ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 F|n$0vQ* 加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22) v%l|S{>(
yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31) )>A%FL9
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) y,eoTmaI 鍊藥不用通氧、製程要 ;Cpm3at 之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 t#Yh!L6> 之前做紫外的AR 搭配是SIO2 Z19y5?uR ....... (2018-08-30 11:38) fC:\Gh5
johnyu:之前做過的經驗是 K ajyQ"j hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) lUz@Em 要通氣體 + ion beam mUw,q;{ ....... (2018-09-03 16:10) /J:j'6
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