SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
N?Z+zN&P sYW1T @ 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 j};pv 2 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 g~i''lng RLE L~SrI{aYPf ID FIVE-ELEMENT LENS 124 UvW:# WAVL .6562700 .5875600 .4861300 `"^@[1 APS 5 $A5B{2 UNITS MM K{`2jK# OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 Huug_E+ 25.40000 7k[`]:*o MARGIN 1.270000 ]e#,\})Br BEVEL 0.254001 W? 6 0 AIR :c+a-Py
$E 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 oK(W)[u 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 .wt>.mUH 1 GTB S 'LASFN30 ' &j
wnM 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 !<['iM 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 ID{Pzmt- 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR ^|a&%wxA 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 c=jTs+h' 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 wKeSPs{x 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 Sf.8Ibw 3 CTE 0.830000E-05 \|b1s @c8 3 GTB S 'SF57 ' " N`V*0h 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 M7cI$=G 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 s1*WK&@ 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR x"h)"Y[c5 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 tZc.%TU 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR "8C(_z+]K` 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 6{FS/+ 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 iA{chQBr 6 GTB S 'LAKN12 ' )oz-<zW 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 .-1{,o/&Q 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 3<1HqU 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR G3^n_]Jb 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 NiJ?no 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 6r-<XNv)0 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 F6neG~Y 8 GTB S 'LAKN12 ' %lqG* dRx0 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 Z:o'
+oh 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 zWR*g/i 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 VHXR)} 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 "351s3ff
9 CTE 0.810000E-05 q5K/+N^2? 9 GTB S 'SF6 ' [7Kj$PB3 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 (/rIodHJO 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 #D*J5k>2 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR JwG5#CFu^ 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 L^ jC&
dF 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR {u[K
^G END JXa%TpI:
E kI1{>vYD 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 /\Y%DpG$ 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) _tauhwu PANT Wn9Mr2r!*, VLIST RAD ALL VLIST TH ALL }?ac<> u& VLIST GLM 1 3 6 8 9 END hcqmjqJ `a1R "A AANT gV.Pg[[1 M 1 1 A FNUM _$jJpy M 7.8 1 A BACK HuLm!tCu M 0 1 A DELF 7!QXh;u M 0 1 A SA3 ''
A[`,3 M 0 1 A CO3 sCf(h M 0 1 A TI3 `?S?)0B M 0 1 A SI3 JMe[
.Sx M 0 1 A PETZ ]e3}9. M 0 1 A DI3 moM&2rgdrQ M 0 1 A PAC bJMcI8` M 0 1 A SAC @^4M~F% M 0 1 A PLC kviSQM2 M 0 1 A SLC kk7:A0._ END /v ;Kb|e (/P&;?j SNAP xTawG?"D SYNO 30 oP`M\KXau N %/DN 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 DO,&Foh\ 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! s\1_-D5]Z 我们用命令查看三阶像差 MldL"*HW: THIRD &^D@(m7>{K SYNOPSYS AI>THIRD WatLAn+ \ rWgA ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 U=#ylQ THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS wdDHRW0Y FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT %L|bF"K5; 50.804 25.400 8.958 >\x
39B \B ^sJ[n THIRD-ORDER ABERRATION SUMS 5Cyjq0+ SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION :Ty*i (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) iBW6<2@oZF -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 J0W).mD_H PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS "@?kxRn! AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT cTx/Y&\9 (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) s^@Cq= -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 ]TprPU39 SYNOPSYS AI> cZT.vA# /<(ik&%N 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? 1e| M6* ID FIVE-ELEMENT LENS +7OT`e
%q 7Cp_41._ THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS :%oj'm44! FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT "fJ|DE&@<i 50.800 25.400 8.957 AFUl O9&:(2'f THIRD-ORDER ABERRATION SUMS yC*B OJS SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION w:+#,,rwzV (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) nv
Gd:]Z -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 O +}EE^*a Y rnqi-P PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS &V{,D))6[ AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT ZTC1t_ (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) (,y/nc=GN -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 7f,WzvV qyfxT Q5 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 *%BI*p 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 y.<Y]m 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: 'Rw]
