| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 iY"l}.7) ;22oY>w 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 #Zrlp.M4 2{|h8oz 3gd&i 建模任务 [q !TIq b#7{{@H A\8}|r(>9E 结果 F 8B#}%JE .9Y)AtJTS B,,D7cQC 结果 Sb~MQ_ k'0Pi6 Xy5e5K 结果 ?-^~f vWGwVH/K o=0]el^A 文件信息 !%$`Eq)M^7 EkziAON E Cyyl Best wishes, M(/r%-D 行销部 17621763047(微信同号) ai0XL}!+ --------------------------------------------------------------------- O)vp~@| 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 w*R$o 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 itC-4^ Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 lok= Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com n=[/Z! --------------------------------------------------------------------- `r?7oxN 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: >,td(= : http://www.honglun-seminary.com/2018/ qgfi\/$6
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