xunjigd |
2018-05-30 10:56 |
光学断层扫描干涉法
摘要 J@I>m N1\ _Pqq* 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 -t|/g5.w_ @}d;-m~ [attachment=84368] mEd2f^R T\}U{9ELL 建模任务 T[|#DMg$F apk,\L@sZ [attachment=84369] F*PhV|XU 2 3PRb<q 结果 <C'_:&M .u7}p# [attachment=84370]
JFm@jc a(A~S u97 文件信息 $3HqVqF^R [Xu8~c X [attachment=84389] '2r UGO;5! (来源:讯技光电) _f%s]
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