SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
2X*epU_1h jV<LmVcZY 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 BKDWd]KEf 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 #e|eWi> RLE gIRCJ=e[b ID FIVE-ELEMENT LENS 124 AGv;8'` WAVL .6562700 .5875600 .4861300 BMdr.0 APS 5 ;zCHEz UNITS MM +$UfP(XmH OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 VtKN{sSnu 25.40000 ?DRC!
9o^ MARGIN 1.270000 t&&OhHK BEVEL 0.254001 "|Pl(HX 0 AIR #ERn 8k 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 P\M+ZA ; 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 cYp}$ 1 GTB S 'LASFN30 ' 'sA&Pm 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 K&X'^|en 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 JNu - z:J 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR 5sE^MS1 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 G{"1I 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 y&CUT:M6 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 %/^d]# 3 CTE 0.830000E-05 -0]aOT-- 3 GTB S 'SF57 ' b9YpUm7# 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 D~y]d 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 >u4e:/5] 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR uVk8KMYU 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 _4W#6! 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR -m@s
9k 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 /Mk)H
d 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 UP`q6]P 6 GTB S 'LAKN12 ' ;+jp,( 7 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 =&p bh 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 g|zK%tR_P 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR OP&[5X+Y 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 68!]q(!6F 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 Cn55%: 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 ]lo1Kw 8 GTB S 'LAKN12 ' 4w?7AI]Ej 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 g}D$`Nx: 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 |HEw~x<= 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 N\fT6#5B 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 H|Nw)*. 9 CTE 0.810000E-05 IN"vi|1 9 GTB S 'SF6 ' \1Bgs^ 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 "4`%NA 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 K+}Z6_: 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR toWmm(7v 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 ;FmSL#]I 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR d"78:+ END gfYB|VyWo _R<HC 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 42u\Y_^ID 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) !lF^~x PANT n1t(ns| VLIST RAD ALL VLIST TH ALL ypd?mw&1} VLIST GLM 1 3 6 8 9 END | rvr Sab) LnDj AANT V9VP"kD
M 1 1 A FNUM 1FJ[_l M 7.8 1 A BACK $imx-H`| M 0 1 A DELF 64lEB>VNm M 0 1 A SA3 E8i:ER $$7 M 0 1 A CO3 {X$Mwqhpp; M 0 1 A TI3 ,
.I^ekF M 0 1 A SI3 f*],j M 0 1 A PETZ =5`@:!t7 M 0 1 A DI3 q(7D8xG;F M 0 1 A PAC ?a%i|Z7! M 0 1 A SAC @QG1\W' M 0 1 A PLC {H V,2-z M 0 1 A SLC &[RU.Q!_H END f
99PwE(= &w0=/G/T=~ SNAP Elp!,(+&6 SYNO 30 As|/
O7% Z-|C{1}A 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 .LhmYbQ2WE 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! !P$xh 我们用命令查看三阶像差 X t =bc THIRD [MS.5+1Y SYNOPSYS AI>THIRD jyhzLu uw=Ube( ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 \NU[DHrMP THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS l*Ei7 |Z FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT ^ kvH/ Y& 50.804 25.400 8.958 qJU)d +
nS/jW THIRD-ORDER ABERRATION SUMS XL^N5 SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION ^gzNP#A<'o (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) 1omvE9
%zM -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 V^I/nuy PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS t3$gwO$ AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT J~3T8e# (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) "5:f{GfO#v -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 k{jw%a<Sc SYNOPSYS AI> 4QAIQQS 2nkj;x{H$ 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? ~[TKVjyO ID FIVE-ELEMENT LENS jHH "GI&S% F THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS WgJAr73
l FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT @z)tC@ 50.800 25.400 8.957 ZT8Ji?_n 1lyOp THIRD-ORDER ABERRATION SUMS { $/Fk6qr SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION F9P0cGDs (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) nFnF_ -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 Hu8atlpo d[e:}1 PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS k(z<Bm AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT Z,!Xxv;4 (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) 1 {x~iZa -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 ASZ5;N4u yj'' \ 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 ;K\N 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 H!r
