| zxp791 |
2007-01-11 08:42 |
问题：用晶振片测膜厚
最近在镀膜机上新装了一台晶振测膜仪，Inficon 074-186S XTM2 OM。总共用了2次，出现同样的问题，在开始镀膜的1分钟内，运作正常，显示屏显示镀膜的速率和膜厚，但不超过1分钟，显示屏上就会出现晶振片错误的信息（crystall fail），同时真空室中晶振片的盖子通过气动自动盖上。如果我再从新启动一下膜厚仪，又可以工作，大概也还是1分钟左右的时间，又会出现象上面同样的错误，真的不知道问题出在哪里？？？ by0K:*C
还有1个就是Z系数的值，因为我镀的是Cr膜，跟着膜厚仪过来的使用说明书里附的表格说对于镀Cr设定的Z-Ratio值是0，305。 但我上次从一个论坛里看到一位大侠说一般镀单层膜在膜厚不超过1000nm时，Z-Ratio设置为1。我也不知道哪个对。 )/vom6y*
写的比较罗嗦，呵呵。 G[JWG
急盼解答，先谢过！！！
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