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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过?

各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? hO8~Rg   
)wT @`p"4  
HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! B?M&j  
>~_oSC)E  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 l-/fFy)T  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 Ox%.We 5  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  0J z|BE3Y  
Nc_Qd4<[@G  
谢谢,大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧,40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  Z@gEJ^"yA"  
FB }8  
谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) E6+ 6  
鍊藥不用通氧、製程要 =v6qr~  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 kn= fW1  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 0NMmN_Lr  
g93H l&  
get$ r5  
O`TM}  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) _7N^<'B  
鍊藥不用通氧、製程要 I@l }%L  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 {:ZsUnzm  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 u8b^DB#+W  
....... (2018-08-30 11:38)  /YD2F  
BB3wG*q  
谢谢,大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 uM@ve(8\  
mE"},ksg  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) lvk r2Meu<  
qTrb)95  
要通氣體 + ion beam DW0UcLO  
G\/7V L  
不能融溶表示功率不太夠 '-vzQd@y  
%-#rzeaW  
加油 3mH(@ -OA  
BOWR}n!g  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 tk~<tqMq  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) H*VZ&{\7  
要通氣體 + ion beam cH{[\F"Eb  
....... (2018-09-03 16:10)  GZk{tTv  
NI33lp$V  
谢谢,大神
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