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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ >y7|@'V[v0  
q;0QI{:5v  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ $yY\[C  
'hn=X7  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 k6mC_  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 8LMO2Wyq  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)   3~mi  
F/ODV=J-  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  /5l"rni   
|A'y|/)#Z  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) xn fMx$fD  
鍊藥不用通氧、製程要 AO R{Xm  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 k`5jy~;  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 2+2Gl7" s  
h2b,(  
R-~ZvVw7L  
8%@![$q<g  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) >8* 0"Q  
鍊藥不用通氧、製程要 f"{|c@%  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 mm l`,t8  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 K&\ q6bU  
....... (2018-08-30 11:38)   y[C++Q  
As y&X  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 :rBPgrt  
-lb,0   
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) \~r`2p-K  
v7h!'U[/  
要通氣體 + ion beam h:4Uv}Z  
F=B[%4q`%  
不能融溶表示功率不太夠 xa=Lu?t%<  
ZNKopA(=|%  
加油 C-}@.wr(  
Ik\n/EE  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 NRI @M5  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ng6".u9  
要通氣體 + ion beam 1KMSBLx  
....... (2018-09-03 16:10)  9{cpxJ  
2e<u/M21>  
谢谢，大神
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