| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 s+<Yg$) ~XOTs 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 a ?)NC ?`PvL!' ++`0rY% 建模任务 De'_SD|= 7t0er'VC oU.R2\Q 结果 9-fLz?J ZZzMO6US0 z?R|Ok 结果 `u&Rsz&^ vVFy*#I#_[ U_I5fK= 结果 Yp^rR }N v0H@Eg_ Yfzl%wc 文件信息 j}.\]$J jK& h~) Q7jb'y$ozO Best wishes, B#Vz#y 行销部 17621763047(微信同号) 7o#I,d~ --------------------------------------------------------------------- vunHNHltW0 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 of%Ktm5Qi 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 #W4dkCd(pF Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 "&G/T ?4 Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com 'h|DO/X~L --------------------------------------------------------------------- 1W^taJH] 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: P-y jN http://www.honglun-seminary.com/2018/ QI'Oz{vE
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