首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

讯技david 2018-04-28 14:19

VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统

摘要 j.?:Gaab?#  
T.&7sbE_  
在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 (RL>Hn;.  
u</8w&!  
y2Bh?>pg  
建模任务 BNm4k7 ]M  
{")\0|2\x  
5mB]N%rfW%  
结果 .-I|DVHe  
/MTf0^9  
~hX-u8Ul'N  
结果 J\co1kO9/  
c$M%G)P  
}6m?d!m  
结果 @"87F{!  
|Fln8wB  
X)Gp7k1w  
文件信息 bY8GA  
X T>('qy  
HMQI&Lh=U  
Best wishes,
UPh=+s #Q  
行销部 17621763047(微信同号) 4jwu'7 Q  
--------------------------------------------------------------------- I."p  
讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 y;`eDS'0.N  
上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 %_)zWlN  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 i.a _C'<$  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com 2: ^njqX  
--------------------------------------------------------------------- pa/9F[  
讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: vs9?+3  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ d,#.E@Po  
查看本帖完整版本: [-- VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计