SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
X3ZKN; I6S>*V 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 >F/E,U ] 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: 8|\xU9VT RLE *$mb~k^R ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file =~dsIG WA1 .6328 ! Single wavelength ^{E_fQJX UNI MM ! Lens is in millimeters vQDR;T"] OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. 90H/Txq 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . Y&i&H=U 2 RD -5 TH 2 GTB S -W|~YK7e SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog $u)#-X;x 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find PK_2 !spacing so ray height is 5 mm on next surface ItAC=/(d RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 4!?4Tc!X a3He-76 UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated.
Bf W@f 7 ! Surfaces 6 and 7 exist KkR.p,/ H;FzWcm AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. oV~S4|9: END ! End of lens input file. eN m
Wul CY!H)6k 优化命令如下 Jf@Xz7{z CHG !~-@sq NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 !VvM 4 PIN 2 dmMrZ1u2 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 M%Q_;\?] END ` ^z
l = $^#q0Yx PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 +^4HCyW VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 ]:4\rBR3 VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 P;ZVv{mT VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 ]v$ 2JgF]@ VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 O%Qz6R VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 ORfMp'uP= VY 3 G 6 )Qo^Mz VY 3 G 10 !Jaj2mS.N VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 ip*UujmNyR VY 4 G 6 !nF.whq VY 4 G 10 }&EdA;/o_ END 2]tW&y_i SFqq(K2u AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 :IozWPs* AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 S&'-wAEd ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 )fc+B_ ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 IXR%IggJA LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 z*N%kcw" M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 asYUb&Hz88 M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 <I2~>x5db ;]%Syrzp M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 1]7v3m M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 b.xG' M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 {XLRrU!* M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 k,r}X:<6jz M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 2:6lr4{uY M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 e~$aJO@B.R M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1
NF_[q(k' M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 &LhR0A M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 u4:6zU/{ M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 .gw6W0\F M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 +3-f$/po M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 ~fz9PoC M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 <T$rvS M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 ->@iw!5xu M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 ^
}|$_ M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 rmhL|!
Y M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 8fQXif\z M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 )oMMDHw\ M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 q&: t$tSS M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 nD{{/_"' GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 -$(2Z[ GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 B|-W END y~rtYI
V}q=!zz SNAP ^FK-e;J SYNO 50 W_|7hwr C*Dco{
EQ> 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 ?"T *{8 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 r59BBW)M 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 IjRUL/\= 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 #!]~E@;E 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 PkDh[i9Z| 这是最终设计的FLUX图: f,8PPJ:, 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? gg
:{Xf*` SYNOPSYS AI>OPD ":01M},RA ;)!);q+ SYNOPSYS AI>SFA 5 P DbH'Qs?z Hr=?_Un" ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 -KiI&Q SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS kC0^2./p lAPPng` FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 ZG_iF# COLOR NUMBER 1 pt9fOih[ ROr| < REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR 0|`iop%(n XEN OPD (WAVES) .\|}5J9W ________________________________ HmRmZ3~ 0.200 -0.000865 0.400 M7\K iQd -6.675373E-05 0.600 Rc`zt7hbJ 0.000361 $WZHkV 0.800 -0.000651 5OHF=wh 1.000 -0.000791 MF4B 2d Cg%}= 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! v^1n.l %E 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: %CG=mTP STORE 9 8\e8$y3 CHG p(S {k]ZL@ 1 SIN 3>buZ6vh 1 TH 0 )W3kBDD CFIX k\lU
Q\/O5 END \%]!/&>{6 DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE QhmOO-Z? GET 9 _Wo(;'. <|4L+?_(& 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 `Bv, :i 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 %51HJB}C] ADEF 3 PLOT ADEF 5*r5?ne 4 PLOT .7MLgC; MD=!a5' 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: R ;3!?` ADEF 3 FRINGES RV, cQ K 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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