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讯技david 2018-04-10 16:02

不同轮廓亚波长光栅的成像

1. 摘要 j?5s/  
Het5{Yb.  
亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级,因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴照明。在本例中,高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 p>GTFXEi6  
]!v:xjzT  
2. ·建模任务 Gw\-e;,  
WfnBWSA2 T  
F_Pv\?35z  
3. 结果 v5aHe_?lp  
vMDX  
_trF/U<  
4. 文件和技术信息 ,5tW|=0@  
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