C[ SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO Z-!T(:E] 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 fOervo RLE g$LwXfg ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 @&yj7-] FNAME 'L6L2.RLE ' oF^hq-xcP MERIT 0.145212E-01 LOG 236 IomJo WAVL .6562700 .5875600 .4861300 Q
kpmPQK APS 4 _oVA0@#n GLOBAL 74Wg@!P BQg]$Tr? UNITS MM N\&;R$[9: OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 6\@, Lb 25.40000 .LHe*J C 0 AIR 2=+ ,jX{ 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 =upP3rw 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 dq(L1y870 1 CTE 0.630000E-05 %n,bPa>T 1 GTB S 'SK16 ' A@'W $p?5r 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 W RaO.3Q@. 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 Jz'+@q6h 2 CTE 0.790000E-05 C;>Ll~f_ 2 GTB S 'SF15 ' 7?] p\` 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR RVx<2,[' TH 1.00000001 AIR rM |RGe TH 5.00000000 $c47cJO)W 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 XS/TYdXB8 5 CTE 0.820000E-05 B[V=l<J 5 GTB S 'K5 ' KL`>mJo$ 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR 5Oq ;V:7 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 u)pBFs<dn 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 )>p6h]]a 7 CTE 0.820000E-05 (B#|3o 7 GTB S 'F2 ' &N ;6G`3 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR itvdzPO 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 KZNyp%q 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 .5xg;Qg\Y 9 CTE 0.820000E-05 )v0vdAh'b 9 GTB S 'F2 ' k3XtKPO 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 Q2=~
10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 Um<vsR 10 CTE 0.820000E-05 &pz8vWCk 10 GTB S 'K5 ' =T]OYk 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR {%Sww: 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 h6t>yC\ 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 pnU
g:R@ 12 CTE 0.630000E-05 lR!$+atW 12 GTB S 'SK16 ' 2Oa-c|F 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 B"v=Fr[ 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 M-gjS6c\3 13 CTE 0.820000E-05 9n'p 7(s% 13 GTB S 'F2 ' k~ue^^r} 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR %Z4=3?5B"9 14 CV -0.00120156 3F1Z$d( 14 UMC -0.10260000 !Ao?bs' 14 TH 86.31660394 .bGeZwvf:G 14 YMT 0.00000000 !:5n 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR VUb*,/hxa END %ZK}y{u\ pxj"<q`nw8 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 Xk$lQMwZ 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: 4Q5v8k= 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 BR'|hG THIRD SENS }UrtDXhA ID 8-ELEMENT TELEPHOTO f7'%AuSQ( TfPx NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY |=POV]K PR+!CFi& SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 >. Y~F( SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 V_* ^2c) SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 +,lD_{}_ SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 -)@.D>HsOt SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 \<} nn?~n SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 Ar==@777j SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 K^bn4Nr SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 k$UBZ,=iC J*k4&l 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 >@" j9 M .001 100 A ECD5 O 2U/zF:X mI# BQE`p6 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 LjH];=R 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 hk
I$ow ( THIRD SENS s@$AYZm_ ID 8-ELEMENT TELEPHOTO
-AX3Rnv^! NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 7XNfH@ SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 luMNi^FQ SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 OH~t\fQ1Zf SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 NQAnvX; SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 $spf=t"nh SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 XP7A.I#q0 SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 p,Z6/e[SI SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 _W;u Qg'] 181P;R=}< 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 ;Y"J j M 7 1 A ACT 1pV"<,t lwU&jo*@ 透镜视图如下: L8W3Tpi&( 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) J0#% *B 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 0pR04"`; 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 7v-C-u[E` 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 6-3l6q 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 rLwc=(| M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 r#XDgZtI cZu:dwE 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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