| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 tBSW|0 z!\*Y
=e 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 62u4-}JzF k{0o9, s[ N@0 建模任务 WzWXE( @]0%L0u ZC8wA;!z^ 结果 T{'RV0%
lRQYpc\ 2zpr~cB= 结果 ,,TnIouy :KO2| v\ *ui</+ 结果 d5d@k ?ubro0F: cCX*D_kCB 文件信息 q(}bfIf LQ% `c IA(5?7x`< Best wishes, P;*(hY5& 行销部 17621763047(微信同号) M=Wz --------------------------------------------------------------------- GthYzd:'hJ 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司
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