首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

讯技david 2018-04-28 14:19

VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统

摘要 ^\PNjj*C i  
$)O\i^T  
在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 KU0;}GSNX}  
VS<w:{*  
0vz!)  
建模任务 TkjZI}]2  
?rwHkPJ{*  
+Kg3qS"  
结果 =~ j S  
~!dO2\X+  
dC}4Er  
结果 3D rW[\  
Mw $.B#  
Z@>WUw@ F  
结果 O%s?64^U  
]FO)U  
g>Kh? (  
文件信息 k{C|{m  
}D#[yE,=\  
H h;o<N>U  
Best wishes,
N%8aLD  
行销部 17621763047(微信同号) af2yng  
--------------------------------------------------------------------- $QuSmA<4lS  
讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 :sb+jk  
上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 y +c 3#  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 fxX4 !r  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com [;i3o?\_I  
--------------------------------------------------------------------- []eZO_o6j  
讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: e/u (Re  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ q0]Z` <w  
查看本帖完整版本: [-- VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计