SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
#;2n;.a )u`[6,d 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 Rx=>6,)' 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 z?*w8kU&> RLE DBr
ZzA ID FIVE-ELEMENT LENS 124 /Y2}a<3&0 WAVL .6562700 .5875600 .4861300 8b;1FQ' APS 5
BdH-9n~, UNITS MM %_%Q8,W OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 kTu[ y; 25.40000 :Ra,Eu MARGIN 1.270000 $m-2HhqZ BEVEL 0.254001 WGZ9B^A 0 AIR \=ux atw 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 aGtf z) 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 dQA'($ 1 GTB S 'LASFN30 ' .ufTQ?Fe 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 S]Mw#O| 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 b((M)Gz 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR QLiu2U o 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 'R'*kxf 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 }o?AP vd 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 #(N+((): 3 CTE 0.830000E-05 !W}9no 3 GTB S 'SF57 ' )I^7)x 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 YSic-6z0Ms 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 keX,d# 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR nG'&ZjA 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 c]n1':FT" 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR F`XP@Xx 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 koZ*+VP= 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 bB1UZ O 6 GTB S 'LAKN12 ' d\|?-hY`[ 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 U4C 9<h& 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 x7!L{(E3 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR mpU$+ 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 v4`"1Ss,K 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 c4^ks&)' 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 >_-s8t=| 8 GTB S 'LAKN12 ' l3Q(TH ~I 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 g9}DnCT*. 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 >>t@}F) 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 z"-u95H 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 g(qJN<RC/ 9 CTE 0.810000E-05 (a.z9nqGA 9 GTB S 'SF6 ' ff,pvk8N5 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 ;o2$
Q 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 [65`$x- 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR 5
ZGNz1)?V 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 N `5,\TR2f 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR j,lT>/ END .f%fHj bLij7K2H 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 )_syZ1j 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) t{^*6XOcJ PANT Ai=se2 VLIST RAD ALL VLIST TH ALL f_jo+z{-ik VLIST GLM 1 3 6 8 9 END "GMBjT8 =.f-w0V AANT AS'R?aX|C M 1 1 A FNUM Z_};|B} M 7.8 1 A BACK 7~^GA.92 M 0 1 A DELF %Gz0^[+ M 0 1 A SA3 nm5cpnNl M 0 1 A CO3 Fq~yL!#! M 0 1 A TI3 ZRh~`yy M 0 1 A SI3 );
!eow M 0 1 A PETZ Bu<M\w?7Y M 0 1 A DI3 g]<4&)~ M 0 1 A PAC I5 o)_nc M 0 1 A SAC $+8cc\fq M 0 1 A PLC fHE<( M 0 1 A SLC @r/#-?W END A!s`[2 Z [,t*Pfq'W8 SNAP L[oui,}_ SYNO 30 @Owb?(6? dt \TQJc~ 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 y I HXg# 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! fxgPhnaC> 我们用命令查看三阶像差 `18qbot THIRD Bn=by{i SYNOPSYS AI>THIRD <Swt); nrL9
E'F' ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 \\r)Ue] THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS a,@]8 r-" FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT 9_L[w\P|4 50.804 25.400 8.958 6]V4muz#c yzbx . THIRD-ORDER ABERRATION SUMS ^crCy-`# SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION E
]A#Uy (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) q
MfT>rH -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 -[*,^Ti` PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS @K\~O__ AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT ^W`<gR (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) O,+1<.;+ -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 j~2{lCT SYNOPSYS AI> y6ECdVF y?[ v=j*U 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? ciFmaM. ID FIVE-ELEMENT LENS V/%>4GYnC Ttu2 skcv THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS $*^kY; FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT s`M9 50.800 25.400 8.957 e}D3d=6` iqC|G/ THIRD-ORDER ABERRATION SUMS oz,np@f)J SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION I?h)OvWd (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) iQ tNAj -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 i2@VB6]? #+:9T/*>0 PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS h%o%fH&F! AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT RHaI ~jb (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) ;+e}aER&9 -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 In:9\7~jC
TC@s
这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 fL_4uC i\ 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 :Ux?, 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: ^`*9QjY SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO 3VsW@SG7N 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 M`. tf_x RLE ujDd1Bxf? ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 ~k\fhx FNAME 'L6L2.RLE ' T_s_p MERIT 0.145212E-01 LOG 236 HTVuStM8 WAVL .6562700 .5875600 .4861300 Hc!
