SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
5]pvHc
f?vbIc` 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 sG{f xha 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 OSreS5bg RLE dt&m YSZ} ID FIVE-ELEMENT LENS 124 Yuo:hF\DH WAVL .6562700 .5875600 .4861300 3,`I\>No APS 5 oGt,^!V1 UNITS MM mq
0 d ea OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 *\Z9=8yK 25.40000 gySCK-(y MARGIN 1.270000 T_iX1blrgh BEVEL 0.254001 QS7<7+ 0 AIR dRj2%Q f 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 c12mT(+- 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 (D2G.R\pr 1 GTB S 'LASFN30 ' Z~R7 G 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 e}l F#$ 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 FZL"[3 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR sgYPR 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 jW]Q- 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 `C pfQP&^ 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 `Iwl\x[A 3 CTE 0.830000E-05 u@&e{w~0 3 GTB S 'SF57 ' <pA%|] 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 'q>2WP|UY9 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 xER-TT#S 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR `qoRnG 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 DVJuX~'|! 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR z)tULnR8 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 +O$`8a)m 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 arK(dg~S 6 GTB S 'LAKN12 ' HxUJ 0Q 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 z)%Ke~)<\@ 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 }H#C<:A 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR 3+[; 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 r:{;HM+ 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 )6U6~!k 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 /1@py~ZX 8 GTB S 'LAKN12 ' ^8.s"4{ 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 F\u]X 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 %-?k [DL6 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 P5Bva 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 -HwqR Ys 9 CTE 0.810000E-05 )7c/i+FsC 9 GTB S 'SF6 ' Kz~E"? 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 ?,}:)oA_ 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 hZIbN9)8A 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR i/{dD"HwM 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 mUan(iJ 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR /07iQcT( END u+lNcyp"MW <) cJz 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 zK_Q^M` 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) ,NAwSmocVP PANT _|r/*(hh VLIST RAD ALL VLIST TH ALL h3e
%(a VLIST GLM 1 3 6 8 9 END `\beQ(g ?`=
<*{_o AANT {K N7Y"AI M 1 1 A FNUM ZAJ~Tbm[f M 7.8 1 A BACK RH9P$;.7 M 0 1 A DELF XqLR2d M 0 1 A SA3 &8;Fi2}(L M 0 1 A CO3 uS<og P M 0 1 A TI3 QsX`IYk M 0 1 A SI3 <<DPer2 M 0 1 A PETZ Ts\PZQ!q M 0 1 A DI3 v65]$%F? M 0 1 A PAC EG8%X "p M 0 1 A SAC |Ed?s M 0 1 A PLC FM=XoMP q M 0 1 A SLC i"0*)$
hW END WN $KS"b6} j/8q SNAP ?7#{#sj SYNO 30 Xz?7x0)Z U#x`u|L&6 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 oj=%< a 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! (zPsA 我们用命令查看三阶像差 9ec>#Vxx THIRD B?db`/G9 SYNOPSYS AI>THIRD DaBy<pGb? ta@fNS4 ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 |hS^eK_ THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS e6>[Z C FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT ;Kh[6{ W 50.804 25.400 8.958 g) ofAG2 @X2 zIFm THIRD-ORDER ABERRATION SUMS -k
}LW4 SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION 8M0<:p/ (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) 6>3zD)tG -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 y: ] PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS .E9$j<SP- AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT WOeG3jMz? (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) E#A}2|7,g -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 S\ K[l/ SYNOPSYS AI> hh$i1n (tF/2cZk 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? -UWyBM3c@ ID FIVE-ELEMENT LENS _PLZ_c:O
yjOZed;M THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS pJ
x H FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT /uPMzl 50.800 25.400 8.957 @nnX{$YX \'X-><1 THIRD-ORDER ABERRATION SUMS sHPlNwyy SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION /IG3>|R (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) E*yot[kj -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 _ t.E_K wH\
K'/ PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS a
*bc#!e AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT f*EDSJu\ (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) VrKLEN\ -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 W6)XMl}n Sq5}v]k@& 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 1lsg|iVz 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 ; m:I 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: a~k*Gd( SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO OTEx9 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 u$
vLwJ| o RLE BA9;=orx ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 Qqd +=mgc FNAME 'L6L2.RLE ' SwO8d;e MERIT 0.145212E-01 LOG 236 BPy pA$ WAVL .6562700 .5875600 .4861300 qvs[Gkaa@ APS 4 IFXn GDG$ GLOBAL ?U,Xy xN q#0yu"< UNITS MM wh3Wuh?x OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 ^J@
Xsl 25.40000 F3nPQw{; 0 AIR ?' $}k 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 CbMClnF 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 @iVEnb.' 1 CTE 0.630000E-05 cMfnc.P\K 1 GTB S 'SK16 ' [5]*
Be 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 ^izf&W.j! 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 oTeQY[%$ 2 CTE 0.790000E-05 >SS97 9 2 GTB S 'SF15 ' Egl1$,e 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR <$%Y#I'zX TH 1.00000001 AIR fM<g++X TH 5.00000000 } d7o- 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 U6M&7l8 5 CTE 0.820000E-05 }
ejc 5 GTB S 'K5 ' L
~$&+g 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR D|8h^*Ya 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 wHErF
#xo 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 6oGF6C 7 CTE 0.820000E-05 rzKn5Z 7 GTB S 'F2 ' Wp=:|J 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR s`L>mRw` 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 HF%)ip+ 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 ! ?m8UE 9 CTE 0.820000E-05 HTP~5J 9 GTB S 'F2 ' M5B?`mTl 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 T)cbpkH4 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 3]/Y=A 10 CTE 0.820000E-05 t2z@"e
10 GTB S 'K5 ' c6HH%| 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR ;4(FS 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 ,,(BW7( 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 _MGhG{p7t 12 CTE 0.630000E-05 x;/%`gKn8 12 GTB S 'SK16 ' u=B,i#>s 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 ;Z#DB$o\ 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 mvBUm-X 13 CTE 0.820000E-05 K-7i4
~ 13 GTB S 'F2 ' V,
e 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR b.v^:M 14 CV -0.00120156 zC$(/nZ
14 UMC -0.10260000 }!Xj{Eoc 14 TH 86.31660394 yl~h
`b4 14 YMT 0.00000000 tJ9`Ys 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR ,:/3'L END 51x)fZQ ,9ZN k@q 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 W_G'wU3R 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: 24/ ^_Td 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 .JL?RH2@8 THIRD SENS (yi{<$U* ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 2;=xHt :S{+|4pH NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY v"smmQZik =ZN~*HLl} SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 *.Ceb%W7C SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 6}e"$Ee}9 SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 fwi(qx1=} SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 `}fwR SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 NX:i]t SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 SiQszV.& SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 [0mg\n? SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 =
eDi8A*~ j]5bs*G 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 )%&~CW+ M .001 100 A ECD5 m%km@G$ {QTnVS't 0 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 B>M @ ' 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 @s;qmBX4 THIRD SENS J.QFrIB{]+ ID 8-ELEMENT TELEPHOTO K PSHBv-# NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 k),. SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 \`M8Mu9~w SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 &?#G)suP SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 /<$\)|r SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 Grw|8xN0t SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 ,P9q[
SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 YCd[s[ SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 v5;V$EGD& qKg*/)sD( 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 5u-jjUO M 7 1 A ACT fSFb)+ Vyqj)1Z8> 透镜视图如下: Qs5^kddz= 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) B#T4m]E/ 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 OWRT6R4v 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 e1j3X\ \ 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 9c@."O` 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 09S LQVo M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 z.q^`01/H r#%z1u 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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