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misery_	2018-06-06 10:10
关于增透膜膜层强度问题？最外面用MGF2 一罩玻璃中有几块玻璃用力蹭出膜层路子来是否是正常的？

光迹	2018-06-13 11:51
只有几块吗？位置是否固定？如果位置固定，可以分析一下温度均匀性和离子源能量均匀性这两个因素，MGF2对温度和速率要求高

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