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gaofei5588 2018-05-21 10:22

离子源问题

离子源的Beam ,ACC,RF和RFN之间有什么联系以及它们各自的名称和作用
mcgraw 2022-04-02 11:02
顶一下,同问这个问题
蚂蚁啃大象 2022-05-11 09:22
顶一下,同问这个问题
18844167969 2022-08-29 16:20
离子辅助沉积 95<:-?4C;W  
ouyuu 2022-08-31 16:25
光弛原理和新柯隆差不多。 f*5"Jh@  
"_l[4o[D  
就新柯隆来讲:三片栅网,从下到上为ACC,SUP,GND B 3h<K}  
ACC加1000V左右电压,离子从放电室(石英碗)挤出之后,靠ACC获得初速度。 UEeqk"t^  
SUP加-300-700V左右电压,防止电子进入放电室。 NWpRzh8$u  
GND就是接地,并起到保护SUP电极的作用。(东西掉在栅网上不会造成短路,打火) wLO/2V}/  
u<8Q[_E&  
中和器T脚加1000V脉冲打火,电子足够多后发生电离连锁反应。 #SXXYh-e  
然后K脚(阴极产生电子)和A脚(阳极拉出电子)加上电压,通过调节A脚电压调节电子数量。
ouyuu 2022-08-31 16:29
射频没啥好讲的,就是产生一个震荡的电磁场,让带电颗粒受电磁场影响不断在放电室震荡。 H xlw1(zS  
带电颗粒震荡时有更大的几率碰撞到气体分子,使其电离,这样连锁反应就产生了。
李某 2023-12-17 07:01
感谢大佬分享 a9I8W Q   
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