SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
$8=|<vt $eYL|?P50h 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 _p-e)J$7 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 0X=F(,>9 RLE |58HPW9 ID FIVE-ELEMENT LENS 124 \VNu35* J| WAVL .6562700 .5875600 .4861300 Ek_5% n APS 5 5 #K*75> UNITS MM C`[<6>&y
OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 8=`L#FkRp 25.40000 }KI/fh MARGIN 1.270000 r/j:A#6M]o BEVEL 0.254001 X4
Arn, 0 AIR q!$s<n 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 $Nu{c;7" 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 uuC ["Z 1 GTB S 'LASFN30 ' .^Sglo 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 SVe]2ONd 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 n)e2? 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR OETo?Wg1Z 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 ]`/>hH>+~9 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 >JyS@j} 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 7D6`1& 3 CTE 0.830000E-05 vMT f^V 3 GTB S 'SF57 ' 'C1lP)S5 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 $UR:j8C{p$ 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 mmTpF]t
?` 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR *N">93: 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 _U s" 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR DrK]U}3fh" 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 J9Ao*IW~ 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 V8^la'_j 6 GTB S 'LAKN12 ' ABWn49c. 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 ,Z
q:na 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 aLa<zEssz 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR 5,"c1[`- 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 #e'>9T 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 u8Ys2KLpL 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 [G<ga80 8 GTB S 'LAKN12 ' \|HEe{nA 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 m\&|#yq 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 ${f<} 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 m'rDoly"62 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 Y^fw37b 9 CTE 0.810000E-05 c1#0o)q*7 9 GTB S 'SF6 ' 9@ k8$@ 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 #T=iS(i 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 )~
(*q 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR Q:-T'xk@ 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 EXDDUqZ5\ 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR ;wn9
21r END %'Cj~An /<rvaR 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 4V@%Y,:ee 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) vV,TT%J8D PANT gv*b`cl VLIST RAD ALL VLIST TH ALL )w7vE\n3 VLIST GLM 1 3 6 8 9 END RkYdK$|K Nk'<*;e AANT Fs/CW\ M 1 1 A FNUM ? i{?Q, M 7.8 1 A BACK 'S`l[L:.8 M 0 1 A DELF ;uBGB
h< M 0 1 A SA3 (i~UH04r>s M 0 1 A CO3 :""HyjY! M 0 1 A TI3 z|#*c5Y9w M 0 1 A SI3 H*=cw< M 0 1 A PETZ >h7(kj: M 0 1 A DI3 $qNF /rF M 0 1 A PAC .9J^\%JD M 0 1 A SAC Ac:`xk< M 0 1 A PLC L!}!k N:? M 0 1 A SLC \c_g9Iqa END 7HPwlS p6DI7<C<H SNAP \s=r[0tj! SYNO 30 *C_A(n5"V S;~eI8gQ" 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 WVP?Ie8 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! G5}_NS/ 我们用命令查看三阶像差 TU|#Pz7n-Z THIRD S?688 SYNOPSYS AI>THIRD 8zK#./0\ T?8BAxC?K ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 %' DOFiU THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS 5rsz2;#p FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT ?8~l+m6s$ 50.804 25.400 8.958 kV'zAF
v [ V.67_~ THIRD-ORDER ABERRATION SUMS !>48`o^ SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION <cTX;&0= (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) $kUB%\` -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 Vn#}f=u\ PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS %]P{)*y-? AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT >|3Y+X (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) f^pBXz9&= -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 E@ea?Sx SYNOPSYS AI> hz/mNDE] S{^x]h|? 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? |f_'(-v`E ID FIVE-ELEMENT LENS b7.7@Ly
y ka_m
Q<{9 THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS /stvNIEa FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT ]]|#+$ ~ 50.800 25.400 8.957 d+DO}=] @X/ 1`Mp THIRD-ORDER ABERRATION SUMS GCl
