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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ *?z0$Kz<,[  
P+!"wX0*N  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ KjFK/Og.  
cXR1grz  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 /erN;Oo%<  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 s$DrR  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  y^Vw`-e  
V (rr"K+  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  Di=9mHC  
dl l%4Sd  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) 6ri#Lw  
鍊藥不用通氧、製程要 dEp/dd~(&  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 $zkH|] zZ  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 u/AT-e r;  
~U}Mv{ y  
R[A5JQ$[  
\gccQig1CJ  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) i wz` x  
鍊藥不用通氧、製程要 nL;K|W  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 92(~'5Qr  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 3Wj,}  
....... (2018-08-30 11:38)  %<S7  
XIN5a~[z*  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 ^fZGX<fH   
9L=;KtE1  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) nh.b/\o  
B}k'@;G  
要通氣體 + ion beam Q2R-z^pd  
1HXlHic  
不能融溶表示功率不太夠 0Q*-g}wXfS  
u S(@?m$  
加油 P7Z<0Dt\}  
Z]e4pR6!  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 CL EpB2_  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) J.*[gt%O|  
要通氣體 + ion beam (0X,Qwx  
....... (2018-09-03 16:10)  e!.7no  
5#yJK>a7  
谢谢，大神
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