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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ \!+#9sq0  
_SW_I{fjr  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ K;,_P5J%  
&n}eF-  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 _3;vir%)  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 m j!P ]  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  p bT sn  
[8h~:.d`  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  )Z.M(P  
vrr` ^UB2  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) KD*q|?Z  
鍊藥不用通氧、製程要 NA<6s]Cs.  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ,<cF<9h  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 n?EL\B   
M,WC+")Z=  
by{ *R  
OM1pyt  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) HcKZmL. wp  
鍊藥不用通氧、製程要 6IQkP9P(  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 +mqz)-x  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 O@gHx!L  
....... (2018-08-30 11:38)  ,7{}}l  
]PI|Xl  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 +l,6}tV9  
OlV'#D   
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) t;~H6  
\B<A.,i4  
要通氣體 + ion beam s7~[7  
Q5N;MpJ-  
不能融溶表示功率不太夠 T P5?%SlJ  
PilV5Gg  
加油 D#~S< >u@  
KC`~\sYRN]  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 NdS6j'%B@7  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) 9\/T #EP  
要通氣體 + ion beam 8"M*,?.]  
....... (2018-09-03 16:10)  z_dorDF8`>  
',Mi D=_  
谢谢，大神
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