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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ ley: =(  
;wvhe;!  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ 4! V--F  
q_ |YLs`  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 mU3 @|a/@0  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 l".LtUf-  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  <oc"!c;T  
|H LU5=Y  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  RW#&f*  
Zi0B$3iOb  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) w4S0aR:yL  
鍊藥不用通氧、製程要 \5]${vs&s  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 !zd]6YL$  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 7nzNBtk  
'pJ46"D@m  
TTJFF\$?  
>O{[w'sWa  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) Orb('Z,-3  
鍊藥不用通氧、製程要 J>I.|@W4  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 QKj-"y[  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 -Y*"!8  
....... (2018-08-30 11:38)  *, /ADtL  
UDJ{ iZ  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 ?s4-2g  
Y9b|lP7!  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) 3GH@|id  
rf2+~B{$,  
要通氣體 + ion beam E%R^ kqqr  
N;<.::x  
不能融溶表示功率不太夠 X8F@U ^@  
{Vc%ga|E  
加油 d)'am 3Q  
n*tT <  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 8(yZX4OH>  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) z >EOQe  
要通氣體 + ion beam ?gknJ:  
....... (2018-09-03 16:10)  qPh @Bl3  
}ll&qb  
谢谢，大神
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