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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ u]2k%TUY  
)/ZSb1!  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ c:6w >:  
E^YbyJ=1  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 YHA[PF   
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 D5pF:~tQ(j  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  EKPTDKut  
u-{l,p_H  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  "&#W Mi  
|3:=qpT-  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) n [Xzo}  
鍊藥不用通氧、製程要 A>t!/_"  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Zng` oFD  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 Z4AAg  
U`9\P2D`/  
%HF$  
pR6A#DgB  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) j$|j8?  
鍊藥不用通氧、製程要 ^fE\S5P  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 hB P$9GR  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 r;cI}'  
....... (2018-08-30 11:38)  d^Zo35X  
Iuu<2#gb8"  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 qXrt0s[  
b:FEp'ZS  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ;!l*7}5X=  
{WYu 0J@  
要通氣體 + ion beam U^[cYTG  
<OR.q  
不能融溶表示功率不太夠 <}28=d  
j}rgO z.  
加油 Q? <-`7  
)g9)IF  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 S-isL4D.Z  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) z'7#"D  
要通氣體 + ion beam dX_!0E[c  
....... (2018-09-03 16:10)  Xl#Dw bx  
M0RRmW@f.a  
谢谢，大神
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