| 1 SIN m`w6wz 1 TH 0 53#5p;k
CFIX *h8XbBZH END Kof-;T DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE ,DsT:8 GET 9 Z|7I }i < 2r#vmM 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 2/W0y!qh1 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 uqH! eN5 ADEF 3 PLOT ADEF :=KGQ3V~eK 4 PLOT FP
cvkXQD 2yg'?tpj 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: ]7ZC>.t
ADEF 3 FRINGES Z-=7QK.\{ 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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