绝对平面检测方法的研究进展

光学平面的干涉检测发展至今，检测精度已经大大提高，而高精度的平面检测很大程度上受限于参考平面的精度，针对参考平面面形对检测结果的影响，利用绝对平面检测方法，通过多次测量以达到消除参考平面偏差的目的。从测量方式和计算方法两个方面分析了不同绝对平面检测方法的原理，介绍了最新发表的相关成果以及研究动态，并对比了检测结果。这些检测方法已经精确到像素级，并通过多种计算方法使得峰谷（PV）值的计算精度大部分达到了λ/100。

875192871	2018-04-18 11:07
谢谢大佬

875192871	2018-04-18 14:55
大佬 zygo好像最多只能测试1/20λ的面型吧

微笑向暖	2018-04-24 09:13
我们现在做的平片就是要求面型1/100d的

jyx123456	2018-04-28 09:04
文章很实用

yita_0310	2018-05-12 10:34
学习学习~~~~~~~~

小志250	2018-05-24 10:16
能做到吗

l3x13999	2018-05-24 16:47
来看看

l3x13999	2018-05-24 16:47
非球面检测？

540852739	2018-05-30 15:22
谢谢分享 rtoSCj:

540852739	2018-05-30 15:23
学习了

freshment	2018-06-07 14:10
多谢多谢 e_\SSH@tw

zhengjiejames	2018-10-05 00:25
谢谢楼主

qiuhongwei	2018-10-15 15:47
感谢分享 Ogn,1nm%

wisdomlad	2024-10-05 20:13
看样子非常不错，学习一下。

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