ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 s$DrR 加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22) y^Vw`-e
yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31) Di=9mHC
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) iwz` x 鍊藥不用通氧、製程要 nL;K|W 之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 92(~'5Qr 之前做紫外的AR 搭配是SIO2 3W j,} ....... (2018-08-30 11:38) %<S7
johnyu:之前做過的經驗是 CL EpB2_ hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) J.*[gt%O| 要通氣體 + ion beam (0X,Qwx ....... (2018-09-03 16:10) e!.7no
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