光驰中和器的一些问题-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 光驰中和器的一些问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

ff13326	2018-05-16 22:21
光驰中和器的一些问题想询问有经验的维修人员 kF(Ce{;z 1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? dr\|\| !{\ vQ:x%=] 2.要如何预防镍电击氧化 ? #joF{M{ ?-pxte8 謝謝 ?@Z7O.u

lishuyu18	2020-02-13 10:12
通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 D-Bv(/Pz]$ 镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

ouyuu

2020-02-26 21:07

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。

你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

gaofei555	2024-08-09 09:38
ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 jz\|VF,l 现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 2>g^4( 不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 xne]Q(B> 你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ ol50d73B ....... (2020-02-26 21:07) yXkt:O,i n4Vwao/9x 学到了

浮世清欢	2024-08-18 23:21
多谢分享~~~赞

查看本帖完整版本: [-- 光驰中和器的一些问题 --] [-- top --]