SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
= V2Rq(jH !9WGZfK+0Y 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 @t~y9UfF 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 %+=;4tHJ RLE V:GypY) ID FIVE-ELEMENT LENS 124 \1jThJn WAVL .6562700 .5875600 .4861300 zXx/\B$&d* APS 5 X2@Ef2EkM UNITS MM 9gcW; OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 Jgv Mx 25.40000 A{
~D_q MARGIN 1.270000 zPa2fS8 BEVEL 0.254001 3"7Q[9Oj 0 AIR Ik$$Tn&; 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 9L:wfg}8s 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 lG\uJxV 1 GTB S 'LASFN30 ' \ s aV8U7B 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 ud r\\5 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 Q?i_Nl/| 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR SjB"#E) 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 @W>@6E 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 c$!?4z_. 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 Q38+`EhLA 3 CTE 0.830000E-05 P|<V0
Vs. 3 GTB S 'SF57 ' 7.hBc;%2u 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 UHZ&7jfl 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 {6v.(Zlh$ 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR Wp>t\S~N 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 |+q_kx@?l 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR P+o"]/7U 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 miaH,hm 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 ZOEe -XW 6 GTB S 'LAKN12 ' lH4Nbluc^ 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 |O_JUl 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 no3yzF3Hi 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR n?fy@R 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 |@X^_L.! 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 {Nl? 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 ]ZcivnN# 8 GTB S 'LAKN12 ' Iw`tbN
L[ 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 o1ZVEvp 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 09-8Xzz 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 ~a([e\~ 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 <{kPa_`' 9 CTE 0.810000E-05 >J7slDRo 9 GTB S 'SF6 ' <a"(B*bBd 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 /aI@2] |~ 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 \#HW.5 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR l<+[l$0# 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 teJt.VA7) 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR i!%bz END ~S/oW89 mH$tG
$ 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 }=/zG!+ 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) W#F9Qw PANT 2t\0vV2)/O VLIST RAD ALL VLIST TH ALL nqo{]fn VLIST GLM 1 3 6 8 9 END .yj@hpJM |fgUW. AANT D.a>i?W M 1 1 A FNUM y0d= M 7.8 1 A BACK L+8ar9es M 0 1 A DELF L]kBY2c M 0 1 A SA3 <gF]9%2E M 0 1 A CO3 A9.TRKb=8 M 0 1 A TI3 Vgm'&YT M 0 1 A SI3 VmqJMU>. M 0 1 A PETZ 3=.YQE0!dx M 0 1 A DI3 0SI@`C*1o M 0 1 A PAC [7vV#s3kJ M 0 1 A SAC s * (a M 0 1 A PLC h^\vk!Q-d M 0 1 A SLC RsZj END FH=2,"A z%D7x5!,R SNAP FgH7YkKrD SYNO 30 9^}&PEl H>CbMz1u 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 j$)ogGu 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! p / ITg 我们用命令查看三阶像差 [Z$H<m{c- THIRD ;M3%t=KV SYNOPSYS AI>THIRD UGO#o`.G} (.4lsKN< ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 no*) M7 THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS 4CM'I~ FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT QF>T)1&J[7 50.804 25.400 8.958 nJ;^Sz17Q <O1R*CaP THIRD-ORDER ABERRATION SUMS TDH^x1P SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION |oPRP1F-;e (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) 1@|+l!rYF -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 4,)9@-|0R PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS #LasTN9 AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT ;xwcK-A (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) bIU.C|h@ -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 *5feB# SYNOPSYS AI> HA,o2jZ?In q}LDFsU 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? G=:/v ID FIVE-ELEMENT LENS aZmN(AJ8v ~[%CUc" THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS }Fjbj5w0 FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT j*.;6}\o 50.800 25.400 8.957 %B$ftsYXmu 3}|[<^$ THIRD-ORDER ABERRATION SUMS K0gQr.J53 SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION ^FLs_=E (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) `\UY5n72 -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 11oNlgY& m]n2wmE3n PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS ,:t,$A AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT ^ptybVo (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) N68mvBe -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478
