SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
`M6)f?|$. PPsE${! 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 \73ch 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 }(u
ol RLE P!k{u^$L ID FIVE-ELEMENT LENS 124 TL#3;l^ WAVL .6562700 .5875600 .4861300 }ad|g6i` APS 5 jc9y<{~x/ UNITS MM U
m+8"W OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 i}?>g -( 25.40000 #.[k=dj MARGIN 1.270000 >LuYHr BEVEL 0.254001 Tm?# M&' 0 AIR TS5Q1+hWHV 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 dgePPhj
1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 ?bu>r=oIO] 1 GTB S 'LASFN30 ' vfo~27T{( 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 ?z
u8)U 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 e(G|;a 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR vr^qWn 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 8\gjST* 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 Na Cy@ 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 `P ,d$H " 3 CTE 0.830000E-05 SX-iAS[< 3 GTB S 'SF57 ' ;A!BVq 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 v*yuE5{ 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 F4{IEZ 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR )\^-2[; 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 8Q+36! 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR dcT80sOC 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 TuqH*{NNy9 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 G*v,GR 6 GTB S 'LAKN12 ' jF*j0PkNdb 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 lb1Xsgm{ 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 Om {'1 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR C"enpc_C/ 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 01o4Th m 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 Y[S1$(K&* 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 HUO j0T 8 GTB S 'LAKN12 ' ]M'=^32 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 M&
CqSd 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 5NLDYi@3 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 BL58] P84 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 vVcob}ZH 9 CTE 0.810000E-05 H 7
^/q7 9 GTB S 'SF6 ' =E{`^IT'R 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 k-""_WJ~^ 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 9]@!S|1 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR W+1^4::+ 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 *4_Bd=5(U 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR /|#fejPh END f:P}*^
Gw 5nVt[Puw 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 /JU.?M35 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) K 'I#W
lg PANT ?b5^ VLIST RAD ALL VLIST TH ALL S>;
5[l 4 VLIST GLM 1 3 6 8 9 END eKqk= ( #yvGK:F AANT _t}WsEQ+P M 1 1 A FNUM {2"zVt#h M 7.8 1 A BACK `pZm?}K M 0 1 A DELF ##4HYQ%E M 0 1 A SA3 !FF U=f M 0 1 A CO3 7i1q wRv M 0 1 A TI3 uhutg,[ M 0 1 A SI3 $]2vvr M 0 1 A PETZ "8zDbdK M 0 1 A DI3 %GIr&V4| M 0 1 A PAC 01(AK% e M 0 1 A SAC _2 osV[e M 0 1 A PLC ;mKb] M 0 1 A SLC '(jG[ry&T END R
.2wqkY L\z~uo3: SNAP %BB%pC SYNO 30 eO[b1]WLP 57'4ljvYi 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 sds"%]rg 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! IRqy%@) 我们用命令查看三阶像差 ,izO{@We2{ THIRD d9|<@A SYNOPSYS AI>THIRD {U !g.rh P J[`| ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 =[jXe THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS }|5Pr(I FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT ~2khgZ 50.804 25.400 8.958 J`1rJ g5r(>, vY THIRD-ORDER ABERRATION SUMS x.R4%Z SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION mBON$sF| (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) "|KP'<8% -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 x;<W&s}( PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS [0D.K}7| AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT WVvvI9 (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) <dhM\^[ -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 O463I.XAP SYNOPSYS AI> | (_ gCY';\f! 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? C8i^P}y ID FIVE-ELEMENT LENS ]~hk6kS8Q ZbAcO/ THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS $z*'fXg FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT l0A&9g*l2 50.800 25.400 8.957 \d$!a5LF} _b;{_g THIRD-ORDER ABERRATION SUMS /FEVmH?
SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION aPbE;"
f (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) I"7u2"@-8j -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 ,{?%m6.lE h2;F PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS 7o5BXF AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT
_~ iw[*#u (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) "o}+Ciul -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 #],&>n7' Otm0(+YB7 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 7g}w+p> 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 (,Df^4%7 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: w!clI8v/ SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO 8X)Y^uGGZ 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 i9][N5\$ RLE w%BL ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 /{--+
C FNAME 'L6L2.RLE ' !^Y(^RS@ MERIT 0.145212E-01 LOG 236 ><HE;cVg? WAVL .6562700 .5875600 .4861300 ?o#%Xs APS 4 2Dj%,gaR GLOBAL Qhcu>ra zi*R`;_`, UNITS MM v^iL5y! OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 'qX|jtdM 25.40000 H@8sNV/u 0 AIR "y/?WQ>,3 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 a\YV3NJ/A 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 Y,t={HiclX 1 CTE 0.630000E-05 tc{sB\&- 1 GTB S 'SK16 ' s
15oN 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 Ob&<] 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 ve2u=eQ1 2 CTE 0.790000E-05 ;&-k#PE]/H 2 GTB S 'SF15 ' gz#i.- 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR `W/>XZl+t TH 1.00000001 AIR @eIJ]p TH 5.00000000 xw2[d+mB 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 t$#jL5 5 CTE 0.820000E-05 HLaRGN3, 5 GTB S 'K5 ' {v;&5! s 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR I(7NQ8Hx 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 !fR3(=oN 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 mg.kr: 7 CTE 0.820000E-05 &/]Fc{]^$f 7 GTB S 'F2 ' x!58cS* 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR iaE^a^* 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 q}#6e]t 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 9=h'9Wo 9 CTE 0.820000E-05 OL,TFLn4 9 GTB S 'F2 ' y0.8A-2: 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 0+ ;bh
{Eu 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 8~z~_TD6m@ 10 CTE 0.820000E-05 D}8[bWF 10 GTB S 'K5 ' NmJWU:W_@ 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR O%KsD[W; 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 kbMWGB%; 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 fd<:_f]v 12 CTE 0.630000E-05 k=JrLfD4 12 GTB S 'SK16 ' }"PU%+J 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 eMY<uqdw 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 K<ft2anY5 13 CTE 0.820000E-05 n+q!l&& 13 GTB S 'F2 ' RA'M8:$ 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR ]<rkxgMW> 14 CV -0.00120156 MWpQ^dL_ 14 UMC -0.10260000 $ig0j` 14 TH 86.31660394 {NFr]LGOp 14 YMT 0.00000000 6BbGA*%{ 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR "h a L END y8!4q YS@ypzc/ 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 7k9G(i[-+ 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: RcM/!,B 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 <[\`qX THIRD SENS *|C^=*j9 ID 8-ELEMENT TELEPHOTO }v!$dr,j' _'>oXQJ NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY fW3(&@ 33ef/MElD$ SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 #_J@-f7^ SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 ^O<&f D SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 rrqR}}l SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722
(SDr!!V< SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 L>W'LNXCv SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 bM!_e3ik; SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 >x+6{^}Q > SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 ^*8G8'k;$ )Sg~[WxDv 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 `V]5 sE]G M .001 100 A ECD5 qx8fRIK% kabnVVn~ 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 1H@>/QC 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 I^UC&5dC THIRD SENS /F-qP.<D,r ID 8-ELEMENT TELEPHOTO Jz.NHiLct1 NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 G!W[8UG SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 -pa )K"z SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 Z
X(z;|l45 SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 {fF3/tL SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 FsV'Cu@!U SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 ;WM"cJo9 SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 L z!,kwg SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 X;B\Kj`n !2A:"2Kys: 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 hMUs"
<. M 7 1 A ACT wEE\+3b) o/6-3QUak 透镜视图如下: T:Hr&ws4 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) 8x8uo 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 YN2sdG 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 e2ilB), 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 SAK!z!t 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 S\5bmvqP" M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 YW`,v6 ~ !
3I2 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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