讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 |FS,Av =pQA!u]QE 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 qB-9&X 4G;FpWQm U^<\'` 建模任务 D@"g0SW4 jH26-b< L|4kv 结果 1'tagv?
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9IKX 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 F?=(4Pyvu 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 Ezw(J[).C Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 kGhWr M Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com z[:UPPbW --------------------------------------------------------------------- 9!sx 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: g`~c|bx http://www.honglun-seminary.com/2018/ Qp8.D4^@3
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