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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ 1GaM!OC9  
1@i|[dq  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ :pp@x*uNP  
H,{WrWA  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 MyJ\/`8  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 "|^-Yk\U  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  Zn{Y+ce7d  
B'D\l\w  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  QX+Xi<YE-  
qx1+'  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) GCj[ySCD  
鍊藥不用通氧、製程要 =eyPo(B  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 +.-g`Vyz*  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 4Ifz-t/  
Nil nS!BM  
u10;qYfL8o  
HV=P! v6  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) Ya}}a  
鍊藥不用通氧、製程要 G!Yt.M 0  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 X o[GD`t  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 5cb8=W -  
....... (2018-08-30 11:38)  -b)3+#f  
)<$<9!L4x  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 jW{bP_,"  
<B'PB"R3y  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) rP#&WSLVj  
=7EkN% V:{  
要通氣體 + ion beam [<sN "  
y(O~=S+<  
不能融溶表示功率不太夠 `~D{]'j  
kG5Uc8 3#G  
加油 ^\r{72!y  
y,K> Wb9e  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 EfkBo5@Qi  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ~M1T @Mv  
要通氣體 + ion beam KuEM~Q=  
....... (2018-09-03 16:10)  t~.^92]s|  
jo<Gf 5  
谢谢，大神
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