*x: SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION wDvu2iC= (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) bF _]j/ -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 Z_GGH2u 8F[];LF> PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS ,!Wo6{' AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT ?o(284sV3 (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) rWr'+v? -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 aen% H9WYt# 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 -mO#HZ Iq 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 lf"w/pb' 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: Do4hg $:40 SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO B Ewa QvQ! 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 Zj[m RLE vjX,7NY? ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 $}vk+.!*1 FNAME 'L6L2.RLE ' i$kB6B#== MERIT 0.145212E-01 LOG 236 t?9J'.p WAVL .6562700 .5875600 .4861300 +2MF#{ tS APS 4 >_j(uw?u GLOBAL JWHsTnB ZV{C9S& UNITS MM U*+-# OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 ^p(aZj3k 25.40000 ((gI OTV 0 AIR Ucv7`W
gr 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000
KTYjC\\G 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 $7YZ;=~B 1 CTE 0.630000E-05 @PM<pEve 1 GTB S 'SK16 ' =cRmaD 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 cn}15JHdR 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 eFsl 2 CTE 0.790000E-05 e/hCYoS1n 2 GTB S 'SF15 ' 'jO2pH/% 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR DOu^
TH 1.00000001 AIR #pZeGI|'J TH 5.00000000 (+gTIcc
> 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 >V8!OaY5n 5 CTE 0.820000E-05 A$p&<# 5 GTB S 'K5 ' wfO-bzdw 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR ,q%X`F
rc 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 %3dc_YPS 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 r.)n>
7 CTE 0.820000E-05 50 w$PW 7 GTB S 'F2 ' :.=:N%3[ 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR l!}gWd,H 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 H,
3Bf 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 ([<{RjPb 9 CTE 0.820000E-05 -W6@[5 c 9 GTB S 'F2 ' 6<@mBZ 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 hqeknTGsIn 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 p p0356 10 CTE 0.820000E-05 a;dWM(;Kw 10 GTB S 'K5 ' wmV=GV8 d 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR rXmrT%7k 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 P'iX?+* 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 mvH}G8 12 CTE 0.630000E-05 BHp>(7, 12 GTB S 'SK16 ' j)G%I y[` 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 G[e,7jev 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 !.%*Tp#k# 13 CTE 0.820000E-05 o#"yFP1 13 GTB S 'F2 ' >/Z*\6|Zx# 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR 8\E=p+C 14 CV -0.00120156 ThP~k9- 14 UMC -0.10260000 /V0Put 14 TH 86.31660394 >"UXY) 14 YMT 0.00000000 DEu0Z 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR 5M> p%/ END Q65M(x+oy %{'[S0 @Z 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 d$o m\@ 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行:
3<.DiY 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 o1 27? ^ THIRD SENS )/f#~$ws ID 8-ELEMENT TELEPHOTO GZ<@#~1%\ T-n>+G{ NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY I;AS.y Dd0yQgCu SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 i:N-Q)<Q*) SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 Z 9cb SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 fFC9:9< SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 xP9R
d/xa| SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 08@4u
L SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 ej7N5~!,s SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 g<F+Ldgj
SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 G@e;ms1 aA*h * 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 [GM!@6U M .001 100 A ECD5 s(5(zcBK f7 ew<c\ 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 F*z>B >{) 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 IY~I=} THIRD SENS p? +!*BZ ID 8-ELEMENT TELEPHOTO ,:
z]15fX NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 "AqLR SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 q}'<[Wg SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 R/B/|x SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 &9Z@P[f SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 kSJ;kz,_ SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 }>f%8O} SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 x`p908S^ SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 U/HF6=Wot pi;fu 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 }!*|VdL0 M 7 1 A ACT Vl(id_~ _ nJgN2Z 透镜视图如下: '&|%^9O/" 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) ~s?y[yy6i 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 B'B0 e` 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 x
`%x f 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 ,
P1m# 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 RU.MJ
kYQ5 M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 lS2`#l > Efd@\m:~> 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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