讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 #3.\j"b HgaZbb>' 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 GyuV
% &>g~-s 3(C :X1 建模任务 McP~}"!^ YNk|+A.<d Tt%}4{"
结果 gvGi%gq L{<7.?{Y @iRO7 6m 结果 nPOO3!<{ i5VG2S QLn+R(r 结果 /BT1oWi1y rH.gF43O: sl^n6N 文件信息 eC;!YGZ drIK(u\_ Fg4@On[,i Best wishes, {_(+>v"eJ 行销部 17621763047(微信同号) t!0dJud --------------------------------------------------------------------- nj 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 5VKcV&D 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 }[v~& Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 ul=7>";=| Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com i.M2E$b| --------------------------------------------------------------------- +Vy_9I(4Z 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: a:b^!H># http://www.honglun-seminary.com/2018/ CV3DMA
|
|