SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
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, JKrS;J^97v 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 ]jiVe_ OS< 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 G3]#Du RLE !\BM ID FIVE-ELEMENT LENS 124 %\|{_]h}y WAVL .6562700 .5875600 .4861300 Olh{<~Fv APS 5 wD$UShnm9- UNITS MM 7hu7rWY`E OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 <HN{.p{ 25.40000 3iX\):4 MARGIN 1.270000 .,#H]?Wil BEVEL 0.254001 X's<+hK& 0 AIR eV(9I v[ 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 bi",DKU{l 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 %yjD<2J; 1 GTB S 'LASFN30 ' L@zhbWY 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 ,d* hhe
1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 < FO=PM 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR U1lqg?KO 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 q3h&V 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 79d(UG'O 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 ,p(&G_ 3 CTE 0.830000E-05 $)8,dS 3 GTB S 'SF57 ' [Y@>,B!V 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 >nih:5J,ja 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 XQfmD;U 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR v*dw'i 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 wD{c$TJ?{F 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR eMFxdtH 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 :lvBcFw 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 ^[Ka+E^Q 6 GTB S 'LAKN12 ' c>>.>^5 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 Z(Y: 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 #RU8yT 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR Vr( Z;YO 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 {]dtA&8( 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 +
Hv'u 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 dY~z6bT 8 GTB S 'LAKN12 ' pPo xx"y 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 DU]KD%kl 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 hKWWN`;b ! 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 E0&d*BI2 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 6},[HpXRc4 9 CTE 0.810000E-05 Nf3UVK8LtS 9 GTB S 'SF6 ' 9:VUtx#}2 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 650qG$ 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 T:m"
eD; 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR Rq[d\BN0.d 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 uZ-ZZE C 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR C}Kl! END GfEWms8z N8#j|yf 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 B,w
ZI4oi* 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) 0*rD'?)K+ PANT ,%l}TSs VLIST RAD ALL VLIST TH ALL <"P-7/j3j VLIST GLM 1 3 6 8 9 END }$L63;/H vI5lp5( -3 AANT X|eZpIA45 M 1 1 A FNUM &s(&B>M M 7.8 1 A BACK je2_.^ M 0 1 A DELF W [K.|8ho M 0 1 A SA3 wT::b V{ M 0 1 A CO3 y*vSt^ M 0 1 A TI3 NzP71t+ M 0 1 A SI3 VK1B}5 / M 0 1 A PETZ /kkUEo+ M 0 1 A DI3 $Emu*' M 0 1 A PAC 5Q"w{ n M 0 1 A SAC l$/lbwi% M 0 1 A PLC kv3Dn&<rJ M 0 1 A SLC 8SKrpwy END 0C/ZcfFU~ }>u `8'2v SNAP @&O4a2+ SYNO 30 xV5UaD< d>8"-$ 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 U"p</Q 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! \?^2}K/ 我们用命令查看三阶像差 tMiIlf!>p THIRD bP9ly9FH SYNOPSYS AI>THIRD {a:05Y Q[7 i ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 4r1\&sI$~ THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS d"#Zp FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT Q]xkDr?
50.804 25.400 8.958 \{lv~I !V37ePFje THIRD-ORDER ABERRATION SUMS - Fbp!*.
u SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION )P:^A9&_n= (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) SE]5cJ'> -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 chE!,gik PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS DdgiY9a. AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT :V)jm`)#+ (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) ZLv/otf:|" -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 &P|[YP37_ SYNOPSYS AI> U+)p'%f; A>yU0\A 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? yS\&2"o ID FIVE-ELEMENT LENS "S%t\ FI$:R THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS :;7I_tb FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT )O~[4xV~ 50.800 25.400 8.957 RU:Rt' F`nQS&y THIRD-ORDER ABERRATION SUMS Iv6 q(c SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION ~-BF7f6C (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) p?:5U[KM -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 @yaFN>w i/ilG3m> PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS WD[eoi AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT c[dzO.~ (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) C8}:z\A_@Z -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 7C{ yNX# jV3PTU 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 8-#%l~dr 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 d,"LZ>hNY* 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: .w9LJ SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO )\fY1WD 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 do}LaUz RLE iEr,ly ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 |@Tga_0p FNAME 'L6L2.RLE ' $"^K~5Q MERIT 0.145212E-01 LOG 236 'x!\pE- WAVL .6562700 .5875600 .4861300 %fqR APS 4 i6`"e[aT[o GLOBAL 6Xlzdt 9t"Rw ns UNITS MM ,BU;i%G&s OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 Wy}I"q[~So 25.40000 QU|_
r2LM 0 AIR y/lF1{}5 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 j9+$hu#a 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 11[lc2 1 CTE 0.630000E-05 $cCC
1=dW 1 GTB S 'SK16 ' M?$[WS 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 ~U9K<_U 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 j i"g)d6 2 CTE 0.790000E-05 ^OR0Vp>L 2 GTB S 'SF15 ' }htjT/Nm 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR =!O->C: TH 1.00000001 AIR eU?hin@X TH 5.00000000 ggr 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 k_al*iM>H 5 CTE 0.820000E-05 0+1wi4wy/ 5 GTB S 'K5 ' WNjwv/ 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR j2Zp#E! 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 H",B[
YK 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 +eM${JyXH 7 CTE 0.820000E-05 yPm2??5MW> 7 GTB S 'F2 ' 3FEJ
9ZyG 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR Zp_(vOc 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 nV;'UpQw 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 hvd}l8 9 CTE 0.820000E-05 S&op|Z)1 9 GTB S 'F2 ' &1xCPKIr 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 mP(3[a_Q 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 ou|emAV 10 CTE 0.820000E-05 n/H
OP 10 GTB S 'K5 ' Qw5nfg3T 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR @=Kq99=\U 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 IUcL* 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 ^[L(kHOGzk 12 CTE 0.630000E-05 JE?p'77C 12 GTB S 'SK16 ' 30Q
p^)K 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 ;t`
?| 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 AKNx~!%2 13 CTE 0.820000E-05 XC4Z ,,ah" 13 GTB S 'F2 ' !*IMWm> 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR |.IH4
K 14 CV -0.00120156 )Nv1_en<! 14 UMC -0.10260000 bQAznd0 14 TH 86.31660394 }2A6W%^>] 14 YMT 0.00000000 "cH RGJG# 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR ?0tg}0| END .p`4>XA 'm%{Rz>j 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 _B4&Fb. 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: G4&s_M$ 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 T X`X5j THIRD SENS 0ju1>.p ID 8-ELEMENT TELEPHOTO t<%0eu| 6 Z/`p~e NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY )n/%P4l CU$khz" SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 0MQ= Rt SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 ."K>h3(&V SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 'X~tt#T SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 ]AP1+
&9fN SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 b^Hrzn SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 sE9FT#iE SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 XGlt^<` SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 :dmE/Tq X/]@EF 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 f49kf** M .001 100 A ECD5 ]!UYl ~{c ?-qb 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 :-&|QVH 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 ;#B(L=/ THIRD SENS U%{GLO ID 8-ELEMENT TELEPHOTO \?bV\/GBR NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 #GsOE#*>T SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 gfk)`>E SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 a"~o'W7 SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 3f|}p{3 SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 [ X*p
[ SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 Wj{lb_Rj SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 pA7-B>Y SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 H$6RDMU :WhJDx`j
即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 ^5 >e M 7 1 A ACT p_r` " CB7dr&> 透镜视图如下: &|SWy
2N 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) !U`&a=k 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 Tw~R-SiS`s 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 }A9#3Y|F 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 ~{x1/eH 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 ` Xc7b M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 ;5a$OM !}*N'; 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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