| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 Fva]*5 D8 wG!X 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 l]u7.~b e#m1X6$.e * 2%oZXF 建模任务 @|'Z@>!/pV n531rkK- *cQz[S@F 结果 gQ,4xTX @aUZ#,(< mVHFT~x7} 结果 i2U/RXu
\aB&{`iG O E]~@eU 结果 e~*S4dKR 4zwif& U#$:\fT 文件信息 XC2Q*Z |/t K-c6J ,`+Bs&S 8 Best wishes, Lm.Ik}Gli 行销部 17621763047(微信同号) H'']J9O --------------------------------------------------------------------- Upu%.[7 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 zM)M_L 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 wb@]>MJ}[s Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 78gob&p? Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com iAg}pwU --------------------------------------------------------------------- %va[jJ 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: Zq9>VqGe http://www.honglun-seminary.com/2018/ $*wu~
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