讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 j.?:Gaab?# T.&7sbE_ 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 (RL>Hn;. u</8w&! y2Bh?>pg 建模任务 BNm4k7
]M {")\0|2\x 5mB]N%rfW% 结果 .-I|DVHe /MTf0^9 ~hX-u8Ul'N 结果 J\co1kO9/ c$M%G)P }6m?d!m 结果 @"87F{! |Fln8wB X)Gp7k1w 文件信息 b Y8GA X T>('qy HMQI&Lh=U Best wishes, UPh=+s #Q 行销部 17621763047(微信同号) 4jwu'7Q --------------------------------------------------------------------- I."p 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 y;`eDS'0.N 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 %_)zWlN Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 i.a _C'<$ Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com 2:^njqX --------------------------------------------------------------------- pa/9F[ 讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: vs9?+3 http://www.honglun-seminary.com/2018/ d,#.E@Po
|
|