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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ =>.DD<g"  
,$o-C&nC  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ i$g|?g~]  
NywB 3  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 Lq3(Z%  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 %'K+$  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  |\yDgs%EGy  
oW\Q>c7 =  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  Luu-c<*M  
55)ep  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) 22H=!.DJ  
鍊藥不用通氧、製程要 T<_1|eH  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Kk"B501  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 c_j )8  
bN~'cs8 e  
[~rk`  
,L;c{[*rh  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) r}M4()9L  
鍊藥不用通氧、製程要 GHrT?zEX  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 *j;r|P;g  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 * =N 6_  
....... (2018-08-30 11:38)  Bc ,z]  
.j@n6RyN  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 H[yLl v  
^x#RUv  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) .aRxqFi_  
y#W8] <dS"  
要通氣體 + ion beam G+yz8@  
`6F8Kqltr  
不能融溶表示功率不太夠 FnU;n  
{ J%$.D(/  
加油 `SbX`a0p2  
Ss/="jC  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 aT[7L9Cw  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) @x4Dt&:"  
要通氣體 + ion beam 2 {0VyLx  
....... (2018-09-03 16:10)  #a:C=GV;4  
F*H}5yBp_:  
谢谢，大神
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