讯技david |
2018-04-10 16:02 |
不同轮廓亚波长光栅的成像
1. 摘要 j?5s/ Het5{Yb. 亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级,因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴照明。在本例中,高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 p>GTFXEi6 ]!v:xjzT 2. ·建模任务 Gw\-e;, WfnBWSA2T F_Pv\?35z 3. 结果 v5aHe_?lp vMDX _trF /U< 4. 文件和技术信息 ,5tW|=0@
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