首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 金属银掉膜问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

chenliang1990 2018-08-28 16:37

金属银掉膜问题

各位大神,请教一个关于镀银的问题,金属膜银镀完后保护膜脱膜,用3M胶带拉扯掉后面的保护膜,AG不会掉。请问有大神们什么好的改善方法吗?谢谢 &~KAZ}xu  
制程:合金打底+AG+AL2O3-(加热340度烘烤70分钟)+SIO2+TI3O5+SIO2+TI3O5+SIO2
ouyuu 2018-08-29 00:39
AG层后为什么镀AL2O3,然后加热烘烤又是什么原因? 0CpE,gg  
AG层后直接SiO2/TiO2做过吗?
chenliang1990 2018-08-29 09:45
ouyuu:AG层后为什么镀AL2O3,然后加热烘烤又是什么原因? 4YgO1}%G  
AG层后直接SiO2/TiO2做过吗? (2018-08-29 00:39)  M=54xTh0Y  
> zfFvx_q  
镀完AG后再镀AL2O3和加热烘烤是保护AG,让AG的牢固性更强。AG层后直接度SIO2/TI3O5也做过,效果也不好,都是后面的几层掉膜,AG不会掉膜。大神有什么好改善措施吗?谢谢您!
johnyu 2018-09-03 16:37
你是用3M哪個型號的?610?還是啥 +45.fo  
I23"DBR3  
你是說你試過 ct@3]  
quS]26wQz  
1)Sub+ag+tio2? vDIsawbHD  
&ZL4/e  
2)Sub+ag+sio2? x^Zm:Jrw~  
D67z6jep(  
這兩種你試過了嗎? L;=3n[^x  
AquO#A[,#  
若無,就找一個接近於此基板的材料當緩衝層吧 \olY)b[  
xYY^tZIV  
ouyuu 2018-09-03 22:19
镀膜的温度是多少度?真空度又是多少? =@D H hg  
以前做过铝膜后镀保护膜的,没有碰到过你这种现象。
onlye 2019-01-29 13:54
增加一层Cr
xiezhizhi 2019-11-19 07:56
Cr十AG+AL2o3(190℃)+SiO2 |S]T,`7u  
可以试一下,我们在用这个工艺
18319405642 2021-05-02 09:31
用al2o3打底
查看本帖完整版本: [-- 金属银掉膜问题 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计