mB APS 4 4~k\j GLOBAL qIVx9jNN xAqb\|$^ UNITS MM E[2m&3& OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 OP~HdocB 25.40000 G^~k)6v=m 0 AIR kY&k-K\ 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 $}<PL}+ 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 w&$`cD 1 CTE 0.630000E-05 )LdP5z- 1 GTB S 'SK16 ' $&y%=-] | 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 h XfQ)$J 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 `s"'r ! 2 CTE 0.790000E-05 o}$XH,-9& 2 GTB S 'SF15 ' XF P atd 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR |2?'9< TH 1.00000001 AIR NMW#AZVd TH 5.00000000 )`SES." 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 iWei 5 CTE 0.820000E-05 <A[E:*`* 5 GTB S 'K5 ' 1QqYQafA 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR 8I-u2Y$Sr 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 _p#CwExuy 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 *v;!-F&8> 7 CTE 0.820000E-05 ST2.:v;lb 7 GTB S 'F2 ' k'gh 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR bBu,#Mc 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000
*-+&[P]m 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 IC#>X5 9 CTE 0.820000E-05 B.wYHNNV 9 GTB S 'F2 ' yW+yg{Gg: 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 !(mjyr 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 >NqYyW,% 10 CTE 0.820000E-05 {kp-h2I, 10 GTB S 'K5 ' }XZ'v_Ti 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR +J_c'ChN 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 k]W[` 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 fXXr+Mor 12 CTE 0.630000E-05 B||*.`3gN 12 GTB S 'SK16 '
<p}R~zk 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 -|kA)M[ 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 mYxuA0/k 13 CTE 0.820000E-05 jYx38_5e 13 GTB S 'F2 ' Wc,_RN- 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR *Nw&_<\9Q 14 CV -0.00120156 *n;!G8\ 14 UMC -0.10260000 ~1cnE:x;V 14 TH 86.31660394 l=]cy-H 14 YMT 0.00000000 ~Cl){8o 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR `kOD[* END 2]I4M[|&z xgABpikC^ 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 %dJX-sm@ 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: 6^%UU
o% 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 BsBK@+ZyI THIRD SENS bQE};wM, ID 8-ELEMENT TELEPHOTO vK 7^*qr;j cYFiJJLG] NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY 0rh]]kj pM x SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 aF)1Nm[ SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 &?VQ,+[< SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 `%CtWJ(e SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 c#a@n 4 SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 w<zIAQN SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 7Ok;Lt!x SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 cS>e? SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 OH;b"] n_$
:7J 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 TS /.`.gT M .001 100 A ECD5 NXwz$}}Pp 6^uq?
由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 eyefW n& 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 pF&(7u THIRD SENS #6ri-n ID 8-ELEMENT TELEPHOTO +hn+K1 NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 RMX:9aQ3F SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 e"/;7:J5\ SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 }tsYJlh5 SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 aD=a , SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 >"gf3rioW SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 :{qv~&+C SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 5V5%/FUm SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 ~(x;5{ HOw-]JSP2 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 r;>*_Oc7g M 7 1 A ACT RMd[Yr2e @.G[s)x 透镜视图如下: x;-.
ZVF 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) ELBa}h; 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 7s"<
'cx_F 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 K3m]%m2\ 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 !lEY=1nHOJ 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 G:<`moKgL M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 u`y><w4i CK:y? 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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