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gaofei5588	2018-05-21 10:22
离子源问题离子源的Beam ，ACC，RF和RFN之间有什么联系以及它们各自的名称和作用

mcgraw	2022-04-02 11:02
顶一下，同问这个问题

蚂蚁啃大象	2022-05-11 09:22
顶一下，同问这个问题

18844167969	2022-08-29 16:20
离子辅助沉积 M@o^V(j

ouyuu

2022-08-31 16:25

光弛原理和新柯隆差不多。

就新柯隆来讲：三片栅网，从下到上为ACC，SUP，GND
ACC加1000V左右电压，离子从放电室（石英碗）挤出之后，靠ACC获得初速度。
SUP加-300-700V左右电压，防止电子进入放电室。
GND就是接地，并起到保护SUP电极的作用。（东西掉在栅网上不会造成短路，打火）

中和器T脚加1000V脉冲打火，电子足够多后发生电离连锁反应。
然后K脚（阴极产生电子）和A脚（阳极拉出电子）加上电压，通过调节A脚电压调节电子数量。

ouyuu	2022-08-31 16:29
射频没啥好讲的，就是产生一个震荡的电磁场，让带电颗粒受电磁场影响不断在放电室震荡。 P)cEYk 带电颗粒震荡时有更大的几率碰撞到气体分子，使其电离，这样连锁反应就产生了。

李某	2023-12-17 07:01
感谢大佬分享 `ZbFky{

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