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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ RKZk/ly  
>0okb3+  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ S gsR;)2  
(C[S?@S  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 ?#y<^oNM  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 ]x\wP7x  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  bhYaG i0  
?[">%^  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  #oI`j q  
COafVlJ,l  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) aHw VoT  
鍊藥不用通氧、製程要 AXFVsZH"zi  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 BlCKJp{m$  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 4M}/PoJ  
*KAuyJr  
|Z;Av%%  
!=pemLvH  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) ?h5Y^}8Qg  
鍊藥不用通氧、製程要 m+L:\mvA  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 =<<\Uo  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 o,d:{tt  
....... (2018-08-30 11:38)  rkD(K G9E  
te`4*t  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 tIg_cY_y  
,HkJ.6KF  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) F$caKWzny5  
9O|m# &wa]  
要通氣體 + ion beam 4)`{ L$  
M|\ XFO  
不能融溶表示功率不太夠 Q<M>+U;t  
x[_+U4-/  
加油 //`X+[bMG  
0_ ;-QAd  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 r"c<15g2'  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ~~z} yCl  
要通氣體 + ion beam uvi+#4~G  
....... (2018-09-03 16:10)  'V/+v#V+>  
T=%,^  
谢谢，大神
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