讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 _88X-~. gH.$B' 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 |n;5D,r0C lk[u ]z]=?;ty% 建模任务 9I}Uh#]k< (Q.tH 8K@e8p( y 结果 <?:h(IZe[ KpIY>k |"[;0)dw^ 结果 _bRgr ~Lq`a@]A >}/T&S 结果 F$'po# q,OCA\ I+`>e*:@W 文件信息 _Ea1;dJmq 3EH@tlTl ]bbP_n8 Best wishes, )` S5>[6 行销部 17621763047(微信同号) <<V"4 C2 --------------------------------------------------------------------- dA<SVk*0Q 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 0b<Qs88yd> 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 o?+?@Xb' Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 YDZB$?&a Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com ItVVI"- --------------------------------------------------------------------- 7+Nl)d:CJ 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: WEoD?GLS8 http://www.honglun-seminary.com/2018/ a/3yn9`sQ
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