| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 9U&~(; s%5Uj} 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 X{#bJ KuIkul9^% [?A&xqO3 建模任务 $|rCrak; nT_*EC<. *+NGi(N 结果 #,t2*tM zMbfV%b 92s4u3L; 结果 n'q
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