SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
!@v7Zu43, )+6MK(<" 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 4F{70"a 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 Ywwu0.H< RLE GN2Sn`; ID FIVE-ELEMENT LENS 124 >qF CB\( WAVL .6562700 .5875600 .4861300 Nal9M[]c APS 5 o !U
6? UNITS MM Cid
;z OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 R~6$oeWAw 25.40000 .;N 1N^ MARGIN 1.270000 %QP0 BEVEL 0.254001 &oX>*6L 0 AIR
w.TuoWo> 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 [D4Es 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 Ll4g[8 1 GTB S 'LASFN30 ' aYSCw3C< 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 ?pd8w#O 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 KGFv"u{ 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR Uw7h=UQh 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 mVpMh#zw 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 \vO,Ee~#W 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 b"{'T]"*j 3 CTE 0.830000E-05 3(,?S$> 3 GTB S 'SF57 ' bXNk%W[n 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 #e$5d>j( 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 A nX%[W " 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR ?snp8W-WB 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 |Ur"&
Z{ 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR ?o|f': 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 jJPGrkr 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 "9Q40w\ 6 GTB S 'LAKN12 ' Z'7 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 L bmawi^ 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 ]Yn_}Bq 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR ~G6Ox)/ 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 W~7A+=& 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 wLnf@&jQ% 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 m3/O.DY%0 8 GTB S 'LAKN12 ' 5lUF7:A># 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 2HsLc*9{4 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 |}di&y@-JI 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 85Otss/mM 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 /k,-P 9 CTE 0.810000E-05 '$ t 9 GTB S 'SF6 ' LAS'u"c| 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 -^hWM}F 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 =E#%'/ A;c 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR J`].:IOh 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 ud'-;W 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR #W.#Hjpp END e9U9Uu[ ?WqT[MnK 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 naR0@Q"\h 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) gL*>[@RO PANT f\sQO& VLIST RAD ALL VLIST TH ALL 9\BT0kx VLIST GLM 1 3 6 8 9 END os:A] )9"_J9G AANT ?En O"T. M 1 1 A FNUM MS
81sN\d M 7.8 1 A BACK _C*fs<# M 0 1 A DELF gf
&Pn M 0 1 A SA3 pUQ/03dp M 0 1 A CO3 eoG$.M" M 0 1 A TI3 BMG3|N^ M 0 1 A SI3 #Oc]
@ M 0 1 A PETZ yDegcAn? M 0 1 A DI3 DpvI[r//'* M 0 1 A PAC OuID%p"O M 0 1 A SAC (mTE;s( M 0 1 A PLC 5A3xVN= M 0 1 A SLC 1VG4S){}\9 END xqG[~)~ !h23cj+V SNAP Gi?/C&1T SYNO 30 K<SyC54 ,*&:2o_r 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 AQ,'
6F9 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! g"p%C:NN 我们用命令查看三阶像差 zuJ@E=7 THIRD #*K}IBz SYNOPSYS AI>THIRD /_AnP Eg#K.5hJ ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 *
KDI}B> THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS *rs5]U< FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT i@)i$i4 50.804 25.400 8.958 v1+3}5b'uF m.#
VYN`+A THIRD-ORDER ABERRATION SUMS p.v0D:@& SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION 8*#R]9 (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) 1PQ~jfGi -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 =[cS0Sy PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS n22zq6m AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT Ln')QN (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) v&Yi -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 c'>/ SYNOPSYS AI> [!HEQ8 2g &:9cAIe]H 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? 4sF"6+%5d ID FIVE-ELEMENT LENS SPX$U5& Wuc S:8#| THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS :dl]h&C^ FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT }Z@ovsG 50.800 25.400 8.957 ~:kZgUP_f rzhWw-GY THIRD-ORDER ABERRATION SUMS %GjM(;Tk SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION eL10Q(;P` (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) ]'!f28Ng- -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 :~e>Ob[," [R(`W#W PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS y~AVei& AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT X^}I-M%{m (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) bv]`!g:
C -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 b~KDP+Ri bf ]f=;.+ 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 2,$8icM 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 !;&p"E|b# 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: D.B.7-_8 SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO .zA^)qgL 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 y I HXg# RLE >Wm`v.- ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 gp};D FNAME 'L6L2.RLE ' 0bceI MERIT 0.145212E-01 LOG 236 >BIMi^ WAVL .6562700 .5875600 .4861300 ?*[N_'2W+ APS 4 3GaQk- GLOBAL 8p^bD}lN7 bR*-Ht+wd UNITS MM 1->dMm}G[ OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 {C 6=[ 25.40000 8{wwd:6 0 AIR C]O(T2l{l 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 _X^1IaL 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 6Z>FTz_ 1 CTE 0.630000E-05 @K\~O__ 1 GTB S 'SK16 ' f/
?_ 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000
"9ZID-~] 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 b*;Si7- 2 CTE 0.790000E-05 [.O?Z=5a[V 2 GTB S 'SF15 ' IpINH3odT 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR r@72|:, TH 1.00000001 AIR nF54tR[ TH 5.00000000 ,0~^>K 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 nno}e/zqf 5 CTE 0.820000E-05 r54&XE]O 5 GTB S 'K5 ' @oNH@a
j% 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR dbwe?ksh 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 `>7;! 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 opY@RJ] 7 CTE 0.820000E-05 L6t+zIUc-~ 7 GTB S 'F2 ' ^Ew]uN>, 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR nGpXI\K 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 W3]_m8,Z 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 5m*iE*+ 9 CTE 0.820000E-05 Nh8Q b/:: 9 GTB S 'F2 ' c&r70L, 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 (n*^4@"2 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 g-Mj.owu= 10 CTE 0.820000E-05 ^`*9QjY 10 GTB S 'K5 ' Sc>,lIM 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR WzPTFw[ 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 KX76UW 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 C\S3Gs 12 CTE 0.630000E-05 zjJ *n8l 12 GTB S 'SK16 ' VvvRRP^q 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 *i\Qo 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 B( ]M& 13 CTE 0.820000E-05 J4QXz[dG 13 GTB S 'F2 ' -l`f)0{ 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR YNLV9.P6 14 CV -0.00120156 N^#ZJoR 14 UMC -0.10260000 )T/0S$@ 14 TH 86.31660394 ge,H-8'Z 14 YMT 0.00000000 88VZR&v 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR hU(umL< END 19&<|qTz vX{J' H]u 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 )jU)_To 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: nc~F_i= 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 I
CZ4A{I THIRD SENS '[U8}z3 ID 8-ELEMENT TELEPHOTO j K!Au VbJiZw(aR NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY I, -hf=- ||T2~Q*:y SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 sc|_Q/`\. SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 ?{\nf7Y SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 4zASMu SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 )hd@S9Z.Y SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 ]=.\-K SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 ;o^eC!:/% SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 !;EjB*& SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 P<PJ)> B\<Q ;RI2; 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 +EFgE1w M .001 100 A ECD5 ,LTH;<zB) :}yi-/_8! 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 *meZ8DV2DH 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 P7J>+cm THIRD SENS
:l~ I ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 8MK>)P o) NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 VcAue!MN SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 8yRJD[/S SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 {p)",)td SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 b^ L
\>3 SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 ]Oh@,V8 SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 * 1T& SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 l*ayd>`~x SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 oE<`VY| tna .52*/ 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 y#>,+a#5 M 7 1 A ACT uG?_< mun O>qll6]{@ 透镜视图如下: un shH < 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) 6$fHtJD: 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 Dakoqke 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 - d8TD*^ 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 8j Mk)- 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 K2he4< M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 WF2}-NU" <!L>Exh&r 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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