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ff13326 2018-05-16 22:21

光驰中和器的一些问题

想询问有经验的维修人员 -L +kt_>  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? 3Q'vVNFh<  
.fbY2b([  
2.要如何预防镍电击氧化 ? ^s6}[LDW>@  
;plBo%EBV  
謝謝 _V 4O#;%?  
lishuyu18 2020-02-13 10:12
通过射频磁场的,没有缺口,无法启辉 &Ts!#OcB,  
镍氧化应该还好解决,但溅射打到陶瓷杯上短路缺口,就影响中和器工作
ouyuu 2020-02-26 21:07
镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。  $TfB72  
现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 ltf KqY-  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 f";pfu_FZ  
$2\ 8Rn6'  
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? 7mq&]4-G  
防止氧化的话只有提高氩气纯度,增加镀膜后的冷却时间。 vn+XY =Qnr  
防止阴极蒸发的话,就必须用原厂陶瓷。 LD ]-IX&L  
副厂陶瓷绝缘性不好,电流损耗大,会造成过热。
gaofei555 2024-08-09 09:38
ouyuu:镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 sqrLys_S  
现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 aOH|[  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 C< 9x\JY%  
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? 0n{.96r0R  
....... (2020-02-26 21:07)  +b(};(wL  
Fp/{L  
学到了
浮世清欢 2024-08-18 23:21
多谢分享~~~赞
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