| 讯技david | 2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。  建模任务  结果  结果  结果  文件信息  Best wishes, 行销部 17621763047（微信同号） --------------------------------------------------------------------- 讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com --------------------------------------------------------------------- 讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: http://www.honglun-seminary.com/2018/ |
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