| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 #mV2VIX#Jv
_X#R v2a 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 [}szM^ ,HP }}K+S ^ ]9K>} 建模任务 R-%6v2;ry !.P||$x`& ((ebSu2-?$ 结果 tV!?Ol 2E }vuw=c K]|Ud No 结果 N3"Jo uP VAiJL g}MUfl-L 结果 hywcj\[ Qvp"gut)%X SnE^\I^O 文件信息 SIp)& <Yki8 9FDu{4: Best wishes, =}Tm8b0 行销部 17621763047(微信同号) ;<Q%d~$xy} --------------------------------------------------------------------- y,5qY}P+ 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 "{~5QO 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 H,} &=SCk Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 )-
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