| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 q ` S
~w M1jT+ 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 +.cpZqWn3 'h$:~C ?;~!C2Zs 建模任务 &YFe"C H3wJ5-q( /R&`]9].s 结果 TE`5i~R* QO@86{u#Y rfV'EjiM} 结果 hs6pp/h> |# 0'_ b'4a;k!rS 结果 eP~bl
_\AQJ?<M .Ys
e/oEo 文件信息 P"c@V,. RO3LZBL s|IBX0^@ Best wishes, @$slGY 行销部 17621763047(微信同号) le*+(aw
--------------------------------------------------------------------- p22AH%
讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 AA\)BNM 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 3ynkf77cn Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 z ]f(lwo{ Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com D5gj*/" --------------------------------------------------------------------- %oBP6|e 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: .!q_jl%U http://www.honglun-seminary.com/2018/ Dgz,Uad8f
|
|