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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ _2Sb?]Xn  
9(?9yFbj5  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ eliT<sw8  
s*`_Ka57]~  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 oBZ\mk L  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 C\%T|ZDE  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  71euRIW'5  
9o)sSaTx=  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  "Wz8f  
7Shau%2C  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) <v=$A]K  
鍊藥不用通氧、製程要 ]|JQH  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 .j et0w  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 I45 kPfu  
K20,aWBq;3  
pwF+ZNo  
%>p[;>jW  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) O[|_~v:^  
鍊藥不用通氧、製程要 N!//m?}  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 XxYwBc'pc  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 zcy`8&{A<?  
....... (2018-08-30 11:38)  J'E?Z0  
?$Dc>  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 ?{;7\1 [4  
P8X59^cJ  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ?orLc,pU^  
DC~1}|B"  
要通氣體 + ion beam ;04< 9i  
[#SiwhF|  
不能融溶表示功率不太夠 m++=FsiX=  
r h c&#JS  
加油 \>tx:;D3  
8 KRo<  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 }nptmc  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) Fw8b^ew  
要通氣體 + ion beam }lP`3e  
....... (2018-09-03 16:10)  qYQ vjp  
ZcN#jnb0/  
谢谢，大神
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