Kz 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: *rcuhw"^b# SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO w2N3+Tkg 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 U@J/ RLE 4Sstg57x~ ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 ]Wd`GI FNAME 'L6L2.RLE ' )^f9[5ee MERIT 0.145212E-01 LOG 236 9LO.8Jy WAVL .6562700 .5875600 .4861300 o1X/<.0+ APS 4 &1E~ \8U GLOBAL `bZU&A(`Be 6!%d-Z7) UNITS MM @=NVOJy}c OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 E[3FdX8 25.40000 2r}uE\GN 0 AIR NnLhJPh 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 )yNw2+ ~5 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 6+$d 1 CTE 0.630000E-05 dD^_^'i 1 GTB S 'SK16 ' Uty(sDtu 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 >!Ap/{2 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 {nPkb5xbW 2 CTE 0.790000E-05 RUk<=!U 2 GTB S 'SF15 ' `@$"L/AJ
3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR Z0"& TH 1.00000001 AIR $}^\=p}X TH 5.00000000 F7Dc!JNa 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 a\&(Ua 5 CTE 0.820000E-05 RZd4(7H=q 5 GTB S 'K5 ' p_5>?[TW: 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR I#S~ 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 O~#uQm 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 J[<pZ
[ 7 CTE 0.820000E-05 n4vXm 7 GTB S 'F2 ' +(<n |~ 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR p&OJa$N$[ 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 ) _9e@~, 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 ST:
v3* 9 CTE 0.820000E-05 hnsa)@ 9 GTB S 'F2 ' s-GleX< 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 @cu}3> 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 kj{rk^x 10 CTE 0.820000E-05 //X e*0 10 GTB S 'K5 ' uXQ7eXX 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR xxLgC;>[ 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 KkdG.c' 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 MdVCD^B 12 CTE 0.630000E-05 vn0cKz@ 12 GTB S 'SK16 ' hi {2h04 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 ZSF= 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 |5O >>a() 13 CTE 0.820000E-05 Y8J;+h9 13 GTB S 'F2 ' :7$\X[ 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR nE]~E xr 14 CV -0.00120156 iHE0N6%q 14 UMC -0.10260000 *R_'$+ 14 TH 86.31660394 *Z]5!$UpC 14 YMT 0.00000000 FXOT+9bg 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR Gut J_2f^9 END /<(*/P,> $[M}K 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 y wW-p. 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: A*7Io4e! 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 qJ{r!NJJ
8 THIRD SENS <qbZG}u ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 8!u/
E8T"{
R80 NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY )(h&Q?
Ar 9RG\UbX)^| SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 /h?<MI\7V SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 v>#Cg\ SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 v!<PDw2' SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 O`wYMng) SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 jIAW-hc] SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 2
) TG SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 CrnB{Z4L SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 hAV2F# 4R&*&GZ# 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 x @1px&^ M .001 100 A ECD5 KI Ek/]<H -W|*fKN`3 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 98ca[.ui 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 Ey r5jXt%; THIRD SENS N4I^.k<-A ID 8-ELEMENT TELEPHOTO P['X<Xt8 NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 jZXVsd SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 GN\8![J SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 i Td-n9 SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 25x cD1* SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 /a@ k S SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 q<-%L1kc1 SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 mWNR( ()v SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 \Os:6U=X- X3P&"}a 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 ~_ *H)| M 7 1 A ACT |if'_x1V V-[2jC{ 透镜视图如下: n`P`yb\f$ 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) uVN.= 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 VVs{l\$=ZV 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 Hab!qWK` 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 hZ!oRWIU%G 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 j._G7z/LJ M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 {J{1`@ 3"5.eZSOW 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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