SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
H~FI@Cf$L @}
Ig*@ 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 QoYEWXT|g 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: CV0id&Nv RLE 72, m c ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file C~2!@<y WA1 .6328 ! Single wavelength a&'9[9E1 UNI MM ! Lens is in millimeters SW9
C
8Q OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. -DkD*64wu 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist .
y-hTTd"{ 2 RD -5 TH 2 GTB S 'C5id7O& SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog ZVXPp-M 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find `0Udg,KOs !spacing so ray height is 5 mm on next surface V#Wy`
ce RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 ]o'o
v f\
P0% UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. ]W3_]N 3 7 ! Surfaces 6 and 7 exist %M96m t=Oq<r AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. /#00'(oD END ! End of lens input file. iYr)Ao5X s~7a-J 优化命令如下 "}3sL#|z CHG k7U.]#5V NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 wh(_<VZ 4 PIN 2 y_9\07va< 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 z@`o(gh END UV2W~g J_7w_T/ PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 %V=%ARP| VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 !
yJ0Am> VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 RL` jaS?V VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 z\eQB%aM VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 #]dm/WzY VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 b|_e):V| VY 3 G 6 1i#y>fUj VY 3 G 10 E7O3$B8 VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 9JdJn> VY 4 G 6 ;87PP7~ VY 4 G 10 sV#%U%un END k<1i.rh f(y+1 AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义
P7w
RX F{ AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 P6_Hz!vE ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 frcX'M}% ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 Lyc6nP;F
LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 +2{ f>KZ M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 6c!F%xU} M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 CWeQv9h]X LZ)g&A(j? M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 Pyuul4( M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 pJFn
8&!J M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 n>)aw4 M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 %fF,Fnf2 M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 qeM DC#N M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 6],?Y+_;)L M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 #[bosb!R M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 -n7@r M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 v/
Ge+o0K M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 ~2>A dp M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 J3y_JoS M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 jvQ^Vh!mC M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 _Yo)m|RaB M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 koT3~FK M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 n#}@|"J M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 9gA@D%0 M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 B=*0 M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 Aq(cgTNW M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 r??_2>Q M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 O^\:J2I( GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 4Yvz-aSyO GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 k(G6` dY END P]m{\K s YTJ^K d SNAP KK 7}q<&i SYNO 50 @MibKj>o %!iqJ)*~ 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 oC"
[rn 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 wDi/oH/H 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 wxBHlgK4z 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 nY MtK 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 "tl{HM5u 这是最终设计的FLUX图: ue3 ].: 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? k-&<_ghT \ SYNOPSYS AI>OPD (su7*$wV xppnBnu$7 SYNOPSYS AI>SFA 5 P _t,aPowX Q^<amM! ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 f'ld6jt|% SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS .feB
VRg zU[o_[+7^ FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 Wj3i*x$
COLOR NUMBER 1 PO5,lcBD< .]exY
i REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR O:I]v@ XEN OPD (WAVES) ta.Lq8/ ________________________________ ;4-$C =& 0.200 -0.000865 0.400 %_n%-Qn -6.675373E-05 0.600 v9J1Hha# 0.000361 d. d J^M 0.800 -0.000651 'r=2f6G>cP 1.000 -0.000791 gWjYS#D fqbWD)L] 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! W`LG.`JW 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: c^"4l
9w STORE 9 prM)t8SE CHG J|jvqt9C 1 SIN `dF~' 1 TH 0 msw'n CFIX ;R&W#Q7>3 END &b~X&{3, DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE f.` 8vaV GET 9 vD2(M1Q }x$@j 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 VQf^ y q 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 U`N?<zm<oO ADEF 3 PLOT ADEF .>,Y
| 4 PLOT 4D5Wse 3qGz(6w6E 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: )Dms9: ADEF 3 FRINGES @lM-+q(tl 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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