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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ bQ=s8'  
;:^ Lv  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ ox JGJ  
!Pe1o-O  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 7n [12:  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 bbE bf !E  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  % JgRcx  
[K"U_b}w  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  d- Z+fz  
I =tyQ`  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) w (vE2Y ?  
鍊藥不用通氧、製程要 YJ$Vn >6Z  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ex@,F,u>o  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 /el["l  
A;kw}!  
^\7 x5gO  
oUKBb&&O  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) `6BS-AVO7  
鍊藥不用通氧、製程要 5%Fn^u:  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ,~j$rs`Z  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 Nh\8+v*+{  
....... (2018-08-30 11:38)  q@M jeGs%  
(15Yw9Mv  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是  oRbYna?J  
l-^XW?CfL  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) 5KH'|z  
:5cu,&<Gv  
要通氣體 + ion beam 'G3OZj8  
6 pn@`UK  
不能融溶表示功率不太夠 _6-/S!7Y\  
B]KLn?zt5  
加油 <9k}CXv2PK  
'Rh>w=wB'  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 g)D}p@>m  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) i8 ):0  
要通氣體 + ion beam "l,EcZRjTz  
....... (2018-09-03 16:10)  j6HbJ#]  
:(p rx   
谢谢，大神
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