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囊中蓄乾坤	2018-08-20 09:43
关于镀金属镍的问题金属镍镀膜用蒸发舟还是电子枪？我用钨舟镀很容易断，不稳定。电子枪用的钼坩埚。镀10-20nm就会报警。不知道用那种方法稳定些。求教！！

ouyuu	2018-08-20 13:24
镍熔点很高，建议用石墨坩埚。 :" JEC' 另外你电子枪是什么牌子？报警什么内容？ -q&,7'V 如果是速率达不到设定值的报警那就速率放低一点。

囊中蓄乾坤	2018-08-20 18:20
报冷却水温度过高。

ouyuu	2018-08-21 17:18
啥设备还监控电子枪冷却水温？我只知道POLYCOLD和冷水机会监控水温。

yzhuang	2018-08-27 10:34
需要石墨坩埚，钼不行，我的实践经验，另外，因为这个膜料是金属，熔点又高，所以坩埚发热会比较严重，可能你水冷又不是很好，所以报警了。

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