| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 t'
o:aI -|"mB"Dc 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 m}'kxZTOm )$]_;JFr vp{jh-& 建模任务 TmvI+AY/ (kK6=Mrf (6L[eWuTn 结果 9~SfZ,( &C`t(e Gp6|M2Vu_5 结果 Q]uxZ;}aF ^Z$%OM, )k.;.7dXe 结果 %J5zfNe)& ?MHVkGD FrIgu k1 文件信息 ;*{y!pgb 2E9Cp "\Zsr6y Best wishes, ogtKj"a 行销部 17621763047(微信同号) 2,{m>fF --------------------------------------------------------------------- "M3R}<Vt 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 b*+Od8r 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 MN}@EQvW== Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 PmZ-H> Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com U7bbJ>U_| --------------------------------------------------------------------- $Y5R^Y 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: h# c.HtVE http://www.honglun-seminary.com/2018/ ^i&sQQ({
|
|