SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
O1+2Z\F sb"etc`w%- 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 ,J|8P{ZO 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 _ lrCf RLE kW"6Gc&HUN ID FIVE-ELEMENT LENS 124 s2-`}LL WAVL .6562700 .5875600 .4861300 xEt".K APS 5 #HjiE UNITS MM ou;E@`h;x OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 K
!&{k94 25.40000 Y`5(F>/RQG MARGIN 1.270000 &tT*GjPwg; BEVEL 0.254001 *~~&*&+ 0 AIR |{ E\ 2U 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 xE$(I<: 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 1'c 1 GTB S 'LASFN30 ' V)
#vvnq 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 ;Kq/[$~0 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 ZP>KHiA 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR p<5ED\;N; 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 ][b_l(r$? 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 B3Id}[V 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 V=)0{7-9 3 CTE 0.830000E-05 mJBvhK9% 3 GTB S 'SF57 ' ykY#Y}?^ 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 dd+[FU 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 1Ner1EKGp 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR da c?b( 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 {ZiZ$itf 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR RrM C[2=
6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000
~f/nq/8 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 >j [> 0D 6 GTB S 'LAKN12 ' }pP<+U 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 JZQT} 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 E;[ANy4L 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR ,2H@xji
[ 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 y H\z+A| 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 OGgP~hd 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 9.F+)y@ 8 GTB S 'LAKN12 ' }yde9b?F 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 >"^H"K/T 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 uWs5+ 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 oLJP@J 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 w Phs1rL 9 CTE 0.810000E-05 W0vdU;?% 9 GTB S 'SF6 ' {fi:]|<1h 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 $tGk,.#j 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 u`Ew^-"> 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR A"wor\( 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 R)s@2S 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR P<AN`un
END {-28% %G~f> 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 qla$}dnvc 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) 9(.P2yO PANT < *
)u\A VLIST RAD ALL VLIST TH ALL &|t*9D VLIST GLM 1 3 6 8 9 END -p|@En n .}QR~IR' AANT N7A/&~g5L M 1 1 A FNUM <"|BuK M 7.8 1 A BACK Y b57Xu M 0 1 A DELF P{
AJH1 M 0 1 A SA3 -rYOx9P4 M 0 1 A CO3 0E9LZOw4T M 0 1 A TI3 G813NoS o M 0 1 A SI3 <VB;J5Rv M 0 1 A PETZ N
O|&nqq,> M 0 1 A DI3 p4k*vuu> M 0 1 A PAC F\1{b N|3 M 0 1 A SAC tOn_S@/r M 0 1 A PLC a~b^`ykcWP M 0 1 A SLC \IZfp=On END qq0bIfF\4 :-x F=Y(; SNAP Go>_4)jy SYNO 30 VH3j K8 Y/sHl 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 !^ko"^p 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! s_} 1J,Y 我们用命令查看三阶像差 D'y/pv}! THIRD E}S)uI,gn SYNOPSYS AI>THIRD Y
}*[Krw F?]nPb| ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 t\2Lo7[Pu THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS {}ks[%,_\ FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT *c} MI
e'& 50.804 25.400 8.958 g%1FTl 2J;h}/!H THIRD-ORDER ABERRATION SUMS Fwn4c4-% SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION #8.%YG (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) /`yb75 -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 31b9pi}nf PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS n,eO6X 4 AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT ]kC/b^~+m (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) 't3/< h< -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 IZ /M d@C SYNOPSYS AI> {3Z&C$:s RH+3x7l 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? KL]@y!QU ID FIVE-ELEMENT LENS lxTW1kr WZ}c)r*R THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS Lx&2) FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT { Z<4 50.800 25.400 8.957 uZ mi U#v??Sl THIRD-ORDER ABERRATION SUMS LO8V*H( SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION oy90|.]G (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) =8`,,=P^ -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 jdxwS XYD}OddO PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS F-%wOn / AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT HpI[Af}l (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) y~_wr}.CS -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 pQc5'*FKd xcO Si> 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 Y>z~0$ 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 F)4Y;;# 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: r=[T5,L(s SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO )+2GF0% 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 >W[8wR RLE DZGM4|@<7Y ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 )24r^21.q FNAME 'L6L2.RLE ' =s"_! 7 MERIT 0.145212E-01 LOG 236 H3T4v1o6 WAVL .6562700 .5875600 .4861300 ^]}UyrOn APS 4 "`Q~rjc$2 GLOBAL \4y7! !gv/ jdF UNITS MM =}5;rK OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 Gz;.?=&iF 25.40000 <^+~?KDZM 0 AIR 0?525^ 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 E[bJ5o**# 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 !MoJb#B3^] 1 CTE 0.630000E-05 Iy8>9m'5 1 GTB S 'SK16 ' Ndq|Hkd 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 o*H j E 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 SBo>\<@ 2 CTE 0.790000E-05 uev$5jlX 2 GTB S 'SF15 ' wS"[m>.{v 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR :JW!$?s8H TH 1.00000001 AIR qCg`"/0 TH 5.00000000 p$dVGvM( 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 4;@|tC|u 5 CTE 0.820000E-05 86!"b 5 GTB S 'K5 ' t3!?F(& 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR K:&FWl. 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 `HXP*Bp# 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 lquY_lrri 7 CTE 0.820000E-05 i{zg{$ U 7 GTB S 'F2 ' *'=JT# 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR &!uw;|% 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 "X~ayn'@w, 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 .RocENO0 9 CTE 0.820000E-05 dOPA0Ja 9 GTB S 'F2 ' X6s6fu; 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 +-~hl 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 dj,7lJy 10 CTE 0.820000E-05 N=hr%{}c 10 GTB S 'K5 ' g'G% BX 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR 6v7H?4 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 5&]|p'"W\ 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 =/wAk0c^y 12 CTE 0.630000E-05 jT/SZ|S 12 GTB S 'SK16 ' Z(LDAZG 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 iR
j/Tm*T' 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 ]37k\O?vd 13 CTE 0.820000E-05 W!B4~L 13 GTB S 'F2 ' Qzy[ 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR '^pA%I2D 14 CV -0.00120156 |/K+tH 14 UMC -0.10260000 oK1"8k|Z 14 TH 86.31660394 WbZ{)
i 14 YMT 0.00000000 c$aTl9e 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR z-(@j;. END z[:UPPbW sIQd} 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 R=ddQ:W6g 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: g;)xf?A9q 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 1Y iUf THIRD SENS @a,X{0 ID 8-ELEMENT TELEPHOTO seWYY $$ q]Gym 7o NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY Iw(2D(se h*2Q0GRX SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 e;8>/G SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 jSbO1 go# SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 I,dH\]^h= SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 z#*M}RR SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 S^|Uzc SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 F. X{(8 SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 O)C
y4[ SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 rq'Cj<=Zj .QX|:]|n 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 Ijq',@jE M .001 100 A ECD5 s>`$]6wPa {'dpRq{c| 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 hPtSY'_@_ 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 tK)E*! THIRD SENS J \U}U'qP ID 8-ELEMENT TELEPHOTO ]F5?>du@~ NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 xEtzqP<] SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 >*rsR R SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 nW2fB8yq SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 |,CWk|G SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 c"R`7P SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 w^tNYN,i SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 [su2kOX|X SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 VD+TJ` r [.;$6C/? 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 K FV&Dt}< M 7 1 A ACT g(xuA^~J [FLRrTcE 透镜视图如下: =fa!"$J3 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) j>XM+> 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 \/,54c2 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 vgRjd1k.\y 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 MB|+F 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 3~H_UGw M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 -1t"(v
qk~ ni8 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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