| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 ^\PNjj*C i $)O\i^T 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 KU0;}GSNX} VS<w:{* 0vz!) 建模任务 TkjZI}]2 ?rwHkPJ{* +Kg3qS" 结果 =~j S ~!dO2\X+ dC}4Er 结果 3DrW[\ Mw $.B# Z@>WUw@F 结果 O%s?64^U ]FO)U g>Kh? ( 文件信息 k{C|{m }D#[yE,=\ Hh;o<N>U Best wishes, N%8aLD 行销部 17621763047(微信同号) af2yng --------------------------------------------------------------------- $QuSmA<4lS 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 :sb+jk 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 y
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