GLf!i1Z $*0-+h 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 -#ZLu. 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 =.3#l@E!C 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: ~F,~^r!Jtu SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO c1Ks{%iA 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 7P<VtS RLE jrQ0-D%M d ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 GAj%o]}u FNAME 'L6L2.RLE ' P73GH MERIT 0.145212E-01 LOG 236 "6jt$-? WAVL .6562700 .5875600 .4861300 3x;UAi+& APS 4 KfiSQ!{ GLOBAL ;I4vPh5Q So1TH% UNITS MM Yz/Blh%V OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 'ZF6 Z9 25.40000 a`'>VCg 0 AIR t.(
`$ 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 Rt#QW*h\|i 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 LSC[S: 1 CTE 0.630000E-05 "
aG6u^% 1 GTB S 'SK16 ' }B-$} 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 =Kkqk 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645
'FXM7D 2 CTE 0.790000E-05 B'yjMY![
2 GTB S 'SF15 ' M{jXo%C 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR /WnCAdDgZ TH 1.00000001 AIR Eg)24C R 4 TH 5.00000000 z 206fF 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 l2LQV]l 5 CTE 0.820000E-05 q=X<QhK 5 GTB S 'K5 ' "L~Oj&AN[ 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR uz!8=,DFw 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 lAN&d;NU6Z 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 g7zl5^o3j 7 CTE 0.820000E-05 nYx
/q 7 GTB S 'F2 ' 63oe0T& 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR TanWCt4r 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 }h^
fX 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 _mqU:?Q5 9 CTE 0.820000E-05 dEk#"cvg 9 GTB S 'F2 ' C'I&< 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 HUx`RX0> 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 0S5xmEzop 10 CTE 0.820000E-05 ;KQU%
k$ 10 GTB S 'K5 ' )Eozo4~ 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR q9vND[BQ 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 q1VKoKb6\: 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 +v
B}E 12 CTE 0.630000E-05 RnH?95n?{ 12 GTB S 'SK16 ' \Eh5g/,[ 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 dUv@u!}B 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 D|zuj] 13 CTE 0.820000E-05 $]|3^(y`` 13 GTB S 'F2 ' c[-N A 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR .s<0}<Aq> 14 CV -0.00120156 jemb/:E 14 UMC -0.10260000 OL\-SQ& 14 TH 86.31660394 A$wC!P|; 14 YMT 0.00000000 b:S$oE 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR zbFy3-R P END fK7
?"^`/ WXxnOLJr 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 +<\LY(o 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: j55_wx@cA 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 xdO3koE: THIRD SENS }5fd:B m; ID 8-ELEMENT TELEPHOTO iFUiw& j&
7>ph NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY [k
7HLn) q_[y|ETJ] SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 x_7$g<n SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 gOg7:VPG SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 %X_A# 9 SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 ;l%xjMcU SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 9Buss+K?/h SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 O]XRalkEM SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 7Q!ksp SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 jga;q uYeb RCdR 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 4(htdn6 \ M .001 100 A ECD5 H{=]94 `RY}g; 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 &~eCDlX/ 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 o135Xh$_>' THIRD SENS P 'h39XoZ ID 8-ELEMENT TELEPHOTO ILCh1=?{9r NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 ;I5P<7VW SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 ?*V\
-7jg SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 Ho(MO!( SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 NzZ(Nz5 SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 ,xU#uyB SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 `n6cpX5 SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 fmYx SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 MZ%J
]Nd ~xG/ yPl 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 7s%D(;W_Mo M 7 1 A ACT N]yT/8 ;jxX /c 透镜视图如下: Pac ^=|h<q 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) t!wbT79/ 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 :#vA5kC 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 ;r2DQg"#@ 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 to13&#o 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 !43nL[] M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 "`K_5"F yPfx!9B 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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